Начало div  FAQ  div  Поиск  div  Пользователи  div  Группы  div  Избранное  div  Регистрация  div  Вход 
Список форумов Microscopist.ru arrow Помощь arrow работа с напылительной Q 150 T

работа с напылительной Q 150 T
На страницу 1, 2  След.
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Автор Сообщение
elmg
Бывалый

Сообщения: 39
Зарегистрирован: 26.12.2007
СообщениеДобавлено: Вт 09 Февраль 2016 02:09    Заголовок сообщения: работа с напылительной Q 150 T Ответить с цитатой

О работе напылительной Q 150 T. Самый простой вариант. Напыление углеродом. Используем стержни. Толщина напыления отличается на порядок, условия те же самые, даже стержень тот же. Чем может быть вызвано?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Eugene
Бывалый

Сообщения: 118
Зарегистрирован: 15.02.2006
Откуда: Новосибирск, ИНХ СО РАН
СообщениеДобавлено: Вт 09 Февраль 2016 06:42    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

На порядок плюс или минус? Стержень меняли?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
elmg
Бывалый

Сообщения: 39
Зарегистрирован: 26.12.2007
СообщениеДобавлено: Вт 09 Февраль 2016 07:28    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Бывает две вспышки -общая толщина 2микрона. Тот же самый стержень затачивается еще раз для следующего напыления и после первой вспышки уже 20 мк.
Не получаетя отследить какую-то зависимость - вакуум, влажность, ток (?). Дегазация стержня при том же токе, все устанавливаемыенами параметры одинаковы

Стержни из одной партии. На каждое последующее напыление ставим новый, свеже заточенный. И вопрос - минус это о чем?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Eugene
Бывалый

Сообщения: 118
Зарегистрирован: 15.02.2006
Откуда: Новосибирск, ИНХ СО РАН
СообщениеДобавлено: Вт 09 Февраль 2016 10:55    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Это с каждым стержнем так или только с одним?
Минус это о порядке, стало на порядок покрытие толще или тоньше.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
elmg
Бывалый

Сообщения: 39
Зарегистрирован: 26.12.2007
СообщениеДобавлено: Ср 10 Февраль 2016 02:07    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

От стержня зависимости нет. Они длинные, мы их делим на 3-4 части и работаем с одной, затачиваем для каждого следующего напыления, пока хватает длины. И такой вот хаос,к примеру последние данные толщина 6 следующее 31 дальше 31 дальше 4.6 - 19 7.5 -2. Иногда бывает 40.
Если бы стержни затачивали на конус, напильничком, контролировали "на глаз" я бы понимала: острие конуса испарилось, дальше распыление меньше,там увеличение тока для испарения и т. д.
Но здесь - точилка, аккуратненький цилиндр, заданный ток.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
VLADIMIR
Бывалый

Сообщения: 97
Зарегистрирован: 16.10.2006
Откуда: Новосибирск
СообщениеДобавлено: Ср 10 Февраль 2016 09:50    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

последние данные толщина 6 следующее 31 дальше 31 дальше 4.6 - 19 7.5 -2. Иногда бывает 40.
У Вас для одного и того же режима распыления углерод оседает действительно с разной толщиной или "толщиномер" так показывает?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Eugene
Бывалый

Сообщения: 118
Зарегистрирован: 15.02.2006
Откуда: Новосибирск, ИНХ СО РАН
СообщениеДобавлено: Ср 10 Февраль 2016 12:06    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Стержни из одной партии?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
elmg
Бывалый

Сообщения: 39
Зарегистрирован: 26.12.2007
СообщениеДобавлено: Чт 11 Февраль 2016 01:49    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Стержни из одной партии, это отслеживали.
Углеродная пленка действительно разной толщины, на глаз видно, не только датчик показывает. И в процессе напыления, и по почернению.
"Толщиномер" хороший, к нему претензий нет, по результатам анализа стандартов видно, проверяли.
Следующее, что пробуем - увеличили время напыления.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
VLADIMIR
Бывалый

Сообщения: 97
Зарегистрирован: 16.10.2006
Откуда: Новосибирск
СообщениеДобавлено: Чт 11 Февраль 2016 05:18    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

От работающих с КВОРУМАМИ я слышал, что эл. схемы там сыроваты. Если у Вас идет сбой режима на втором цикле напыления, то попробуйте выключить полностью напылялку, чтобы этот второй цикл шел теперь как первый. Если при этом все будет хорошо, то ищите сбой каких-то параметров в системе управления процессом распыления.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
elmg
Бывалый

Сообщения: 39
Зарегистрирован: 26.12.2007
СообщениеДобавлено: Чт 11 Февраль 2016 07:15    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

1. У меня нет сбоев, все выполняется согласно заданным параметрам - откачка, дегазация - напыление. Мне непонятно, почему разброс такой в толщине.
2. Не понятно, что Вы называете "второй цикл". Я задаю параметры, там их с десяток и включаю. И процесс идет. Для следующего напыления, если нужно, редактирую параметры.
3. Я, к сожалению, знаю только три таких установки, но одна так и не распакована, вторая не работает а третья, что работает, без такого как у нас датчика.
Именно поэтому и надеюсь найти людей работающих с такой напылилкой, с опытом практической работы.
4. О Сырых схемах не мне судить, но, насколько я понимаю ,ничего там необычного нет. Я кстати на днях узнала о возможностях очень старого устройства ВУП-2 (1973 г. Спасибо, на этом сайте и помогли). Эта установочка, судя по руководству, делала все, что современные. А за сорок-то лет... Да нам теперь схем к оборудованию и не положено иметь.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
VLADIMIR
Бывалый

Сообщения: 97
Зарегистрирован: 16.10.2006
Откуда: Новосибирск
СообщениеДобавлено: Пт 12 Февраль 2016 05:40    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

Используем стержни. Толщина напыления отличается на порядок, условия те же самые, даже стержень тот же.
В таком случае (условия те же самые) вряд ли процесс напыления идет "согласно заданным параметрам". Удивляет другое. Если под "мк" Вы подразумеваете микрометры, то напылить до 40 мкм за раз из распыляемого графитового цилиндрика диаметром порядка 1 мм и длиной около 5 мм (а распыляется он не весь) - в это трудно верится. Прикиньте максимально возможную толщину осаждаемого слоя. Колпак, наверное, в диаметре сантиметров 20. Вот и подсчитайте, хотя бы для полусферы, каким слоем осядет испаряемая порция графита, если его плотность в пленке процентов на 20 меньше его плотности в стержне. Под вторым циклом я подразумевал следующее. Если я верно понял, у Вас при одних и тех же задаваемых режимах второе и последующие напыления дают большой разброс от желаемого. Так Вы попробуйте выключить напылялку, а потом напылиться при тех же условиях. Будет ли теперь дикий разброс в толщинах? Ваши "две вспышки" - если импульсный режим не предусмотрен, то прочистите все эл. контакты под колпаком.
,
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Eugene
Бывалый

Сообщения: 118
Зарегистрирован: 15.02.2006
Откуда: Новосибирск, ИНХ СО РАН
СообщениеДобавлено: Пт 12 Февраль 2016 05:51    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Вполне возможно, что VLADIMIR совершенно прав и дело именно в контактах. Ну или схема электрическая барахлит, тогда нужно осцилограф подключать, скачки напряжения смотреть.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
elmg
Бывалый

Сообщения: 39
Зарегистрирован: 26.12.2007
СообщениеДобавлено: Пт 12 Февраль 2016 09:06    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

1. при напылении приборчик показывает величину тока. Она именно та,какую задали. Если плохие контакты, то пожалуй этого не должно быть, правильно? Открытые контакты почищу.
2. Vladimir Вы неправильно поняли, нет никакой системы Я не занимаюсь напылением длительное время, по необходимости. Иногда включаюсь на одно напыление, иногда на четыре. Эта напылилка для углерода не позволяет задавать "желаемое" напыление. У меня просто при одинаковых задаваемых условиях значительный (с моей точки зрения) разброс. На порядок (например 2 и 20)
3. Я не разработчик и не продаю это оборудование. Но уже не впервые получаю замечание, как говорят "пытаюсь определить толщину напыления". Я этим данным доверяю, я их проверила - по результатам количественного анализа. На силикатах. Толщина напыления получаемая с этой напылилки на INCA улучшает результат анализа. Если вводить "на глаз" по контрасту на фарфоре, или по цветам интерференции то получается хуже. Так что под мк я подразумеваю ту единицу, которую дает напылилка и принимает матобеспечение INCA. Я никогда не задумывалась, какое именно количество углерода распыляется, но если прикинуть, то примерно как на Ewdards (там размеры значительно больше) или у японцев. А там мы стержни точили на конус, испаряется тоже не очень много материала, примерно как от цилиндрика.
И еще вопрос, Вы с такой напылилкой работаете?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
VLADIMIR
Бывалый

Сообщения: 97
Зарегистрирован: 16.10.2006
Откуда: Новосибирск
СообщениеДобавлено: Пт 12 Февраль 2016 10:35    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

Вы с такой напылилкой работаете?

JEE-4C - старая, надежная, без автоматики и компьютезированных выпендрежей. Работают все, вне зависимости от пола и стажа. При напылении все мы укладываются в 200-300 ангстрем, контролируя визуально по медяшке длительность испарения стержня. При напряжении от 20 кВ и выше реальное место внутри указанного диапазона уже особо и не важно (для нашего типа работ).
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Eugene
Бывалый

Сообщения: 118
Зарегистрирован: 15.02.2006
Откуда: Новосибирск, ИНХ СО РАН
СообщениеДобавлено: Пт 12 Февраль 2016 13:19    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Величина тока тока - интегральная, резких скачков Вы не увидете. А есть какая-нибудь закономерность в изменении толщины напыления?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
elmg
Бывалый

Сообщения: 39
Зарегистрирован: 26.12.2007
СообщениеДобавлено: Пн 15 Февраль 2016 02:08    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Закономерностей с никаких увидеть не могу. За всем наблюдали: вакуум, стержни, влажность, наконец, Заточка стержней одна и та же от оператора не зависит. Производители не отвечают, а те, что продают - устанавливают говорят, что для напыления стержнями характерна нестабильность. Но у них нет опыта постоянной работы с этим оборудованием, как я понимаю. Я потому и пытаюсь найти людей с опытом практической работы, какой у них бывает нестабильность. Вообще говоря я надеялась получить информацию о режиме работы, к примеру " если ставить не максимальный ток напыления и 3 вспышки, то усредняется эффект". Либо - "ставить ток больше и одну вспышку".
А при какой длительности вспышки я могу увидеть нестабильность тока?
У меня сейчас 2 секунды, можно немного увеличить. Насколько помню при ручном напылении хватало секунд пять.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
VLADIMIR
Бывалый

Сообщения: 97
Зарегистрирован: 16.10.2006
Откуда: Новосибирск
СообщениеДобавлено: Пн 15 Февраль 2016 07:27    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Вам надо
Цитата:

ставить ток больше и одну вспышку

Ну а длительность испарения подбирайте по толщинометру. В этом случае воспроизводимость по толщине должна быть лучше, чем при
Цитата:

если ставить не максимальный ток напыления и 3 вспышки
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
elmg
Бывалый

Сообщения: 39
Зарегистрирован: 26.12.2007
СообщениеДобавлено: Пн 15 Февраль 2016 09:24    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Владимир Николаевич так не получится. В том то и дело, что я при одинаковых заданных условиях получаю значительный разброс, разный результат. То 2 а то 20. И не могу подобрать условия. Я с этого и начала. Хочу понять в чем причина.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
SlavaSEM
Новенький

Сообщения: 12
Зарегистрирован: 19.12.2014
СообщениеДобавлено: Чт 25 Февраль 2016 13:21    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

У нас тоже такая пылилка. Я тоже не могу понять почему при работе с углеродом от раза к разу измеритель толщины показывает разные значения . Причем не зависимо используешь стержень или нить.

Вы толщину 2 и 20 мк мерите на самой установке напыления с помощью встроенного измерителя толщины? Если да, тогда сам измерительный элемент (он в ЗИПах прилагается) как часто меняете? Ведь с каждым измерением на нем копится толщина напыления, и как это влияет на измерение толщины?
Почему то меня этот вопрос всегда мучает, как он определяет толщину напыления, какой принцип работы?

Если я правильно понял, дополнительно вы определяете толщину с помощью INKA ? Как это делается? Поделитесь, пожалуйста.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1905
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Чт 25 Февраль 2016 15:58    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

SlavaSEM писал(а):

Почему то меня этот вопрос всегда мучает, как он определяет толщину напыления, какой принцип работы?

Кварцевый измеритель толщины пленок - поищи в инете

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Показать сообщения:   
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Страница 1 из 2 На страницу 1, 2  След.


о проекте || новости || публикации || оборудование || события
фотогалерея
|| форум || спонсоры || ссылки

©2002 - Microscopist.ru - портал микроскопистов
:главная :контакты :карта сайта :faq :помощь Rambler's Top100 Рейтинг@Mail.ru
Powered by phpBB © 2001-2003 phpBB Group | Часовой пояс: GMT + 3