Начало div  FAQ  div  Поиск  div  Пользователи  div  Группы  div  Избранное  div  Регистрация  div  Вход 
Список форумов Microscopist.ru arrow Микроанализ arrow правильная оценка состава слойной структуры

правильная оценка состава слойной структуры
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Автор Сообщение
jrrw
Бывалый

Сообщения: 98
Зарегистрирован: 11.04.2004
Откуда: Минск. Физтех.
СообщениеДобавлено: Пн 09 Сентябрь 2013 13:42    Заголовок сообщения: правильная оценка состава слойной структуры Ответить с цитатой

все добрый день.
помогите правильно интерпретировать логику измерения.
подложка Si, на ней 15 нм Pt, на нем NiV 80 нм. при увеличении напряжения количество Pt снижается. не должно ли оно повышаться?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail ICQ Number
Eugene
Бывалый

Сообщения: 118
Зарегистрирован: 15.02.2006
Откуда: Новосибирск, ИНХ СО РАН
СообщениеДобавлено: Вт 10 Сентябрь 2013 11:33    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Это сложный вопрос, по идее концентрация платины должна сначала появится, потом расти, потом, с появлением пика кремния падать. Можно промоделировать данную структуру программой "Casino 2.0". Вообще-то пленки и многослойники это не гомогенные образцы, а метод предназначен для гомогенных, поэтому в зависимости от ускоряющего напряжения рассчитанные концентрации элементов могут сильно меняться. Есть еще разные методы расчета "ZAF", "Phi-Rho-Z", "Ratio". По моим наблюдениям, наилучшим методом для тонких пленок и высоких ускоряющих напряжениях является "Ratio".
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
jrrw
Бывалый

Сообщения: 98
Зарегистрирован: 11.04.2004
Откуда: Минск. Физтех.
СообщениеДобавлено: Вт 10 Сентябрь 2013 12:05    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

казино моделировал. она дает вообще странный результат. я снимал на 4 кВ. по казино вообще не должно было излучение дойти до кремния практически. все параметры установлены правильно. а что такое Ratio и где можно о нем узнать подробнее?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail ICQ Number
jrrw
Бывалый

Сообщения: 98
Зарегистрирован: 11.04.2004
Откуда: Минск. Физтех.
СообщениеДобавлено: Вт 10 Сентябрь 2013 12:37    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

да, я имел в виду концентрацию платины относительно NiV. т.е. кремния в расчете нет.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail ICQ Number
Eugene
Бывалый

Сообщения: 118
Зарегистрирован: 15.02.2006
Откуда: Новосибирск, ИНХ СО РАН
СообщениеДобавлено: Ср 11 Сентябрь 2013 05:54    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Если Вы уверены, что пленка больше ста нанометров, а на 4 кВ кремний уже виден, то скорее всего пленка не сплошная, либо пористая, либо бугристая это еще хуже для анализа. Могут вообще не те цифры получиться. Ratio это расчет концентрации по соотношению пиков, без внесения каких либо поправок.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1891
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Ср 11 Сентябрь 2013 10:18    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Ровность можно проверить в РЭМе, сделав скол - структура должна быть видна
_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
jrrw
Бывалый

Сообщения: 98
Зарегистрирован: 11.04.2004
Откуда: Минск. Физтех.
СообщениеДобавлено: Ср 11 Сентябрь 2013 11:01    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

пористой быть не может совершенно. толщина 90 нм, из них около 80 NiV.
гугл по Ratio ничего не дает. это что-то очень специфическое?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail ICQ Number
Eugene
Бывалый

Сообщения: 118
Зарегистрирован: 15.02.2006
Откуда: Новосибирск, ИНХ СО РАН
СообщениеДобавлено: Ср 11 Сентябрь 2013 11:22    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Вы на слом эту пленку смотрели? Как вообще определяли толщину?
У меня на JEOL 6700F микроанализатор тоже JEOL, там в программе в расчете концентраций три метода ZAF, Phi-Rho-Z и Ratio.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
jrrw
Бывалый

Сообщения: 98
Зарегистрирован: 11.04.2004
Откуда: Минск. Физтех.
СообщениеДобавлено: Ср 11 Сентябрь 2013 12:10    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

на слом не смотрел, это заводское напыление интеграла, там не может быть никакой пористости. обычная пластина с ковейера. толщина тоже от них, сомнений там нет, напыление на оборудовании Intel. а вот у меня только ZAF (edax).
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail ICQ Number
Показать сообщения:   
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Страница 1 из 1


о проекте || новости || публикации || оборудование || события
фотогалерея
|| форум || спонсоры || ссылки

©2002 - Microscopist.ru - портал микроскопистов
:главная :контакты :карта сайта :faq :помощь Rambler's Top100 Рейтинг@Mail.ru
Powered by phpBB © 2001-2003 phpBB Group | Часовой пояс: GMT + 3