Начало div  FAQ  div  Поиск  div  Пользователи  div  Группы  div  Избранное  div  Регистрация  div  Вход 
Список форумов Microscopist.ru arrow РЭМ (Железо) arrow GIS и FIB

GIS и FIB
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Автор Сообщение
pust2
Бывалый

Сообщения: 327
Зарегистрирован: 07.08.2006
Откуда: Владивосток
СообщениеДобавлено: Пн 16 Ноябрь 2015 09:57    Заголовок сообщения: GIS и FIB Ответить с цитатой

Всем привет!
Поделитесь инфой. Кто пользует GIS - платина, вольфрам для осаждения. Какие температуры, сколько предварительно разогревается?
Идеально если это Zeiss CrossBeam.
Спасибо.
PS. Что-то у нас не получается....
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Посетить сайт автора
Serg
Бывалый

Сообщения: 204
Зарегистрирован: 19.01.2003
Откуда: Нижний Новгород
СообщениеДобавлено: Пн 16 Ноябрь 2015 11:42    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

А что конкретно не получается? Работаю на аналогичном оборудовании, Pt летит хорошо (если катридж не очень старый), W - намного хуже. Температуры от 82 до 89, прогрев идет примерно 15 - 20 минут (точно не засекал). Оптимальная температура та, при которой удается держать рекомендуемый вакуум (у меня примерно 2 Х 10-5). При долгом осаждении приходится температуру потихоньку поднимать.
Если с вакуумом все в норме, а осаждается плохо, посмотрите в правильное ли положение подводятся капиляры - механика этого там не очень, приходилось подправлять.
Со временем, конечно, летит хуже, даже если и ресурс далеко не выработан. Наладчик при установке рекомендовал прогревать хотя бы раз в неделю, даже если GIS не нужен. Говорит, что-то происходит с прекурсором, без подробностей. Хотя, я показывал формулу химикам, говорят, что закрытом объеме это вещество не должно деградировать. Химия - дело тонкое и темное.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
pust2
Бывалый

Сообщения: 327
Зарегистрирован: 07.08.2006
Откуда: Владивосток
СообщениеДобавлено: Пт 18 Декабрь 2015 02:19    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

У нас не осаждает, либо очень мало осаждает, по позиции изъездили почти все что можно.
И это под 54 градуса наклона, под 0 градусов вообще молчу, а это необходимо для пробоподготовки. И еще осаждение электронным пучком...

Купили новые прекрсоры, не помогло, через полгода поменяли по гарантии та же ерунда.
Сейчас мутим столик с Пельтье, чтобы реально посмотреть куда летит.
Сервис предлагал греть сутки и т.п., но воз и ныне там...

Единственный нюанс у нас присобачен SIMS и эвцентрика на 1 мм ниже, т.е. не 4.9, а 5.9 мм по электронному пучку.
А, могут капилляры забиться, засориться, хотя мы их почти не использовали?
Вот как-то такая засада.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Посетить сайт автора
Serg
Бывалый

Сообщения: 204
Зарегистрирован: 19.01.2003
Откуда: Нижний Новгород
СообщениеДобавлено: Ср 23 Декабрь 2015 19:47    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

На 1 мм - это очень далеко от образца. Газ в вакуум расширяется шустро. Чем ближе дюзы, тем лучше осаждение, Оптимально ~200 мкм.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
pust2
Бывалый

Сообщения: 327
Зарегистрирован: 07.08.2006
Откуда: Владивосток
СообщениеДобавлено: Пн 28 Декабрь 2015 07:49    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Нет, сопла мы подводим близко, даже меньше чем 200 мкм. Это эвценрика ушла ниже...
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Посетить сайт автора
Serg
Бывалый

Сообщения: 204
Зарегистрирован: 19.01.2003
Откуда: Нижний Новгород
СообщениеДобавлено: Ср 15 Июнь 2016 08:59    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Как обстоят дела с осаждением, удалось ли его победить? Загляните в "личку", есть вопрос по Вашему докладу в Зеленограде, а мои письма по адресу <pust@lemoi.phys.........> не доходят. Адрес изменился?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Показать сообщения:   
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Страница 1 из 1


о проекте || новости || публикации || оборудование || события
фотогалерея
|| форум || спонсоры || ссылки

©2002 - Microscopist.ru - портал микроскопистов
:главная :контакты :карта сайта :faq :помощь Rambler's Top100 Рейтинг@Mail.ru
Powered by phpBB © 2001-2003 phpBB Group | Часовой пояс: GMT + 3