Документация к вакуумному посту ВУП-5

[FIZIK]

Ищу документацию и ЗИП к универсальному вакуумному посту ВУП-5. Электронный вариант с чипмейкера скачал, но он от другой модификации.

[Sergey]

Попробуй спросить здесь
http://soreng.ru/?p=2739
У нас эти ВУПы переделывали, оригинальными пользоваться проблематично.
На неделе спрошу у людей. И фотку пришли.

[FIZIK]

Спасибо. Фотку сделаю.

[FIZIK]

ВУП - 5 точно такой, как на видео https://www.youtube.com/watch?v=Jbhxx7tEsQ0

[Sergey]

Посмотрел сегодня на ВУП-5 - похожие (но времени не было подробности узнать)
Единственно - полностью переделаны внутренности - блока справа сверху нет, заглушка.
Электроника переделана, насос турбомолекулярный. Система скорости напыления сделана.

[FIZIK]

Спасибо. Меня интересует оригинальная документация. Пока ничего переделывать не планирую. Хочу посмотреть, как это работает в оригинале. ТМН Эдвардс на будущее уже куплен и лежит, ждет своего часа.

[Sergey]

К сожалению модификация ВУПов у нас более новая.
Попробуй на Сорэндж обратиться, может они что подскажут. Они наши ВУПы переделывали.

[FIZIK]

Написал им по Вашему совету. Ответили, что родной документации у них нет(((((

[Sergey]

Вот нашел к какому-то ВУП-5 схемы
http://emlab.usue.ru/files/VUP5.tar.gz
Отсюда http://emlab.usue.ru/equipment.php

[FIZIK]

Спасибо. Их я давно скачал, но это от другой модификации ВУПа к сожалению((((

[VMPS]

Ситуации в жизни часто меняются к лучшему. В надежде на это, вопрос: - что нового с клапаном 4 , и с переделкой системы под ТМН? Есть ли другие проблемы?

[FIZIK]

В итоге документацию нашел. Помогли хорошие отзывчивые люди. Вакуумный пост полностью запустил и в ручном режиме опробовал все функции. Аппарат, просто сказка. Пока на ТМН переводить не буду. Много переделок и я еще не наигрался в таком виде.

[Sergey]

[FIZIK]

Никаких страшилок нет. Все работает без нареканий. Думаю, что не в аппарате проблема у людей, а в руках...........

[VMPS]

Люблю хорошие новости. Особенно когда аппаратура оживает. И модернизация ВУП границ практически не имеет. Заходите , всегда рад гостям.

[Sergey]

[FIZIK]

Посмотрим. Пока автоматику еще не задействовал. Поэтому о точности и стабильности ничего сказать не могу.

[VMPS]

ВУП-5, как и ВУП-5М к сожалению имеет очень мало систем контроля режимов напыления. Пришлось все недостающее дополнительно изготовлять по мере возникновения потребности в измерении параметров.Установка весьма отзывчива и податлива на модернизации под задачи. Оснастили измерителем толщины напыления, системой стабилизации подачи рабочего газа для магнетрона , автоматика отключения процесса напыления...

[FIZIK]

Вообще-то в моем варианте ВУПа есть два варианта измерителя толщины напыления. По контролю прозрачности контрольного стекла и лазерный интерферометр. Оба этих датчика позволяют автоматически прерывать процесс напыления при достижении заданной толщины пленки. При автоматической смене контрольного стекла на чистое - процесс напыления повторяется. И так до 10 циклов подряд на автомате. Не знаю. как для магнетрона, а для ионной очистки пьезоклапан подачи газа работает отлично и давление само по себе не меняется.........