Автор |
Сообщение |
SlavaSEMНовенький
Сообщения: 12 Зарегистрирован: 19.12.2014
|
|
Добавлено: Чт 25 Февраль 2016 16:33 Заголовок сообщения: |
|
|
Поискал я в интернете, ничего толком не нашел. Сергей, Вы как специалист скажите, напыленный слой на датчике никак не влияет на точность измерения толщины последующих напылений?
|
|
|
|
|
 |
SergeyДед
Сообщения: 1900 Зарегистрирован: 05.11.2004 Откуда: Санкт-Петербург
|
|
Добавлено: Чт 25 Февраль 2016 18:24 Заголовок сообщения: |
|
|
SlavaSEM писал(а): |
Сергей, Вы как специалист скажите, напыленный слой на датчике никак не влияет на точность измерения толщины последующих напылений? |
Я не специалист...
Метод основан на измерении частоты генератора с кварцем, на который напыляется материал и изменяет его массу. Из общих принципов понятно, что имеется критическая масса напыленного материала для данного генератора (схемного решения) и кварца . А вот эти данные должны быть в техническом описании прибора...
_________________ Он же: SergeyIT, Cthutq.
|
|
|
|
|
 |
SlavaSEMНовенький
Сообщения: 12 Зарегистрирован: 19.12.2014
|
|
Добавлено: Пт 26 Февраль 2016 09:44 Заголовок сообщения: |
|
|
Спасибо, Сергей, я Вас понял.
Остается второй вопрос: как с помощью СЭМа и ЭДС анализа можно измерить толщину пленки? И на сколько этот метод точен?
|
|
|
|
|
 |
AbkbyБывалый
Сообщения: 151 Зарегистрирован: 05.08.2011 Откуда: Москва
|
|
Добавлено: Сб 27 Февраль 2016 03:20 Заголовок сообщения: |
|
|
SlavaSEM писал(а): |
..
Остается второй вопрос: как с помощью СЭМа и ЭДС анализа можно измерить толщину пленки? И на сколько этот метод точен? |
Полагаю, то ИЗМЕРИТЬ - никак, максимум - СРАВНИТЬ. Толще или тоньше. И то подводных камней хватает.
|
|
|
|
|
 |
VLADIMIRБывалый
Сообщения: 97 Зарегистрирован: 16.10.2006 Откуда: Новосибирск
|
|
Добавлено: Пн 29 Февраль 2016 06:44 Заголовок сообщения: |
|
|
Цитата: |
можно измерить толщину пленки? И на сколько этот метод точен?
|
Почитайте Рида с 343 страницы. Если в измерениях уложитесь в 20 - 30 отн.% погрешности, то будет хорошо.
|
|
|
|
|
 |
elmgБывалый
Сообщения: 39 Зарегистрирован: 26.12.2007
|
|
Добавлено: Чт 03 Март 2016 10:15 Заголовок сообщения: |
|
|
Slava, я Вам написала личное сообщение.
|
|
|
|
|
 |
vklsi2Бывалый
Сообщения: 294 Зарегистрирован: 18.02.2009
|
|
Добавлено: Пт 04 Март 2016 03:10 Заголовок сообщения: |
|
|
Давно не ходил на сайт, а тут, как оказалось, идут бурные дискуссии. Попробую поучаствовать.
VLADIMIR, в последнем переводе Рида всего 227 страниц (Рид измельчал...), поэтому, видимо, нужно читать 183 страницу. Но я бы посоветовал проштудировать главу 11 книжки "Handbook of Sample Preparation for Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis" (Patrick Echlin), там досконально все разобрано, вплоть до того, как работает измеритель толщины, и даже приведены чувствительности кварцевых измерителей в нм/Гц изменения частоты кварцевого резонатора. Кроме того, я обнаружил массу полезных советов в инструкции к Q150T, особенно мне понравилась глава 5.6 "Ramped profile". Появлением такого режима работы изготовитель фактически признал несовершенство старой методики (с одной или несколькими вспышками).
Elmg, обратите внимание на слова о перегреве кварцевого измерителя при (относительно) длительном напылении. Кроме того, воспроизводимость и качество напыления очень сильно зависит от вакуума, а по умолчанию в Q150T стоит простенький вакуумметр, покруче идет лишь как опция. Поэтому, если у вас стоит минимальная комплектация, то проблем с вакуумом Вы можете и не заметить.
SlavaSEM, оценить воспроизводимость толщины углеродной пленки можно, воспользовавшись методикой, которую используют все изготовители ЭДС при сдаче прибора (а некоторые еще и заставляют операторов постоянно проделывать эту операцию) для определения степени загрязнения тонкого окошка и самого детектора (а в SiLi детекторах еще и наличие воды на поверхности детектора): нужно взять свежеполированный никель (или хром, или медь) и измерить отношение интенсивностей L линии к К линии. Естественно, делать это каждый раз строго в одних и тех же условиях.
А оценить абсолютную величину толщины, я думаю, можно (но сам не пробовал), если в программе анализа есть строчка, куда забивается толщина покрытия, нанесенного на образец. Тогда можно взять, например, свежеполированную нержавеющую сталь, немного расфокусировать пучок, и добиваться совпадения результатов количественного анализа до и после напыления, забивая разные толщины в соответствующую строчку. Только анализ железа (в случае нержавеющей стали) лучше делать по L линии.
По поводу точности этого метода ничего не могу сказать, нужно сравнивать с результатами измерений другими методами. Впрочем, если есть микроскоп с полевым катодом, то можно попробовать измерить толщину на изломе.
|
|
|
|
|
 |
vklsi2Бывалый
Сообщения: 294 Зарегистрирован: 18.02.2009
|
|
Добавлено: Пт 04 Март 2016 03:28 Заголовок сообщения: |
|
|
Elmg, а почему бы не попробовать напылять на меньшем токе (естественно, после обесгаживания), чтобы увеличить время напыления, а останавливать процесс по измерителю толщины? Но в инструкции рекомендуют в подобных случаях увеличивать расстояние до образца, чтобы уменьшить нагрев измерителя. Т.е. использовать высокий стеклянный колпак, если, конечно, он есть в комплекте.
|
|
|
|
|
 |
elmgБывалый
Сообщения: 39 Зарегистрирован: 26.12.2007
|
|
Добавлено: Пт 04 Март 2016 05:01 Заголовок сообщения: |
|
|
Спасибо огромное за ответ - совет. У меня минимальная комплектация, Но, вообще говоря вакуумметр вроде работает. Когда наступает влажное время вакуум хуже. Но буду знать что так может быть.
И у меня нет главы 5.6 "Ramp profile" и профиля такого нет. Напылилка уже не новая, та самая старая методика как выясняется. Если можно, поделитесь инструкцией, я о перегреве измерителя практически ничего не знаю.
Что касается правильности получаемого с напылительной абсолютного значения толщины. Проверила при анализе стандартов (силикатный анализ). Лучшие результаты с той толщиной, что дает напылительная.
Еще раз о процесе напыления. Эта напылительная при напылении углеродом не останавливает процесс при достижении нужной толщины. Это можно только для металлов. Мы вводим параметры в профиль и наблюдаем за тем что происходит. Сейчас остановились на том, что не очень большой ток (65) и две вспышки. И как-то усредняется. И вот еще что мне интересно, есть ли у нее защита от большого тока? Как то в моей инструкции о таком не говорится, а в старой Edward такая возможность есть.
|
|
|
|
|
 |
VLADIMIRБывалый
Сообщения: 97 Зарегистрирован: 16.10.2006 Откуда: Новосибирск
|
|
Добавлено: Пт 04 Март 2016 07:10 Заголовок сообщения: |
|
|
Я предлагал посмотреть монографию Рида "Электронно-зондовый микроанализ" в переводе Козленкова Александра Ивановича в части определения толщины пленки методами этого самого микроанализа (соответствующей измерительной аппаратуры не касаюсь). В простейшем варианте толщину пленки на подложке оценивают по разнице интенсивности сильнопоглощающейся углеродом линии металла, измеренной в его напыленном и ненапыленном участках. В расчетах по обычной формуле ослабления X-Ray потока потребуется знать плотность графитовой пленки. Возьмите справочную плотность с коэффициентом примерно 1.2
|
|
|
|
|
 |
vklsi2Бывалый
Сообщения: 294 Зарегистрирован: 18.02.2009
|
|
Добавлено: Пт 04 Март 2016 10:57 Заголовок сообщения: |
|
|
Elmg, если у вас есть измеритель толщины, комплектация не минимальная. Может, и ваккумметр тоже продвинутый? Тем более, что он чувствует влажность. У меня большое подозрение, что можно перепрошить вашу напылялку и довести ее до текущего уровня. Думаю, разработчики предусмотрели такой вариант, раз есть разъем для подключения к локальной сети (и Интернету). Попробуйте написать в Quorum. По поводу инструкции предлагаю связаться через личку. И, извините за столь наивный вопрос, Вы используете аргон и азот в вашей напылялке?
Судя по спецификации, в машинке используется регулируемый источник постоянного тока до 90 А. Раз так, значит, защита есть.
|
|
|
|
|
 |
vklsi2Бывалый
Сообщения: 294 Зарегистрирован: 18.02.2009
|
|
Добавлено: Пт 04 Март 2016 11:03 Заголовок сообщения: |
|
|
Vladimir, перевод Козленкова - это самое первое издание? У Вас нет этой книжки в электронном виде (я куда-то задевал свою бумажную)? Техносфера опубликовала в 2008 году перевод Петрова, Романенко и Ревенко.
|
|
|
|
|
 |
AbkbyБывалый
Сообщения: 151 Зарегистрирован: 05.08.2011 Откуда: Москва
|
|
Добавлено: Сб 05 Март 2016 03:42 Заголовок сообщения: |
|
|
vklsi2 писал(а): |
Vladimir, перевод Козленкова - это самое первое издание? У Вас нет этой книжки в электронном виде (я куда-то задевал свою бумажную)? Техносфера опубликовала в 2008 году перевод Петрова, Романенко и Ревенко. |
Эта?
https://yadi.sk/d/jAcVtqfnpvWTD
|
|
|
|
|
 |
vklsi2Бывалый
Сообщения: 294 Зарегистрирован: 18.02.2009
|
|
Добавлено: Чт 10 Март 2016 12:59 Заголовок сообщения: |
|
|
Большое спасибо, именно эта.
|
|
|
|
|
 |
xelieНовенький
Сообщения: 6 Зарегистрирован: 12.04.2012
|
|
Добавлено: Чт 02 Июнь 2016 00:39 Заголовок сообщения: |
|
|
Как я понимаю, речь идет о двух прижатых друг к другу стержнях, один заточен. Так вот для повторяемости важен еще такой параметр как сила прижима. кто-то даже приборами измеряет за границей. Странно, что никто не упомянул.
|
|
|
|
|
 |
ASmirnovБывалый
Сообщения: 283 Зарегистрирован: 19.02.2007 Откуда: Новосибирск, НГТУ
|
|
Добавлено: Чт 02 Июнь 2016 11:18 Заголовок сообщения: |
|
|
SlavaSEM писал(а): |
сам измерительный элемент (он в ЗИПах прилагается) как часто меняете? Ведь с каждым измерением на нем копится толщина напыления, и как это влияет на измерение толщины?
|
Менять его нужно, когда прибор скажет "кайне", или, по-нашему, "не будем работать без верхонок".
Напылялка вносит коррективы с увеличением массы кристалла (и толщины, соответственно).
Если для каждого напыления ставить новый кристалл, то только на них и будете работать.
_________________ Любая наука, даже самая незначительная, начинается с серьезного ремонта...
|
|
|
|
|
 |
|
|