Начало div  FAQ  div  Поиск  div  Пользователи  div  Группы  div  Избранное  div  Регистрация  div  Вход 
Список форумов Microscopist.ru arrow РЭМ (Железо) arrow Cold cathode gauge 850-610-g2

Cold cathode gauge 850-610-g2
На страницу 1, 2  След.
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Автор Сообщение
Cyber
Бывалый

Сообщения: 33
Зарегистрирован: 13.01.2013
Откуда: Уфа
СообщениеДобавлено: Вт 07 Февраль 2017 18:02    Заголовок сообщения: Cold cathode gauge 850-610-g2 Ответить с цитатой

У кого есть какая-либо документация на этот датчик 850-610-g2.
Хотя бы технические характеристики, значения токов при max и min давлениях. И как его чистить?

Личка на форуме не работает, похоже. Можно сюда: molc[a]ya.ru
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Cyber
Бывалый

Сообщения: 33
Зарегистрирован: 13.01.2013
Откуда: Уфа
СообщениеДобавлено: Чт 09 Февраль 2017 00:37    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

В общем, разобрал я этот датчик. Внутри ужас какой-то, его не чистили никогда.
Графит на катоде весь рассыпался и вылетел. Небольшая часть осталась на стенках.
Катод теперь совсем голый, без графитовой оболочки. Датчик в таком виде будет работать? Насколько критично наличие графита на катоде для правильности показаний датчика?



Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
VMPS
Бывалый

Сообщения: 325
Зарегистрирован: 21.05.2004
Откуда: Украина
СообщениеДобавлено: Чт 09 Февраль 2017 08:42    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Попробуйте здесь
http://machine-recycling.com/Parts-Machines/Steam-Powered/East/Used/Penning-cold-cathode-gauge-inficon-850-610-G2.php6
Ваш датчик (его часто называют датчик Пеннинга) может выполнять функции наглядного пособия. Ввиду изменения размеров электродов корректная работа датчика нарушится.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Cyber
Бывалый

Сообщения: 33
Зарегистрирован: 13.01.2013
Откуда: Уфа
СообщениеДобавлено: Пт 10 Февраль 2017 16:06    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Поставил на место датчик после очистки, включил, заработал. Показания в начале вроде похожи на правду и соответствуют показаниям других датчиков на термопарах, около 10^-3. А вот дальше вакуум подозрительно медленно набирается, за 2 часа ТМН смог накачать только 6*10^-5. И проверить пока нечем показания, ионный насос ничего не показывает, вернее зашкаливает за 10^-4.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
VMPS
Бывалый

Сообщения: 325
Зарегистрирован: 21.05.2004
Откуда: Украина
СообщениеДобавлено: Вс 12 Февраль 2017 06:33    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

По ходу процесса все нормально. Датчик выдает параметры вполне соответствующие изменившейся геометрии... , но эти параметры уже не соответствуют истинному состоянию давления в вакуумной системе. Радикальный выход из проблемы - покупка нового оригинального датчика. Возможны и другие варианты: более и менее затратные.
А ионный насос , как раз, дает более достоверную информацию.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Sergey
Дед

Сообщения: 1886
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Вс 12 Февраль 2017 17:49    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Может через кого знакомых купить можно?
http://www.ebay.com/itm/INFICON-850-610-G2-COLD-CATHODE-VACUUM-GAUGE-/141610565388

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Cyber
Бывалый

Сообщения: 33
Зарегистрирован: 13.01.2013
Откуда: Уфа
СообщениеДобавлено: Вс 12 Февраль 2017 18:10    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Да я видел, но какова вероятность, что у использованного катод не в таком же плачевном состоянии.
На самом деле у этого датчика есть взаимозаменяемые аналоги других производителей. Но за отсутствием в сети какой-либо документации или подробного описания параметров, проверить на 100% не могу, приходится верить сервис инженерам на слово. А так, можно было бы выбрать дешевый аналог.
Я так понял эти дачки обычно идут либо 2А/торр, либо 5А/торр. Но, не имея хотя бы паспорта на них, не понятно какой из них какой.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1886
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Вс 12 Февраль 2017 18:17    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Cyber писал(а):
Я так понял эти дачки обычно идут либо 2А/торр, либо 5А/торр. Но, не имея хотя бы паспорта на них, не понятно какой из них какой.

Так может в вашей электронике есть подстройка под нужный датчик

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Cyber
Бывалый

Сообщения: 33
Зарегистрирован: 13.01.2013
Откуда: Уфа
СообщениеДобавлено: Вс 12 Февраль 2017 18:20    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Sergey писал(а):

Так может в вашей электронике есть подстройка под нужный датчик

Может. Но кто ж его знает без схемы. Только сервис инженеры, но они никакую документацию по настройке и ремонту не дают.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
vklsi2
Бывалый

Сообщения: 288
Зарегистрирован: 18.02.2009
СообщениеДобавлено: Пн 13 Февраль 2017 00:17    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

C Пеннингами все устроено донельзя примитивно...
Во-первых, в фибах и микроскопах не нужно точно знать реальный уровень вакуума, то есть точность - плюс-минус километр. Порядок вакуума прибору нужно знать только для того, чтобы вовремя закрыть клапана и выключить турбик при возникновении какой-нибудь аварии в вакуумной системе. И вовремя снять высокое напряжение с пушки и детекторов. Сейчас, как правило, конструкторы берут на рынке какой-нибудь высоковольтный блочок (киловольтов так на 1,5 - 2), присоединяют его к Пеннингу и измеряют ток в цепи высокого этого блока. На высоком вакууме его можно считать практически линейным. Измеряют ток одним или двумя операционниками, дальше сигнал идет на оцифровку, если индикация вакуума цифровая, или просто на стрелочный прибор. На операционнике есть переменный резистор, регулирующий напряжение (в современных ОУ нуль уже практически никто не регулирует). Вам нужно найти этот резистор на плате, проследив цепи по печатной плате, поставить какой нибудь вакуумметр (тоже с Пеннингом, ионизационным или Баярда- Альперта датчиком) поближе к фланцу, на котором сидит штатный Пеннинг, и подрегулировать резистор до совпадения показаний после, например, получасовой откачки на высоком вакууме (т.е. на турбике или диффузионнике). Поскольку у Вас Пеннинг сильно потравился после такой эксплуатации, линейность измерений и чувствительность может нарушиться, но, как я писал, здесь большая точность не нужна. Главное, чтобы значения вакуума, измеренные Пеннингом, не скакали, т.е. чтобы не было пробоев высокого в цепях Пеннинга.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Cyber
Бывалый

Сообщения: 33
Зарегистрирован: 13.01.2013
Откуда: Уфа
СообщениеДобавлено: Пн 13 Февраль 2017 00:51    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Да, похоже пока так и оставлю. Тем более на ионном насосе еще есть стрелочная индикация давления. Можно по нему откалибровать этот датчик.
Только хорошо бы знать, как изменились показания (увеличились или уменьшились) относительно изначально верных, после потери катодом графитовой оболочки.
Ваши предположения, господа?
Я думаю, ток уменьшился, а значит и показания давления на стрелочном индикаторе тоже уменьшились.
Это я к тому, что ионный насос можно включать после достижения определенного давления в камере 10^-5, а работать после 10^-7. Просто теперь пораньше или попозже включать относительно 10^-5?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
vklsi2
Бывалый

Сообщения: 288
Зарегистрирован: 18.02.2009
СообщениеДобавлено: Пн 13 Февраль 2017 03:22    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Насколько я понимаю, никакого графита там быть не должно. Просто это многолетняя грязь от паров масла, модифицированных ионами. Скорее значения могли изиениться из-за того, что геометрия внутри Пеннинга ушла в результате травления. Обычно ионный насос стоит далеко от Пеннинга и качает другой объем, поэтому значения должны отличаться. А что у Вас качает ионный насос? Может, выложите схему вакуумной системы?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
vklsi2
Бывалый

Сообщения: 288
Зарегистрирован: 18.02.2009
СообщениеДобавлено: Пн 13 Февраль 2017 03:27    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Если ток в Пеннинге уменьшился, значит, он показывает лучший вакуум, чем на самом деле. Если снимете высокое с Пеннинга, он вообще покажет 10^-10.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Cyber
Бывалый

Сообщения: 33
Зарегистрирован: 13.01.2013
Откуда: Уфа
СообщениеДобавлено: Пн 13 Февраль 2017 11:12    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

vklsi2 писал(а):
А что у Вас качает ионный насос? Может, выложите схему вакуумной системы?

FEI FIB 611. Ионный насос качает из колонны. Там еще между ним и камерой есть ручной клапан.
Цитата:
Если ток в Пеннинге уменьшился, значит, он показывает лучший вакуум, чем на самом деле.

В этом то и вопрос, уменьшился или увеличился ток. Графит там точно был. Где-то в описании датчика даже находил и в инструкции по очистке.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
vklsi2
Бывалый

Сообщения: 288
Зарегистрирован: 18.02.2009
СообщениеДобавлено: Пн 13 Февраль 2017 13:38    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Да, я встречал Пеннинги проще по конструкции. Графит, конечно, более устойчивый материал к травлению. Но у Вас Пеннинг полностью разборный. Это значит, что можно просто выточить катод из графита или из какого-то металла с низкой скоростью травления ионами. Если выдержать геометрию, то вообще ничего калибровать не придется.
Если ионный насос стоит в другом объеме, чем Пеннинг (а у Вас между этими объемами даже есть клапан), то вакуум будет отличаться на порядок, по крайней мере.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Cyber
Бывалый

Сообщения: 33
Зарегистрирован: 13.01.2013
Откуда: Уфа
СообщениеДобавлено: Ср 15 Февраль 2017 00:09    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Сегодня получил очень странные показания на этом датчике после 3 часов откачки. До 5*10^-5 все нормально показывало, а после стрелочный индикатор резко стал показывать 10^-8, что явно быть не может. Не могу понять, откуда, при такой простой конструкции, могут взяться такие скачки?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
vklsi2
Бывалый

Сообщения: 288
Зарегистрирован: 18.02.2009
СообщениеДобавлено: Ср 15 Февраль 2017 01:26    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Дык все понятно: раз геометрия ушла, то напряженность электрического поля упала, разряд на малых давлениях не зажигается, нестабилен. Не зря там starting pin предусмотрен. Выход - восстановить форму электрода и подточить starting pin.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
vklsi2
Бывалый

Сообщения: 288
Зарегистрирован: 18.02.2009
СообщениеДобавлено: Ср 15 Февраль 2017 01:35    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Все-таки советую Вам выложить вакуумную схему, тогда легче будет отвечать на Ваши вопросы.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
vklsi2
Бывалый

Сообщения: 288
Зарегистрирован: 18.02.2009
СообщениеДобавлено: Ср 15 Февраль 2017 01:39    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Честно говоря, я не знаю, какой должна быть форма starting pin в Вашем случае. Если он будет слишком тупой, не зажжется разряд на малых давлениях, если слишком острый, - могут быть пробои на высоких.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Cyber
Бывалый

Сообщения: 33
Зарегистрирован: 13.01.2013
Откуда: Уфа
СообщениеДобавлено: Ср 29 Март 2017 11:48    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Там starting pin на резьбе, можно регулировать расстояние до анода. Но требуется ли после этого калибровка? Или он выкручивается на минимальное расстояние до анода, главное чтоб не было пробоя на 10-3? Вообще на 10-3 пробой возможен? Пробовал подкручивать, расстояние оставалось 1-2мм. Датчик стал получше показывать, только с 10-5 начинает стрелка скакать до 10-7. Может еще подкрутить? Я так понимаю, главное достичь избыточного насыщения электронами и не допустить пробоя?
Купил Я Varian 525 новый, но он нормально не заработал. Показания также уходят в 0 после 10-4. Хотя там конструкция немного другая, не видно starting pin и baffle нет, а катод больше в 2 раза. И вся конструкция топорно сделана. И устанавливать пришлось через переходник.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Показать сообщения:   
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Страница 1 из 2 На страницу 1, 2  След.


о проекте || новости || публикации || оборудование || события
фотогалерея
|| форум || спонсоры || ссылки

©2002 - Microscopist.ru - портал микроскопистов
:главная :контакты :карта сайта :faq :помощь Rambler's Top100 Рейтинг@Mail.ru
Powered by phpBB © 2001-2003 phpBB Group | Часовой пояс: GMT + 3