Начало div  FAQ  div  Поиск  div  Пользователи  div  Группы  div  Избранное  div  Регистрация  div  Вход 
Список форумов Microscopist.ru arrow РЭМ (Методы) arrow Ионное травление + РЕМ

Ионное травление + РЕМ
На страницу 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9  След.
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Автор Сообщение
Tolik
Новенький

Сообщения: 10
Зарегистрирован: 31.05.2006
СообщениеДобавлено: Ср 31 Май 2006 11:08    Заголовок сообщения: Ионное травление + РЕМ Ответить с цитатой

А есть ли какие-нибудь способы наблюдать процесс ионного травления в СЭМ?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1907
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Ср 31 Май 2006 11:22    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Есть приборы с двумя пучками электронным и ионным.
А что Вы хотите увидеть при травлении?

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
injener
Дед

Сообщения: 3196
Зарегистрирован: 21.12.2004
Откуда: Московская область
СообщениеДобавлено: Ср 31 Май 2006 12:56    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

А можно еще несколько образцов потравить в разных режимах и разное время и потом посмотреть их последовательно. И увидите изменения, которые и дадут Вам некую картину процесса в динамике... Это проще... Smile
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Tolik
Новенький

Сообщения: 10
Зарегистрирован: 31.05.2006
СообщениеДобавлено: Ср 31 Май 2006 16:15    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

В данных приборах (FIB) процесс просмотра идет методом: отключили ионный источник, включили СЭМ.
Смотреть в динамике - идея хорошая, но это очень медленно.
У меня есть задача - найти контроль за процессом травления. Есть проблема - когда я включаю ионный источник то BSE и SE детектора в системе не работают - засвечиваются. Так может как-то можно эти детектора модернезировать, чтоб можно было их включать при работающей ионной пушке (только не советуйте из системы сделать СИМС Very Happy )
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
injener
Дед

Сообщения: 3196
Зарегистрирован: 21.12.2004
Откуда: Московская область
СообщениеДобавлено: Ср 31 Май 2006 16:39    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

BSE и SE детектора в системе не работают - засвечиваются.

Это естественный процесс... Можно попробовать дать отрицательное напряжение на коллектор детектора вторичных электронов. Тогда понизится эффективность их сбора. Может быть поможет, но думаю, вряд-ли... Можно еще приделать какой-нибудь коллиматор или поглотитель непосредственно перед детектором, чтобы, опять же, снизить поток регистрируемого излучения... Rolling Eyes Но, скорее всего, должно быть более простое решение...
А вообще-то контролировать процесс ионного травления не так сложно... По-моему, это уже описано в литературе...
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Sergey
Дед

Сообщения: 1907
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Ср 31 Май 2006 16:43    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

найти контроль за процессом травления

Контроль чего - глубины травления или состава?

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Dusha
Дед

Сообщения: 2199
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Ср 31 Май 2006 17:16    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

когда я включаю ионный источник то BSE и SE детектора в системе не работают - засвечиваются.

На XBeam (цайссовский FIB) я такого не наблюдал, при токах Ga пушки 100-200пА (если я с порядками не напутал) картинка получается довольно приличная и скорость травления тоже. Выложить фильм? На этом принципе они делают томографию.
Есть вариант как Вы говорите: травишь несколько сек, делаешь снимок и т.д., причем времени это занимает не намного дольше, а картинки все же лучше.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Tolik
Новенький

Сообщения: 10
Зарегистрирован: 31.05.2006
СообщениеДобавлено: Ср 31 Май 2006 23:32    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Моя задача - найти контроль над скоростью травления (но в принципе это уже совсем другая история). То, что данный вопрос обширно описан в литературе, мне не помогло, так как каждая система индивидуальна, как и задачи поставленные перед ней.

Я не знаком с цайзовским FIB-ом (работал только на балтековской установке), но знаю точно, что есть системы ионного травления (может это и есть FIB, упомянутый уважаемым Dusha), в которых процесс травления и наблюдения идут одновременно. Вот и стало мне интересно - а как они, то есть производители, этого добились. Может это все же не такое простое решение, как сказал injener?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Tolik
Новенький

Сообщения: 10
Зарегистрирован: 31.05.2006
СообщениеДобавлено: Ср 31 Май 2006 23:33    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

Выложить фильм?


А вообще фильм посмотреть было бы интересно Very Happy
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Dusha
Дед

Сообщения: 2199
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Чт 01 Июнь 2006 11:15    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Я не большой спец по видео. Моя система почему-то пакует в mpeg4 только как quicktime movie, виндовский проигрыватель его понимать не хочет. Так что если у кого проблемы - я не виноват.
При другом кодеке размер получается безразмерный, или качество безобразное Smile

FIBonline.mov

Воспроизведение ускоренное, реальное время бежит в правом нижнем углу. Крест вокруг частицы нарисован для выравнивания, я потом из этого видео восстанавливаю внутренний объем.

Вот, кстати, родилась идея насчет как Вам по простому избежать засветки: организуйте стробоскоп, хоть и механический пропеллер, на ионный пучок и синхронизируйте его с кадровой разверткой СЭМ. Из заморочек с электроникой - только ввести небольшую задержку на обратный кадровый ход луча, во время которого будет происходить травление.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1907
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Чт 01 Июнь 2006 21:38    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

Так что если у кого проблемы - я не виноват.

QUickTimePlayer ругается и на работе и дома - не находит кодека. А какой нужен?

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Dusha
Дед

Сообщения: 2199
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Чт 01 Июнь 2006 21:46    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Мне писал, что mpeg4....
Можно попробовать какам-нибудь DVD плеером, там такой должен быть.
ЗЫ У меня кажет, и на работе (очевидно) и дома.

Попробуйте просто загрузить файл, а потом разными прогрывателями его подергать.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1907
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Чт 01 Июнь 2006 22:17    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Дааа. Красиво смотрится. Нам бы такой прибор.
Есть идеи, но нет таких возможностей.

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Dusha
Дед

Сообщения: 2199
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Пт 02 Июнь 2006 10:24    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

Красиво смотрится.

А полезно-то как! Мне приносят на анализ 120мм шайбу с микросхемами и выдают координаты типа: квадрат Q52, ячейка 17-83, схема KGF, транзистор M-2 - показывает нестандартные характеристики. Я эти 5х5 микрон нахожу, вырезаю и делаю образец для ТЕМ. И все им рассказываю про их нестандартный транзистор, начиная от трехмерного строения, до химанализа и высокого разрешения.
Цитата:

Нам бы такой прибор.

Мы долго обсуждали с PapaMuller'ом, чтобы он привез такой на демострацию в Черноголовку. Но тяму у него не хватило. И вообще аппендицит Confused
К сожалению у нас такого тоже нет и нет возможностей. Все делается по договоренности на стороне. Sad Sad
А вообще такую подержанную машину можно купить тыс за 50 (есть тому примеры). Деньги в принципе небольшие.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Tolik
Новенький

Сообщения: 10
Зарегистрирован: 31.05.2006
СообщениеДобавлено: Пт 02 Июнь 2006 21:10    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Не удается дома открыть видео.... Sad

Цитата:

Вот, кстати, родилась идея насчет как Вам по простому избежать засветки: организуйте стробоскоп


Отличная идея, спасибо. В голове уже назрело что-то подобное. Если это все будет иметь ход и как-то получится, то скажу что вышло....
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Tolik
Новенький

Сообщения: 10
Зарегистрирован: 31.05.2006
СообщениеДобавлено: Пт 02 Июнь 2006 21:23    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Вопрос сразу у меня возник к Dusha.

Я так понял, что Вы обладаете опытом по подготовке образцов на ПЭМ из дефектных областей вайферов (методом ионного травления)? Если да, то Вы бы могли меня направить или просветить по данному вопросе о том, именно: как вообще классифицируются эти дефекты, что они из себя представляют, как мы их можем увидеть в СЭМ или на high resolution СЭМ?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1907
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Пт 02 Июнь 2006 22:24    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

Не удается дома открыть видео....

Дома в ХР проиграл MediaPlayer'ом с установленным QuickTime.
На работе в Win2k установил MediaPlayer v9 - не получилось. Установил QuickTime v5 - не открывает, обновил (update) QuickTime и после этого QuickTime проиграл файл.
Показал коллеге, который занимается ионным травлением - очень понравилось.

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Dusha
Дед

Сообщения: 2199
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Пн 12 Июнь 2006 12:37    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

как вообще классифицируются эти дефекты, что они из себя представляют, как мы их можем увидеть в СЭМ или на high resolution СЭМ?

Вопрос сильно общий, могу тут только направить к каким-нибудь классическим трудам по дефектам. Кроме того, я в этом деле совсем не спец, в моем случае - о чем вижу, о том пою.
На примитивном уровне моих познаний классически дефекты делятся по размерности: точечные, линейные, двумерные. Помимо этого еще всякие разные специальные, вот gut в черноголовке рассказывал про V-дефекты Confused
Правда, чтобы про это связно рассказывать, нужно тему знать намного глубже, чем я. Попробуем кого-нибудь привлечь из знатоков, того же gut'a. Только правильней будет сделать отдельную тему и сформулировать вопрос более конкретно.
Насколько я знаю, на СЕМ дефекты можно видеть либо по рельефу, которые они создают при выходе на поверхность, либо по ямкам травления. Напрямую на сколах - что-то я сомневаюсь, по крайней мере нам это не удалось в свое время.
Цитата:

Показал коллеге, который занимается ионным травлением - очень понравилось.

Кстати, хорошие новости от педигрипал - оказывается в Москве стоит больше 5-ти машин подобного типа, и одна из них демонстрационная. Заходите http://www.microscopist.ru/forum/viewforum.php?f=39 и попробуйте организовать себе демо сессию. Покупать не обязательно. Smile

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1907
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Пн 12 Июнь 2006 12:54    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

на СЕМ дефекты можно видеть

Некоторые виды деффектов хорошо видно в EBIC и CL, но классифицировать их в этих режимах не удается. Мы когда-то для этого использовали рентгеновскую топографию совместно с этими методами.

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Dusha
Дед

Сообщения: 2199
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Пн 12 Июнь 2006 18:29    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

Некоторые виды деффектов хорошо видно в EBIC и CL

Детекторы нужны соответствующие...

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Показать сообщения:   
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Страница 1 из 9 На страницу 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9  След.


о проекте || новости || публикации || оборудование || события
фотогалерея
|| форум || спонсоры || ссылки

©2002 - Microscopist.ru - портал микроскопистов
:главная :контакты :карта сайта :faq :помощь Rambler's Top100 Рейтинг@Mail.ru
Powered by phpBB © 2001-2003 phpBB Group | Часовой пояс: GMT + 3