Начало div  FAQ  div  Поиск  div  Пользователи  div  Группы  div  Избранное  div  Регистрация  div  Вход 
Список форумов Microscopist.ru arrow РЭМ (Железо) arrow После чистки колонны CamScan4 луч плохо проходит на образец

После чистки колонны CamScan4 луч плохо проходит на образец
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Автор Сообщение
enzh
Бывалый

Сообщения: 52
Зарегистрирован: 15.11.2004
СообщениеДобавлено: Пн 25 Ноябрь 2019 19:20    Заголовок сообщения: После чистки колонны CamScan4 луч плохо проходит на образец Ответить с цитатой

Чистились анод, венельт, диафрагма сканирования filament image (где-то в описании ее, кажется, назвали spray aperture), все втулки в большом и малом тьюбах, внутренний канал блока отклонения и стигматоров, отожжены апертурные, заменены 3 конденсорные диафрагмы в длинном тьюбе, а также катод. Поглощенный ток на образце - менее наноампера. Снова разобрал колонну, пытаясь понять, что мог поставить криво, не по центру колонны. Пришел к выводу, что конструкция не позволяет плохо ее собрать, посадочные места диафрагм и других критичных деталей не допускают люфтов или неправильной сборки. Повторная сборка не улучшила ситуацию. Зарисовал схему электрических подключений элементов колонны. Подключил внешний источник тока ко второму конденсору. Удалось увидеть ток на образце до 5 нА при минимальном токе в первом (резолюшен 5 или 11) и двух значениях во втором: 352мА и 849мА. Штатно предустановленные два рабочих значения составляют 0,66А при резолюшн 1-4 и 1,71А при резолюшн 5-11, с ними тока почти нет. Не помню, каков поглощенный ток был раньше при каких положениях резолюшн, но явно был больше.
Кто-то сталкивался с подобными проблемами?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
FIZIK
Бывалый

Сообщения: 24
Зарегистрирован: 27.10.2019
Откуда: Владикавказ
СообщениеДобавлено: Пн 25 Ноябрь 2019 19:36    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

У меня только 2 варианта в голове Первый - не отъюстирован катод Второй - перепутаны местами диафрагмы.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Sergey
Дед

Сообщения: 1956
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Пн 25 Ноябрь 2019 23:37    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Никогда не чистил верхнюю часть колонны. 1 раз разбирал нижнюю, чистил систему поворота изображения.
В режиме центровки катода (если есть) как выглядит картинка, нормально? Если все нормально, то тоже соглашусь, что может быть перепутаны диафрагмы.

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
enzh
Бывалый

Сообщения: 52
Зарегистрирован: 15.11.2004
СообщениеДобавлено: Вс 01 Декабрь 2019 22:34    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Я и сам впервые провел такую профилактику прибору, изготовленному ранее 90г прошлого века. Катод юстировался по обычной схеме - в режиме filament image выводился на центр диафрагмы сканирования, а затем ток накала увеличивался до прекращения сжатия пятна. Когда разбирался длинный тьюб, его конструкция аккуратно зарисовывалась, чтобы ничего не перепутать. Возможно, все же ошибся. Кто проходил через это посмотрите, пожалуйста, мой рисунок. Есть ли отличие от вашего?
Ну и сразу еще вопрос. Для экспериментов потребовалось просто равномерно заэкспонировать растр максимального размера. Для проверки я заэкспонировал при минимальном увеличении и дозой частичного удаления пленку резиста ПММА на кремниевой пластине. После проявления при некоторых углах наблюдения на прямоугольнике сканирования видна неоднородность в виде четырех лепестков, иногда размывающаяся до ромбообразной фигуры. Я попытался сфотографировать ее при этих углах, тоже выкладываю, не знаю, насколько эти фото информативны. Если не очень понятно, там серия прямоугольников сканирования с неоднородностью. Первоначально я предположил, что это от зарядки чего-то в колонне. Но после чистки неоднородность сохранилась. Из-за чего это может быть?
Файлы не загрузились, видимо, они не по уставу этого монастыря. Посмотреть их можно в облаке https://cloud.mail.ru/public/69YH/2uocBb6P3
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1956
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Пн 02 Декабрь 2019 01:22    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Картинки на сайте ограничены по размеру, и типу файлов.
Так как я не разбирал эту часть, то сравнить с реальным не могу, да и уменя прибор с полевым катодом, у него могут быть отличия (например первый конденсор у меня электростатический).
В документации посмотрю, может есть схема.
По фото резиста не понял в какой части картинок ток больше - в центре или на углах.
А проблема появилась еще до первой разборки прибора?

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1956
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Пн 02 Декабрь 2019 14:08    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Подробной документации по колонне у себя не нашел, к сожалению.
А изображение получается? Растр по ПММА вроде виден. Я бы еще в ручную подвигал по кремнию пучек в режиме точки, будет ли меняться ток.

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
enzh
Бывалый

Сообщения: 52
Зарегистрирован: 15.11.2004
СообщениеДобавлено: Пн 02 Декабрь 2019 18:59    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

По этим картинкам информацию о токе извлечь невозможно. Это различный характер дифракции освещения на решетке частично проявленного растра в центре растра и на периферии. Причем, непонятно, где ток больше. Граница этих различий не очень плавная, а ее рисунок не очень повторяем. Возможна какая-то электронно-оптическая аберрация, ибо ее ориентация относительно сторон прямоугольника растра сохраняется при повороте растра (вращается вместе с растром).
Изображение с образца можно получить при двух нештатных значениях тока второго конденсора (выше писал про них). При этом слабо реагирует на регулировки положения апертурной диафрагмы и астигматизма. Полная центровка диафрагмы не получается - снижение воблерных перемещений в одном направлении вызывает увеличение в перпендикулярном. При большем токе 2го конденсора изображение получше.
Проблема появилась до чистки колонны и инициировала эту глубокую чистку. Возможно, неоднородность растра есть конструктивная особенность колонны, просто при обычно используемых увеличениях работает маленькая почти однородная центральная часть растра. Тогда я зря затеял эту чистку и получил новую проблему с малым током после сборки.
Вот, пока такие мысли.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1956
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Пн 02 Декабрь 2019 23:24    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Смущает малый ток... Такое бывало при неправильной сборке колонны (я про другие РЭМ).
По-поводу линейности растра при малых увеличениях - это же не литограф и вполне может быть.
То с чем сталкивался
- что-то попадало вблизи оптической оси
- пропадал контакт (это когда есть встроенный цилиндр фарадея)
- слезала металлизация с кварцевых трубок
- несоосность диафрагм (светили из-под объектива по оси и смотрели со стороны анода прохождение света)
- проблема с катодным узлом - (усы напылились к примеру)
- забывали поставить анод (был такой случай)
- пропадал контакт в схеме электронной центрови катода (но у вас ее вроде нет)
- при сборке куда-нибудь мог попасть винт из магнитного материала (не родной)
Я бы посмотрел как будут себя вести изображения настройки при отсутствии апертурной диафрагмы (там же есть такое положение).
И посмотри все-таки меняется ли ток при ручном перемещении пучка - это режим включается - Split magnification - SP и нажать кнопку показать крест центра экрана - перемещение пучка ручками перемещения растра. У меня так...
ЗЫ
По-поводу диафрагм - их диаметры не сильно отличаюся и сильно повлиять на величину тока их неправильный порядок не должен. И по вашему рисунку - там похоже есть еще места, где могут стоять диафрагмы (в нижней части) - не могли ли вы перепутать место установки какой-то из них (тогда ток действительно может сильно уменьшиться.

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Показать сообщения:   
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Страница 1 из 1


о проекте || новости || публикации || оборудование || события
фотогалерея
|| форум || спонсоры || ссылки

©2002 - Microscopist.ru - портал микроскопистов
:главная :контакты :карта сайта :faq :помощь Rambler's Top100 Рейтинг@Mail.ru
Powered by phpBB © 2001-2003 phpBB Group | Часовой пояс: GMT + 3