Начало div  FAQ  div  Поиск  div  Пользователи  div  Группы  div  Избранное  div  Регистрация  div  Вход 
Список форумов Microscopist.ru arrow РЭМ (Железо) arrow проблема со стигматором в FIB FEI 611

проблема со стигматором в FIB FEI 611
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Автор Сообщение
Cyber
Бывалый

Сообщения: 59
Зарегистрирован: 13.01.2013
Откуда: Уфа
СообщениеДобавлено: Чт 06 Декабрь 2018 12:24    Заголовок сообщения: проблема со стигматором в FIB FEI 611 Ответить с цитатой

С самого начала после сборки наблюдается проблема со стигматором (дефлектором). С левой стороны картинки все расплывчато. Также проблема проявляется при травлении. Травление по горизонтали получается прерывистым.
Помогает только смещение картинки влево дефлектором, чтоб эта зона ушла с экрана. Но в этом случае травление становится менее производительным. И проблемы с прерывистым травлением не решается.
Особенно хорошо разница видна на видео, где показана настройка стигматора. Изображение слева плавает. https://youtu.be/F7VEA0V_dTM
Сдох один полюс стигматора? Или я неправильно что-то делаю? Может выходная апертура колонны загрязнилась?
До стигматора добраться можно только разобрав всю колонну?



PTDEP63.jpg
 Описание:
Неравномерное травление. Цветом показаны задаваемые области травления.
 Размер файла:  122.08 KB
 Просмотрено:  440 раз(а)

PTDEP63.jpg



ILQF100m.jpg
 Описание:
Искажение слева. Явно прослеживается граница.
 Размер файла:  127.76 KB
 Просмотрено:  434 раз(а)

ILQF100m.jpg


Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1981
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Чт 06 Декабрь 2018 13:33    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Глядя на нижнюю картинку, я бы в первую очередь проверил блоки питания развертки и перемещения. Уж больно похоже на то, что посаживается одна из полярностей (максимальное искажение в левом верхнем углу), как будто при отклонении влево подсаживается питание (в этом случае как раз будет увеличение расти, картинка растягиваться). Далее проверять оконечные каскады управления токами обмоток...
Кстати, а картинка у вас вращается, как и что при этом происходит?

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Cyber
Бывалый

Сообщения: 59
Зарегистрирован: 13.01.2013
Откуда: Уфа
СообщениеДобавлено: Чт 06 Декабрь 2018 13:40    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Sergey писал(а):

Кстати, а картинка у вас вращается, как и что при этом происходит?

Вращается. Искажение тоже вместе с картинкой вращается.
При увеличении искажение уходит. Но проблемы с тралением остаются.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1981
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Чт 06 Декабрь 2018 13:43    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

А как вращается - электроникой или механически отклоняющая система (у меня так)
_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Cyber
Бывалый

Сообщения: 59
Зарегистрирован: 13.01.2013
Откуда: Уфа
СообщениеДобавлено: Чт 06 Декабрь 2018 13:47    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Sergey писал(а):
А как вращается - электроникой или механически отклоняющая система (у меня так)

Электроникой. Есть крутилка "Image Rotator" на панели управления дефлектора.
Искажение вместе с изображением поворачивается на ровно такой же угол.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1981
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Чт 06 Декабрь 2018 13:58    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Тогда смотреть в схеме синус-косинусного преобразователя и до него, наверно... Пилообразное напряжение развертки кривое где-то, и с уменьшением увеличения растет
_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1981
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Сб 22 Декабрь 2018 22:14    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Как дела?
_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Cyber
Бывалый

Сообщения: 59
Зарегистрирован: 13.01.2013
Откуда: Уфа
СообщениеДобавлено: Сб 22 Декабрь 2018 22:33    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Пока не трогаю ничего.
Нужно сперва кабели прозвонить. Только распиновки нет на них.
И не понятно, что за блок в углу каркаса под вакуумной камерой, от которого как раз идет кабель на стигматор и остальное?
Без инструкции по полному разбору колонны боюсь лезть в нее.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1981
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Сб 22 Декабрь 2018 22:52    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Не, колонну разбирать - это в последнюю очередь. Так как изкажения поворачиваются вместе с поворотом изображения, то вероятнее всего проблема в развертке, или просто в источнике питания где-то. Я бы с этого начал.
_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
vklsi2
Бывалый

Сообщения: 302
Зарегистрирован: 18.02.2009
СообщениеДобавлено: Пн 24 Декабрь 2018 14:16    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Если речь идет о ионной колонне, то там, скорее всего, все на электростатике, т.е. обычные подходы не работают. На всех электродах высокое напряжение.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Cyber
Бывалый

Сообщения: 59
Зарегистрирован: 13.01.2013
Откуда: Уфа
СообщениеДобавлено: Чт 27 Декабрь 2018 23:12    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Что-то я теперь больше склоняюсь загрязнению выходной апертуры (либо механическим повреждениям). Тем более, что в инструкции написано как ее промывать. А то, что часть изображения плавает при калибровке стигматора, так это потому, что часть изображения не фокусе из-за грязной апертуры. И пробелы при травлении этим хорошо объясняются.
Кто-нибудь сталкивался с загрязнением выходной апертуры? Симптомы схожи с моими?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Cyber
Бывалый

Сообщения: 59
Зарегистрирован: 13.01.2013
Откуда: Уфа
СообщениеДобавлено: Чт 07 Ноябрь 2019 01:30    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Добрался я наконец до блока "усиления" дефлектора и стигматора EVA-DA-2. Увидел странную вещь, кто-то зачем то изменил две платы, управляющие смещением(но это не точно) линз. Перерезал две дорожки и навесил резисторов с конденсаторами с обратной стороны на каждой плате. И судя по рисунку на крышке, из-за неработающих двух полюсов происходят такие искажения на стигматоре как раз в ту сторону.
И еще изменили назначение плат, теперь платы отвечают за другие полюса, не как при заводской маркировке выходов плат.
С какой целью кто-то так извращался? Мало похоже на заводскую модификацию.
Никто подобного у себя не встречал?
Самое интересное, что до покупки у предыдущего владельца все работало без искажений.
И плату такую FEI 12542 не так просто найти. А блок целиком дорогой и нет гарантий, что проблема в нем.



polus.jpg
 Описание:
 Размер файла:  117.95 KB
 Просмотрено:  185 раз(а)

polus.jpg



DSC_1925.jpg
 Описание:
 Размер файла:  108.44 KB
 Просмотрено:  177 раз(а)

DSC_1925.jpg


Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1981
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Чт 07 Ноябрь 2019 14:56    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Похоже плата погорела, отключили погоревшее и наваяли отсебятины, чтобы как-то работало... Может можно восстановить...
_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
FIZIK
Бывалый

Сообщения: 87
Зарегистрирован: 27.10.2019
Откуда: Владикавказ
СообщениеДобавлено: Чт 07 Ноябрь 2019 18:02    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Если сгорела плата то нужно устранить первоначальную причину выгорания. Вполне может быть, что у предыдущего владельца подобный апгрейд обеспечивал нормальную работу только ограниченного количества режимов.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Cyber
Бывалый

Сообщения: 59
Зарегистрирован: 13.01.2013
Откуда: Уфа
СообщениеДобавлено: Вт 26 Ноябрь 2019 13:58    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Нашел новые платы за $50 у компании, которая раньше обслуживала прибор в США. Сомневаюсь, что кто-то стал бы заморачиваться ремонтом сгоревшей платы, просто бы поменяли плату. Скорее, кто-то пытался адаптировать к кривому стигматору в колонне.
И не понятно, нужно ли настраивать подстроечники на новой плате и как?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Cyber
Бывалый

Сообщения: 59
Зарегистрирован: 13.01.2013
Откуда: Уфа
СообщениеДобавлено: Сб 25 Январь 2020 13:44    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Поменял 2 модифицированные платы на новые(почти). Ничего не изменилось. Есть надежда, что сгорели другие две, и их тоже можно поменять. Но больше всего склоняюсь к повреждению полюсов стигматора внутри колоны в ходе транспортировки. Пытался чистить выходную апертуру колонны не снимая - не помогло. Чтоб ее поменять полностью, нужно снимать колонну, а это лень делать, если не уверен что проблема в ней.
Еще заметил очень интересный эффект, искажение пропадает не только при увеличении изображения, но и просто при уменьшении апертуры без изменения увеличения, даже на самом низком увеличении 100х. Как это можно объяснить?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1981
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Сб 25 Январь 2020 16:42    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

При уменьшении апертуры и ток меньше, или нет? А если меньше, то при равных токах при этом разница будет?
_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Cyber
Бывалый

Сообщения: 59
Зарегистрирован: 13.01.2013
Откуда: Уфа
СообщениеДобавлено: Чт 30 Январь 2020 00:03    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Насчет пропадания при уменьшении апертуры я ошибся, проблема не пропадает. Только при увеличении увеличения.
Цитата:
При уменьшении апертуры и ток меньше, или нет?

Да, она ж током и задается.

Пробовал двигать источник потока ионов джойстиком. Искажение сдвигается, но полностью убрать его с экрана не удается. Да и положение источника откалибровано по воблеру. Сомневаюсь, что я что-то откалибровал неправильно тут.
Удается сдвинуть искажение ближе к краю экрана выкручиванием ручки "shift X" до упора. Но полностью все равно не уходит.
При включении воблера стигматора искажение плавает только на синусе.
Может стигматор или вся нижняя часть колонны сместилась очень сильно относительно верхней?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Cyber
Бывалый

Сообщения: 59
Зарегистрирован: 13.01.2013
Откуда: Уфа
СообщениеДобавлено: Вт 17 Март 2020 23:25    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

У кого-нибудь есть схема FEI FIB 611 Model 1D2 Deflection Controller?
Недавно добрался до его внутренностей. Там вроде все нормально.
Но пришел к выводу, что проблему можно исправить просто увеличив ход "Shift X" или сместив ноль в сторону искажений. В колону лезть пока боюсь, а так хоть полумера.
На платах есть подстроечники, возможно, один из них и отвечает как раз за 0 для "shift X"?
Просто менять номинал переменного резистора "shift X" ничего не даст, да и опасно.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
FIZIK
Бывалый

Сообщения: 87
Зарегистрирован: 27.10.2019
Откуда: Владикавказ
СообщениеДобавлено: Ср 18 Март 2020 08:03    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Скорее всего самым реальным будет реверс инжиниринг. По плате нарисовать интересующий участок схемы самому.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Показать сообщения:   
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Страница 1 из 1


о проекте || новости || публикации || оборудование || события
фотогалерея
|| форум || спонсоры || ссылки

©2002 - Microscopist.ru - портал микроскопистов
:главная :контакты :карта сайта :faq :помощь Rambler's Top100 Рейтинг@Mail.ru
Powered by phpBB © 2001-2003 phpBB Group | Часовой пояс: GMT + 3