div  FAQ  div    div    div    div    div    div   
Microscopist.ru arrow ПЭМ (Методы) arrow Резка электронным пучком?

Резка электронным пучком?
.  1, 2
     
VladimirSorokin
Новенький

: 2
: 21.11.2008
: 05 2008 16:52     : Re: Резка электронным пучком?

pust2 ():

На подложке из кремния напылен проводник толщиной 10-20 нм, который уже обрезан до мостика шириной 10 нм, теперь поперек надо прорезать щель, чем тоньше тем лучше...

Для подобных операций лучше всего использовать систему травления фокусированным ионным пучком, с такими задачами прекрасно справляется Hitachi FB-2100. (В России единственная компания, которая представляет Hitachi High Tech. в области электронной микроскопии - ООО "Интерлаб")
pust2
Бывалый

: 329
: 07.08.2006
: Владивосток
: 05 2008 19:44     :

В проспектах все просто идеально Mr. Green
У самого CrossBeam, но пока не попробуешь реальные задачи, а не "идеальные"...
Пригласите на демонстрацию и покажите как прибор
"прекрасно справляется"
с задачей провести сетку из 100 на 100 линий размером 10 нм с шагом 25 нм, причем надо провести дважды по одному и тому же месту, естественно...
Если покажете и это занимает не целый день, то можно говорить о покупке Mr. Green
2:Админ
Сорри если оффтоп
:   
     
2 2 .  1, 2


|| || || ||
|| || ||

©2002 - Microscopist.ru -
: : : :faq : Rambler's Top100 @Mail.ru
Powered by phpBB © 2001-2003 phpBB Group | : GMT + 3