Начало div  FAQ  div  Поиск  div  Пользователи  div  Группы  div  Избранное  div  Регистрация  div  Вход 
Документация к вакуумному посту ВУП-5

 
Начать новую тему   Ответить на тему    Список форумов Microscopist.ru -> Барахолка
Предыдущая тема :: Следующая тема  
Автор Сообщение
FIZIK
Бывалый


Зарегистрирован: 27.10.2019
Сообщения: 123
Откуда: Владикавказ

СообщениеДобавлено: Сб 04 Июнь 2022 12:27    Заголовок сообщения: Документация к вакуумному посту ВУП-5 Ответить с цитатой

Ищу документацию и ЗИП к универсальному вакуумному посту ВУП-5. Электронный вариант с чипмейкера скачал, но он от другой модификации.
Вернуться к началу
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Sergey
Дед


Зарегистрирован: 05.11.2004
Сообщения: 2049
Откуда: Санкт-Петербург

СообщениеДобавлено: Сб 04 Июнь 2022 22:54    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Попробуй спросить здесь
http://soreng.ru/?p=2739
У нас эти ВУПы переделывали, оригинальными пользоваться проблематично.
На неделе спрошу у людей. И фотку пришли.

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Вернуться к началу
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
FIZIK
Бывалый


Зарегистрирован: 27.10.2019
Сообщения: 123
Откуда: Владикавказ

СообщениеДобавлено: Вс 05 Июнь 2022 18:47    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Спасибо. Фотку сделаю.
Вернуться к началу
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
FIZIK
Бывалый


Зарегистрирован: 27.10.2019
Сообщения: 123
Откуда: Владикавказ

СообщениеДобавлено: Вс 05 Июнь 2022 19:33    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

ВУП - 5 точно такой, как на видео https://www.youtube.com/watch?v=Jbhxx7tEsQ0
Вернуться к началу
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Sergey
Дед


Зарегистрирован: 05.11.2004
Сообщения: 2049
Откуда: Санкт-Петербург

СообщениеДобавлено: Пн 06 Июнь 2022 23:03    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Посмотрел сегодня на ВУП-5 - похожие (но времени не было подробности узнать)
Единственно - полностью переделаны внутренности - блока справа сверху нет, заглушка.
Электроника переделана, насос турбомолекулярный. Система скорости напыления сделана.

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Вернуться к началу
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
FIZIK
Бывалый


Зарегистрирован: 27.10.2019
Сообщения: 123
Откуда: Владикавказ

СообщениеДобавлено: Вт 07 Июнь 2022 08:16    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Спасибо. Меня интересует оригинальная документация. Пока ничего переделывать не планирую. Хочу посмотреть, как это работает в оригинале. ТМН Эдвардс на будущее уже куплен и лежит, ждет своего часа.
Вернуться к началу
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Sergey
Дед


Зарегистрирован: 05.11.2004
Сообщения: 2049
Откуда: Санкт-Петербург

СообщениеДобавлено: Вт 07 Июнь 2022 17:54    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

К сожалению модификация ВУПов у нас более новая.
Попробуй на Сорэндж обратиться, может они что подскажут. Они наши ВУПы переделывали.

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Вернуться к началу
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
FIZIK
Бывалый


Зарегистрирован: 27.10.2019
Сообщения: 123
Откуда: Владикавказ

СообщениеДобавлено: Ср 08 Июнь 2022 14:50    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Написал им по Вашему совету. Ответили, что родной документации у них нет(((((
Вернуться к началу
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Sergey
Дед


Зарегистрирован: 05.11.2004
Сообщения: 2049
Откуда: Санкт-Петербург

СообщениеДобавлено: Чт 09 Июнь 2022 14:35    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Вот нашел к какому-то ВУП-5 схемы
http://emlab.usue.ru/files/VUP5.tar.gz
Отсюда http://emlab.usue.ru/equipment.php

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Вернуться к началу
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
FIZIK
Бывалый


Зарегистрирован: 27.10.2019
Сообщения: 123
Откуда: Владикавказ

СообщениеДобавлено: Чт 09 Июнь 2022 17:11    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Спасибо. Их я давно скачал, но это от другой модификации ВУПа к сожалению((((
Вернуться к началу
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
VMPS
Гуру


Зарегистрирован: 21.05.2004
Сообщения: 365
Откуда: Украина

СообщениеДобавлено: Ср 13 Июль 2022 21:47    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Ситуации в жизни часто меняются к лучшему. В надежде на это, вопрос: - что нового с клапаном 4 , и с переделкой системы под ТМН? Есть ли другие проблемы?
Вернуться к началу
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
FIZIK
Бывалый


Зарегистрирован: 27.10.2019
Сообщения: 123
Откуда: Владикавказ

СообщениеДобавлено: Чт 14 Июль 2022 07:52    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

В итоге документацию нашел. Помогли хорошие отзывчивые люди. Вакуумный пост полностью запустил и в ручном режиме опробовал все функции. Аппарат, просто сказка. Пока на ТМН переводить не буду. Много переделок и я еще не наигрался в таком виде.
Вернуться к началу
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Sergey
Дед


Зарегистрирован: 05.11.2004
Сообщения: 2049
Откуда: Санкт-Петербург

СообщениеДобавлено: Чт 14 Июль 2022 12:15    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

FIZIK писал(а):
Аппарат, просто сказка.

Со страшилками... Wink
Поэтому их и переделывают.

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Вернуться к началу
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
FIZIK
Бывалый


Зарегистрирован: 27.10.2019
Сообщения: 123
Откуда: Владикавказ

СообщениеДобавлено: Чт 14 Июль 2022 17:16    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Никаких страшилок нет. Все работает без нареканий. Думаю, что не в аппарате проблема у людей, а в руках...........
Вернуться к началу
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
VMPS
Гуру


Зарегистрирован: 21.05.2004
Сообщения: 365
Откуда: Украина

СообщениеДобавлено: Чт 14 Июль 2022 23:12    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Люблю хорошие новости. Особенно когда аппаратура оживает. И модернизация ВУП границ практически не имеет. Заходите , всегда рад гостям.
Вернуться к началу
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Sergey
Дед


Зарегистрирован: 05.11.2004
Сообщения: 2049
Откуда: Санкт-Петербург

СообщениеДобавлено: Пт 15 Июль 2022 11:54    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

FIZIK писал(а):
Все работает без нареканий.

Это хорошо.
Но вот остальное зависит от задач. У нас, к примеру, пылят контакты, маски металлические. А при этом нужна точность/стабильность. А это только после переделки получается.

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Вернуться к началу
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
FIZIK
Бывалый


Зарегистрирован: 27.10.2019
Сообщения: 123
Откуда: Владикавказ

СообщениеДобавлено: Пт 15 Июль 2022 17:56    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Посмотрим. Пока автоматику еще не задействовал. Поэтому о точности и стабильности ничего сказать не могу.
Вернуться к началу
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
VMPS
Гуру


Зарегистрирован: 21.05.2004
Сообщения: 365
Откуда: Украина

СообщениеДобавлено: Пт 15 Июль 2022 23:24    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

ВУП-5, как и ВУП-5М к сожалению имеет очень мало систем контроля режимов напыления. Пришлось все недостающее дополнительно изготовлять по мере возникновения потребности в измерении параметров.Установка весьма отзывчива и податлива на модернизации под задачи. Оснастили измерителем толщины напыления, системой стабилизации подачи рабочего газа для магнетрона , автоматика отключения процесса напыления...
Вернуться к началу
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
FIZIK
Бывалый


Зарегистрирован: 27.10.2019
Сообщения: 123
Откуда: Владикавказ

СообщениеДобавлено: Сб 16 Июль 2022 11:36    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Вообще-то в моем варианте ВУПа есть два варианта измерителя толщины напыления. По контролю прозрачности контрольного стекла и лазерный интерферометр. Оба этих датчика позволяют автоматически прерывать процесс напыления при достижении заданной толщины пленки. При автоматической смене контрольного стекла на чистое - процесс напыления повторяется. И так до 10 циклов подряд на автомате. Не знаю. как для магнетрона, а для ионной очистки пьезоклапан подачи газа работает отлично и давление само по себе не меняется.........
Вернуться к началу
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Показать сообщения:   
Начать новую тему   Ответить на тему    Список форумов Microscopist.ru -> Барахолка Часовой пояс: GMT + 3
Страница 1 из 1

 
Перейти:  
Вы не можете начинать темы
Вы не можете отвечать на сообщения
Вы не можете редактировать свои сообщения
Вы не можете удалять свои сообщения
Вы не можете голосовать в опросах
Вы не можете добавлять вложения в этом форуме
Вы не можете просматривать вложения в этом форуме


о проекте || новости || публикации || оборудование || события
фотогалерея
|| форум || спонсоры || ссылки

©2002 - Microscopist.ru - портал микроскопистов
:главная :контакты :карта сайта :faq :помощь Rambler's Top100 Рейтинг@Mail.ru
Powered by phpBB © 2001-2003 phpBB Group | Часовой пояс: GMT + 3