Начало div  FAQ  div  Поиск  div  Пользователи  div  Группы  div  Избранное  div  Регистрация  div  Вход 
Список форумов Microscopist.ru arrow Вольтовый контраст arrow А как в новых приборах

А как в новых приборах
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Автор Сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1886
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Пн 22 Май 2006 23:42    Заголовок сообщения: А как в новых приборах Ответить с цитатой

(Пока TEM-щики в чайной комнате...)
Нам пока новые приборы не светят. Однако хочется узнать, а как обстоят дела с наблюдением вольтового контраста в современных РЭМах.
В старых прибора с класическим детектором вторичных электронов удается добиться наблюдения этого контраста. В последних приборах для увеличения разрешения поднимают образцы "дальше некуда", то есть прям в линзу. Поэтому изобрели детектор вторичных электронов встроенный в линзу.
Так вот и вопрос, может кто-нибудь знает, возможно ли при этом наблюдать вольтовый контраст и с какой чувствительность.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Dan758
Дед

Сообщения: 1276
Зарегистрирован: 28.01.2004
Откуда: Челябинск
СообщениеДобавлено: Пн 22 Май 2006 23:56    Заголовок сообщения: Re: А как в новых приборах Ответить с цитатой

Sergey писал(а):
(Пока TEM-щики в чайной комнате...)


Ну и в чайной? Ну и что?
А если серьезно: обратитесь к представителям фирм. Тот же пМюллер будет счастлив рассказать Вам все прелести новых Supra. А за независимым мнением - к Dushе. Он у нас полифункционален и всеведущ

_________________
Цапу надо было крутить! Цапу! (c)
"Я не профессионал, я широко и раскованно мыслящий дилетант" (c)
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail ICQ Number
Sergey
Дед

Сообщения: 1886
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Вт 23 Май 2006 00:10    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

Ну и в чайной? Ну и что?

Да я рад за вас. Иногда тоже хочется расслабиться.
Меня в действительности интересует наблюдение p-n-переходов в многослойных структурах, у которых еще нет контактов. А на фирмах показывают картинки микросхем с поданным на них питанием - а это уже другие условия.
Хотелось бы узнать это у тех, кто занимается подобными исследованиями.

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Dusha
Дед

Сообщения: 2195
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Вт 23 Май 2006 00:17    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

А за независимым мнением - к Dushе

Ну и что? Это что теперь, стыдно стало?

А насчет вольтового контраста скажу так: поскольку для технологии микросхем это ключевая метода, ни одна фирма не будет изобретать ничего, что бы это методу не реализовывало.
Поскольку университеты и всякие прочие исследователи у фирмачей только для престижу, а 95% микроскопов они продают в промышленность.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Dusha
Дед

Сообщения: 2195
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Вт 23 Май 2006 00:19    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

Меня в действительности интересует наблюдение p-n-переходов в многослойных структурах, у которых еще нет контактов.

ООООО, это к нам!!!!
Это мы делаем элекронной голографией, прямо специально для того придуманная метода. Только на просвет. Confused В смысле поперечный срез надо сделать.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1886
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Вт 23 Май 2006 00:34    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

В смысле поперечный срез надо сделать.

Про метод элекронной голографии где-то недавно читал, но нам это не подходит. (Хотя этажом ниже стоит ПЭМ с атомным разрешением, но мы туда не вхожи)
В соседней теме фото есть скола солнечного элемента. Так в РЭМе минутное дело. Смотрим также приборы с 3-4 переходами. Без проблем и пространственного разрешения пока хватает.
Но вот как это будет выглядеть с встроенной в линзу системой сбора вторичных электронов?

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Serg
Бывалый

Сообщения: 204
Зарегистрирован: 19.01.2003
Откуда: Нижний Новгород
СообщениеДобавлено: Вт 23 Май 2006 09:58    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

[quote="Sergey"]
Цитата:

Но вот как это будет выглядеть с встроенной в линзу системой сбора вторичных электронов?


Опыт работы с этим детектором пока небольшой (чуть более месяца), а с вольтовым контрастом вообще дела не имел, но мне кажется, in-lens детектор должен быть вполне пригоден для такой работы. Если только вольтов контраст не забьется другим. Уж больно он, зараза, чувствителен и к рельефу, и к составу, не говоря уж о загрязнениях.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1886
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Вт 23 Май 2006 11:51    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

in-lens детектор должен быть вполне пригоден для такой работы

Не факт. Встроенный в линзу детектор может быть менее чувствителен к электрическим полям на образце. Кстати с классическим детектором вольтовый контраст не всегда наблюдается.
Ну а рельеф, грязь легко отсекаются. Просто делается свежий хороший скол.

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Serg
Бывалый

Сообщения: 204
Зарегистрирован: 19.01.2003
Откуда: Нижний Новгород
СообщениеДобавлено: Вт 23 Май 2006 13:36    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

[/quote]
Встроенный в линзу детектор может быть менее чувствителен к электрическим полям на образце. [/quote]

Почему?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1886
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Вт 23 Май 2006 14:33    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

Почему?

Если бы знал ответ - не открывал бы тему.
Интересно, а кто-нибудь занимается подобными исследованиями - отзовитесь.

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Sergey
Дед

Сообщения: 1886
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Вс 29 Апрель 2007 21:38    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:
отзовитесь.

Прошел год, а никто не отзывается Sad

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
injener
Дед

Сообщения: 3196
Зарегистрирован: 21.12.2004
Откуда: Московская область
СообщениеДобавлено: Пн 30 Апрель 2007 14:12    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Sergey писал(а):
Встроенный в линзу детектор может быть менее чувствителен к электрическим полям на образце.
Serg писал(а):
Почему?
Может быть потому, что железо линзы частично экранирует детектор, а поле линзы частично компенсирует поле образца? Rolling Eyes
Цитата:
Прошел год, а никто не отзывается
Видимо, мало кто с этим работает...
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Dusha
Дед

Сообщения: 2195
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Пн 30 Апрель 2007 17:30    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

Может быть потому, что железо линзы частично экранирует детектор, а поле линзы частично компенсирует поле образца?

По моему не может быть....
Если посмотреть схематику и описание in-lense детекторов, то вроде получается так, что их эффективность наоборот выше, чем у обычных, поскольку поле линзы работает как фокусирующий элемент, поэтому электронов на детектор попадает больше.

Поправьте, если я неправ: вольтов контраст связан с меньшей (большей) работой выхода вторичных электронов в допированной области, так? То есть распределение по энергиям вторичных эл-нов должно отличаться. У Джеол сейчас есть какой-то хитрый in-lense детектор, который позволяет выбирать энергию электронов. Не поможет это для увеличения вольтова контраста?

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
injener
Дед

Сообщения: 3196
Зарегистрирован: 21.12.2004
Откуда: Московская область
СообщениеДобавлено: Пн 30 Апрель 2007 18:07    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:
Поправьте, если я неправ:
Нужно почитать немного... Со специалистами посоветоваться... Rolling Eyes
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Sergey
Дед

Сообщения: 1886
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Пн 30 Апрель 2007 18:08    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:
Поправьте, если я неправ:

Вы правы (только еще потенциал меняется - особенно, если приложить напряжение).
Но хотелось бы увидеть примеры картинок и комментарии. Что-то никто, похоже, не смотрит такие образцы

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Показать сообщения:   
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Страница 1 из 1


о проекте || новости || публикации || оборудование || события
фотогалерея
|| форум || спонсоры || ссылки

©2002 - Microscopist.ru - портал микроскопистов
:главная :контакты :карта сайта :faq :помощь Rambler's Top100 Рейтинг@Mail.ru
Powered by phpBB © 2001-2003 phpBB Group | Часовой пояс: GMT + 3