Начало div  FAQ  div  Поиск  div  Пользователи  div  Группы  div  Избранное  div  Регистрация  div  Вход 
Список форумов Microscopist.ru arrow Подготовка образцов arrow PlasmaCleaner кто пользовался?

PlasmaCleaner кто пользовался?
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Автор Сообщение
SeregaK
Бывалый

Сообщения: 100
Зарегистрирован: 25.07.2005
Откуда: Новосибирск, Россия
СообщениеДобавлено: Вт 06 Октябрь 2009 18:50    Заголовок сообщения: PlasmaCleaner кто пользовался? Ответить с цитатой

Уважаемые микроскописты, возникла идея прикупить установку для подчистки образцов (для РЭМ + микроанализ). Кто пользовался? Хотелось бы услышать отзывы. Штука достаточно дорогая, в связи с этим возникает вопрос: стоит ли тратить деньги, если есть ВУП? Пробовал ставить приставку для тлеющего разряда в ВУП, но не подобрал режимы - возникают разряды на поверхности образца- микродуги, которые портят поверхность. Может в промышленных установках используют ВЧ-плазму, или там тоже постоянный ток? Да, и что по физике играет роль- физическое удаление верхнего слоя за счет бомбардировки или химические реакции в плазме?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail ICQ Number
pust2
Бывалый

Сообщения: 329
Зарегистрирован: 07.08.2006
Откуда: Владивосток
СообщениеДобавлено: Ср 07 Октябрь 2009 07:21    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Есть гатановский, в скане разницы не заметил после очистки в течение 10-ти минут... как нагарало, так и нагарает. Надо исследовать...
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Посетить сайт автора
Dusha
Дед

Сообщения: 2199
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Ср 07 Октябрь 2009 15:32    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Для РЭМа не пользовался. Если работать в STEM или делать CBED, то без плазмаклинера вообще лучше не начинать работать - образец зарастает за один кадр так, что ничего не видно.

Физически плазма удаляет верхний слой. И за счет распыления и за счет химии.
Стандартная смесь - 30% кислорода в аргоне, она выжигает углеводороды на поверхности. Есть работы, где исследовали разные составы для разных целей. Так чистый аргон помогает бороться с аморфным слоем, есть спец рецепты, чтобы удалять индий и галий с поверхности (они после ионного травления иногда сидят каплями).
ВУП должен работать для очистки, только я бы порекомендовал не использовать образец в качестве электрода, а просто закрепить его в объеме, где плазма горит, лучше под углом.
В ВУПовской приладе можно наверное проделать дырочки в середине этого цилиндра и подвешивать образчик.
Я бы попробовал это, прежде чем тратить 30-100тыс на коммерческую машину.
У разных производителей плазма генерируется по разному, стандартно - ВВ тлеющий разряд при ~5кВ, но есть ВЧ генераторы.

В РЭМ может зарастать не из-за образца, а из-за грязного вакуума в камере, особенно если клеить странными клеями Smile

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
injener
Дед

Сообщения: 3196
Зарегистрирован: 21.12.2004
Откуда: Московская область
СообщениеДобавлено: Ср 07 Октябрь 2009 15:54    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:
тлеющий разряд при ~5кВ,
Или при ~1,5 кВ...
Цитата:
В РЭМ может зарастать ... из-за грязного вакуума в камере
И это чаще всего!
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
SeregaK
Бывалый

Сообщения: 100
Зарегистрирован: 25.07.2005
Откуда: Новосибирск, Россия
СообщениеДобавлено: Ср 07 Октябрь 2009 18:14    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Спасибо, будем дальше мучить ВУП до получения результата.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail ICQ Number
Sergey
Дед

Сообщения: 1905
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Ср 07 Октябрь 2009 18:23    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

А что за образцы, может их чистить и не надо?
_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
pust2
Бывалый

Сообщения: 329
Зарегистрирован: 07.08.2006
Откуда: Владивосток
СообщениеДобавлено: Чт 08 Октябрь 2009 01:15    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Про РЭМ - видимо такой был образец, пористый и т.п., потому, что берешь обычный кремний или железо - не нагорает, а на том - просто как пожар, несколько десятков скунд и все - картинки нет... А, поскольку клинер берет только поверхность, то в объеме все оставалось...
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Посетить сайт автора
SeregaK
Бывалый

Сообщения: 100
Зарегистрирован: 25.07.2005
Откуда: Новосибирск, Россия
СообщениеДобавлено: Чт 08 Октябрь 2009 04:35    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Образцы, в основном, кремний, арсенид галлия с покрытиями металла. При больших увеличениях и медленных сканах образцы зарастают. Может и вакуум, конечно. Клею обычно на скотч агаровский- углерода там полно, может и он влияет.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail ICQ Number
Sergey
Дед

Сообщения: 1905
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Чт 08 Октябрь 2009 08:52    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

То есть полупроводники, то же, что и у меня. Грязь может оставаться после технологической цепи производства. Это надо технологов просить тщательно убирать химию - обычно удается. Ко мне технологи сами приходят смотреть, что натворили и все видят сами. Но при очень больших увеличениях >100 к бывает, что нагарает.
Образцы я не клею, а использую механические держатели (точнее те, кто приходит, сами их закрепляют). Если смотрю с предельным увеличением, то образцы клеются на иголку на серебряный контактол, обычно это что-то на кремнии (без химической обработки) - сильного нагара как-то не наблюдал. Смотрел много различных пористых п/п материалов - нагар особо не мешал. Откачка у моего прибора дифф. насосом с азатной ловушкой (всегда с азотом), смена образцов всегда через шлюз, камеру открываю очень редко.

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Показать сообщения:   
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Страница 1 из 1


о проекте || новости || публикации || оборудование || события
фотогалерея
|| форум || спонсоры || ссылки

©2002 - Microscopist.ru - портал микроскопистов
:главная :контакты :карта сайта :faq :помощь Rambler's Top100 Рейтинг@Mail.ru
Powered by phpBB © 2001-2003 phpBB Group | Часовой пояс: GMT + 3