Меню:
Общая характеристика
Видеоконтрольное устройство
Управление электронно-оптической системой
Управление дополнительными модулями и приставками
Структурная схема МС20
Контактная информация
 
 
 
Растровый электронный микроскоп МикроСкан МС-20
УвеличитьРастровый электронный микроскоп серии МикроСкан МС20 является малогабаритным, полностью компьютеризированным прибором второго поколения и имеет следующие модификации:
- МС20.1 – РЭМ общего применения (базовая модель);
- МС20.2 – РЭМ – микролитограф;
- МС20.3 – измерительный РЭМ для диагностики и количественных измерений параметров микроструктур;
- МС20.4 – РЭМ для катодолюминесценции (КЛ) и КЛ – спектроскопии;
- МС20.5 –РЭМ для измерения линейных размеров;
- МС20.6 - низковакуумный РЭМ для биологии и медицины;
РЭМ выполнен по модульному принципу, что позволяет при комплектации и замене соответствующих модулей (вакуумная система, электронная оптика, детекторы) создавать специализированные приборы по ТЗ заказчика. Например, имеется возможность оснащения МС20 энергодисперсионным спектрометром фирмы Grasham Instr. (Великобритания), столом объектов фирмы Delong Instruments (Чешская Республика) и другими импортными комплектующими.
Основные технические характеристики базовой модели:
Разрешающая способность в режиме ВЭ  5-10 нм
Рабочий отрезок 5 - 40 мм
Диапазон ускоряющих напряжений 0.1 – 30 кВ
Диапазон увеличений 10 – 300 000 крат
Диапазон тока пучка 1пА – 1мкА
Перемещение объекта по осям x, y, мм X= ± 40 мм, Y= ± 40 мм, Т= –5 до +60°, R=360°, Z= 8 до 35 мм
Рабочий вакуум в камере обьектов: 
высоковакуумный режим  
низковакуумный режим 
  
1 х 10-5 Торр 
1-20 Торр
Время получения рабочего вакуума 20 мин
Готовность прибора к работе после смены объекта 5 мин
Потребляемая мощность 220 В(+- 10%), 50/60 Гц,   2 кВА 
Водяное охлаждение 2 л/мин,  давление: от 0.05 до 0.2 Мпа, температура: 20°±5° С
Размеры главной консоли прибора (длина, ширина, высота) 650 х 650 х 850 мм
Масса  200 кг

Блок электроники (БЭ) МС20 состоит из двух основных частей – ВКУ и управляющей электроники колонны.
Электроника колонны позволяет управлять пушкой, источником высокого напряжения, линзами, стигматорами, и различными юстировочными катушками и вспомогательными элементами. К последним относятся, управляемые источники 1 КВ управления усилением ФЭУ, 12 кВ на сцинтиллятор, +/- 300 В для питания сетки .
БЭ предназначен для управления всеми функциями РЭМ, включая: управление электронным пучком РЭМ, съемом полученного изображения по двум каналам, может использоваться для модернизации существующих РЭМ и вместе с программным обеспечением "МС_Скан" (ScreenShot - 1024x768, ScreenShot - 800x600) реализует следующие функциональные возможности:
Видеоконтрольное устройство (ВКУ):
- растровое или векторное сканирование электронного пучка
- электронный поворот изображения
- изменение яркости и контрастности
- режим автояркости и автоконтрастности
- режим двукратной и четырехкратной линзы
- режим усреднения
- режим малого поля
- режим наложения изображений
- режим экранного увеличения
- режим сканирования по линии (линейная сигналограмма)
- режим измерения расстояний
- двумерные математические фильтры (Image Processing)
- вывод изображения в 3D представлении
- сохранение растровых изображений на диске
- рисование и редактирование литографических трасс
Управление электронно-оптической системой:
- управление электронно-оптической системой (колонной)
- управление высоковольтной частью РЭМ
- управление детектором вторичных электронов
Управление дополнительными модулями и приставками:
- работа в режиме спектрометра
- управление различными детекторами и приставками

Структурная схема МС20
Блок управляющей электроники МС20 может функционировать в двух модификациях:
Собственно видеоконтрольное устройство (ВКУ).
В даную конфигурацию входит генератор разверток, оконечные токовые усилители для отклоняющей системы микроскопа, плата видеопроцессора (устанавливается внутрь системного блока РС). Эта конфигурация легко интегрируется с любым аналоговым РЭМ.
Расширенный вариант. В данном варианте он осуществляет контроль за электронно-оптической системой микроскопа, высоковольтной частью, детекторами и различными приставками.
В даную конфигурацию, кроме ВКУ, входят :
- блоки управления линзами микроскопа;
- высоковольтный модуль;
- блоки управления юстировочными катушками и стигматором;
- блоки управления питания детекторов;
- контроллер перемещения столика объектов;
- блоки управления приставками.
Требования к персональному компьютеру:
1) РС - РII - 350 (PIII-1000 рекомендуется).
2) Наличие шины ISA.
3) ОС - Win 95, 98, Me.
4) RAM 128 Mb (256 Мб рекомендуется).
5) Video Adapter (SVGA) 8 Mb (16 Мб рекомендуется). Желательно поддержка видеорежима 1600х1200 24 bit (True Color)
 

о проекте || новости || публикации || оборудование || события
фотогалерея
|| форум || спонсоры || ссылки

©2002 - Microscopist.ru - портал микроскопистов
:главная :контакты :карта сайта :faq :помощь Rambler's Top100 Рейтинг@Mail.ru