Начало div  FAQ  div  Поиск  div  Пользователи  div  Группы  div  Избранное  div  Регистрация  div  Вход 
Список форумов Microscopist.ru arrow РЭМ (Методы) arrow Как бороться с накоплением заряда на диэлектриках в FIB?

Как бороться с накоплением заряда на диэлектриках в FIB?
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Автор Сообщение
Cyber
Бывалый

Сообщения: 43
Зарегистрирован: 13.01.2013
Откуда: Уфа
СообщениеДобавлено: Ср 06 Июнь 2018 00:27    Заголовок сообщения: Как бороться с накоплением заряда на диэлектриках в FIB? Ответить с цитатой

Опытные пользователи FIBов, подскажите, как вы решаете проблему с накоплением заряда на диэлектриках, например микросхемах?
Прочитал несколько книжек по FIB и пришел к выводу, что самый доступный метод - покрытие углеродом, но не самый удобный. Как наносить самым простейшим способом? А как смывать? Вопросов осталось много.
И конструкция моего FEI 611 не предполагает использование источника электронов для нейтрализации положительного заряда на поверхности образца.
Вторичные ионы дают не очень хорошую картинку.
Нагнетать азот на поверхность образца? Но это не предусмотрено в приборе. Воду? -Умрет детектор CEM.
Кто-нибудь пробовал УФ излучение? Колхозить ДРЛку в камере как-то не очень удобно.
Может статьи/инструкции или книжки посоветуйте на данную тему и на тему подготовки подобных образцов и как вообще решают проблему?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
snigela
Бывалый

Сообщения: 54
Зарегистрирован: 03.07.2008
Откуда: ЮФУ, Ростов-на-Дону
СообщениеДобавлено: Пт 15 Июнь 2018 16:19    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Из личного опыта снять равномерно слой диэлектрика не удавалось. Если вам нужен рез, то мы применяли несколько подходов. Иногда удачным оказывался 10-й подход.
Для начала должно быть изображение, возможно с небольшими искажениями.
1. Выключаем наблюдение за процессом.
2. Наблюдаем и перемещаем образец в нужную сторону.
3. Задаем сразу 2-4 слегка смещенных друг относительно друга реза.
4. Увеличиваем глубину реза.
5 Увеличиваем ток FIB.

Из моего опыта азот не снимает заряд.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Cyber
Бывалый

Сообщения: 43
Зарегистрирован: 13.01.2013
Откуда: Уфа
СообщениеДобавлено: Сб 16 Июнь 2018 01:00    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Насчет азота, очень жаль. В книжках пишут, что используют низкий вакуум около 0,1 мм.рт.ст. для предотвращения накопления заряда на диэлектриках образца. Я то думал, что можно локально создать низкий вакуум около образца в камере. Вроде даже в одной книжке встречал рекомендацию подать напылительный газ платины, чтоб снять заряд во время получения изображения. Хотел даже перейти на карбонил вольфрама, для удешевления процесса постоянной подачи газа для снятия заряда и напыления, когда нужно.
Сперва нужно получить картинку, чтоб знать где резать.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Dusha
Дед

Сообщения: 2199
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Сб 04 Август 2018 22:47    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Азот заряд не снимает, вода, если через GIS - то вполне (и на детектор влиять не должна, или я что-то не так понимаю), но все равно не очень.
Самый эффективный способ, который я нарыл - это коснуться манипулятором рядом с облучаемой областью - небо и земля! Получалось даже стекло так резать, особенно если платины подпылить немного (все равно ведь пылить, если резать).

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Cyber
Бывалый

Сообщения: 43
Зарегистрирован: 13.01.2013
Откуда: Уфа
СообщениеДобавлено: Сб 04 Август 2018 23:00    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Что насчет токопроводящих ионных жидкостей вместо напыления углерода? Самый простой и надежный метод, я думаю. В инете находил патент на эту тему. И наносить легко и смывается ацетоном. И толщина слоя регулируется количеством растворителя.
В соседний теме спрашивал про конкретную ионную жидкость из патента. Но вроде есть и другие.
Есть конторы, которые продают уже готовые наборы: http://www.interlab.ru/katalog-oborudovaniya/probopodgotovka-i-vvod-proby/ionnaya-zhidkost/
Кто нибудь пробовал? Цена, думаю, кусается, там один дозатор стоит огого.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Показать сообщения:   
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Страница 1 из 1


о проекте || новости || публикации || оборудование || события
фотогалерея
|| форум || спонсоры || ссылки

©2002 - Microscopist.ru - портал микроскопистов
:главная :контакты :карта сайта :faq :помощь Rambler's Top100 Рейтинг@Mail.ru
Powered by phpBB © 2001-2003 phpBB Group | Часовой пояс: GMT + 3