Начало div  FAQ  div  Поиск  div  Пользователи  div  Группы  div  Избранное  div  Регистрация  div  Вход 
Список форумов Microscopist.ru arrow РЭМ (Методы) arrow Ионное травление + РЕМ

Ионное травление + РЕМ
На страницу Пред.  1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9  След.
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Автор Сообщение
vklsi2
Бывалый

Сообщения: 298
Зарегистрирован: 18.02.2009
СообщениеДобавлено: Пт 21 Май 2010 12:26    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Да нет, не старый, но, похоже, был слишком дорогим. Ну, действительно, про разрешение на 30 кВ ни слова, а без больших киловольт даже толком анализа не сделаешь. А кто сейчас покупает РЭМ без ЭДС? Т.е. очень узкая специализация прибора. Вполне возможно, это ошибка маркетологов.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Dusha
Дед

Сообщения: 2199
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Пт 21 Май 2010 15:10    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:
Dusha, а какая Ваша машина?

У меня Helios от FEI.

Цитата:
а без больших киловольт даже толком анализа не сделаешь.

А вот и нет!
Я тут на днях как раз маялся.
Система такая: вирусы покрытые наночастицами оксида железа. Там действительно нано, без дураков, 1-2 нм. Это хозяйство нанесли на кремниевую вафлю с целью изучения, нанесли довольно разреженно, чтобы отдельные вирусы смотреть можно было. Мы их понятно увидели и рассмотрели со всех сторон, у них диаметр 30нм, частицы увидели. Встал вопрос доказать, что это правда оксид железа.
Делаю анализ на 30кВ - лезет огромный пик кремния, детектор выдает под 10000 cps (у нас SDD, он это спокойно переваривает), вместо линий железа - фон и шум.
Опустил ускоряющее до 2кВ - красота! Кремний задавился сразу, сигнал большей частью с поверхности, вылез огромный пик железа и такой же кислорода. Даже с одного вируса накопили приличный сигнал.
Так что иногда полезно анализ при маленьких киловольтах Rolling Eyes Wink

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
vklsi2
Бывалый

Сообщения: 298
Зарегистрирован: 18.02.2009
СообщениеДобавлено: Пт 21 Май 2010 15:24    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Никто не спорит, но это экзотика, Вам просто повезло, что ничего, кроме железа и кислорода там нет. Чуть система посложней, и все наложилось. Хорошо именно для качественного анализа на крошечных объектах. Бесплатное приложение к традиционному анализу. То бишь количественному и на шлифах.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Habakkuk
Бывалый

Сообщения: 117
Зарегистрирован: 28.01.2006
Откуда: Киев
СообщениеДобавлено: Сб 22 Май 2010 17:23    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

"Опустил ускоряющее до 2кВ - красота! Кремний задавился сразу, сигнал большей частью с поверхности, вылез огромный пик железа и такой же кислорода." 2 кв - маловато. А какой такой сигнал был от железа и кислорода если кремний задавился? L или M серии? Или вы EELSы анализируете?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
vklsi2
Бывалый

Сообщения: 298
Зарегистрирован: 18.02.2009
СообщениеДобавлено: Вс 23 Май 2010 18:02    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

А что, глянуть в табличку, если уж Вы интересуетесь ЭДС, слабо?
Энергия пика К линии кремния 1, 74 кэВ, К линии кислорода 0,52, L линии железа 0,7. Нужны еще пояснения?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Dusha
Дед

Сообщения: 2199
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Вс 23 Май 2010 18:33    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:
L или M серии? Или вы EELSы анализируете?

Два встречных вопроса сразу:
1) есть какие-то новости с фронтов? На какой серийной сканирующей машине устанавливают EELS? Вопрос не праздный очень нужен спектрометр потерь, работающий при энергиях до сотен вольт.
2) если не секрет, при какой энергии М линии железа? Wink

Насчет задавился сигнал кремния: он не железным пиком задавился, а по причине того, что энергия возбуждения для него маловата, всего на 300 вольт выше энергии К линии кремния (спасибо vklsi2!)

Цитата:
Никто не спорит, но это экзотика

vklsi2, я мог бы возразить в ответ, что количественный анализ шлифов - весьма узкая и специфическая область приложения, но очевидно, что все зависит от конкретного опыта работы конкретного человека.
Смысл моего поста был в основном в том, чтобы еще раз подчеркнуть - если ничо не получается, надо просто пошевелить мозгами и ручками. А бранить приборы - дело последнее, они нам даны как объективная реальность.

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Dusha
Дед

Сообщения: 2199
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Вс 23 Май 2010 18:53    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Чтобы не быть голословным, вот спектры. Параметры пучка одинаковые во всех случаях.

vklsi2, кстати, подумал я тут, что не так уж малые ускоряющие бесполезны и для шлифов. Изменение высокого даст Вам разрешение по глубине, по крайней мере качественное представление о том, меняется что-то или нет. И позволит анализировать маленькие выделения, например на границах зерен.
Так что не спешите отбрасывать мудрость народную Mr. Green Mr. Green Mr. Green



EDX 30kV virus.jpg
 Описание:
Спектр от вирусной частицы при ускоряющем 30кВ
 Размер файла:  27.26 KB
 Просмотрено:  472 раз(а)

EDX 30kV virus.jpg



EDX 2kV virus.jpg
 Описание:
Спектр от вирусной частицы при ускоряющем 2кВ
 Размер файла:  30.52 KB
 Просмотрено:  473 раз(а)

EDX 2kV virus.jpg



EDX 2kV substrate.jpg
 Описание:
Контрольный спектр, чтобы показать, что сигнал железа идет не от колонны
 Размер файла:  18.45 KB
 Просмотрено:  466 раз(а)

EDX 2kV substrate.jpg



_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
vklsi2
Бывалый

Сообщения: 298
Зарегистрирован: 18.02.2009
СообщениеДобавлено: Вс 23 Май 2010 19:54    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

я мог бы возразить в ответ, что количественный анализ шлифов - весьма узкая и специфическая область приложения


Dusha, cпросим форумчан, что они чаще используют в своей практике - традиционный анализ на больших ускоряющих или же работают на малых, как Вы?

Цитата:

На какой серийной сканирующей машине устанавливают EELS? Вопрос не праздный очень нужен спектрометр потерь, работающий при энергиях до сотен вольт.


Уже давно VG (теперь Techno Electron, насколько я знаю) серийно выпускает подобные машины, в которые можно установить и колонку со сканирующим электронным пучком, и спектрометр потерь на малые энергии. Но в них вакуум сверхвысокий в области образца, поскольку медленные электроны сильно тормозятся в обычном вакууме.

Цитата:

бранить приборы - дело последнее, они нам даны как объективная реальность


Никто и не бранил, я просто пытался предположить, почему Джеоловские маркетологи увели эту модель с рынка. Которого, кстати, и не возникало: Вы слышали о JSM-7700, реально где-нибудь установленном?

Цитата:

не так уж малые ускоряющие бесполезны и для шлифов


Это не новость: лет 20 или 30 назад Куприянова и Дицман (а в Штатах, кажется, Барбер et al) пошли гораздо дальше в этом утверждении.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Dusha
Дед

Сообщения: 2199
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Вс 23 Май 2010 20:30    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:
Уже давно VG (теперь Techno Electron, насколько я знаю) серийно выпускает подобные машины

Это речь про STEM, совсем другой класс машин и ускоряющее только недавно опустили до 60кВ. Но результат получился потрясающий!
Или я чего-то не знаю Sad
Установка спектрометра потерь в традиционном формате РЭМ весьма проблематична, поскольку эта дура размером порядка метра и должна быть под образцом, где у нормальных сканов находится столик и вакуумная часть.
VG STEM - это инвертированные аппараты, у них пушка на полу, а спектромеры и детекторы на крыше.

VG, насколько я знаю, стала VG Scienta http://www.vgscienta.com/default.aspx?PID=13 и перестала делать микроскопы.
Нечто подобное на той же базе недавно начал делать NION http://www.nion.com/ но они пошли намного дальше.

Цитата:
Dusha, cпросим форумчан, что они чаще используют в своей практике - традиционный анализ на больших ускоряющих или же работают на малых, как Вы?

Цитата:
Это не новость: лет 20 или 30 назад Куприянова и Дицман (а в Штатах, кажется, Барбер et al) пошли гораздо дальше в этом утверждении.

Так о чем спор тогда?
Smile
Можно и спросить, только чур не жулькать!
Спор случился про соотношение количественного анализа на шлифах и всех остальных исследований с использованием EDS:
"...Бесплатное приложение к традиционному анализу. То бишь количественному и на шлифах...."
Создайте опрос и давайте посмотрим. Действительно интересно, чем народ увлекается. Smile

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Dusha
Дед

Сообщения: 2199
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Вс 23 Май 2010 20:33    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:
Никто и не бранил


Да это не о Вас, это о постах в начале топика.

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
vklsi2
Бывалый

Сообщения: 298
Зарегистрирован: 18.02.2009
СообщениеДобавлено: Вс 23 Май 2010 21:24    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

Это речь про STEM


Да нет, я имел в виду характеристические потери энергии на пиках, например, Оже спектра, т.е. на отражение. С использованием, например, этих компонентов: http://www.thermoscientific.com/wps/portal/ts/products/detail?navigationId=L11007&categoryId=80481&productId=11962833

За ссылку на Nion спасибо, я и не знал об этой фирме.
Интересно, а немцы независимо разработали свой корректор?

Цитата:

Так о чем спор тогда?


Вы намекаете, что я сам себе противоречу? Или я чего-то не понял?

Цитата:

Спор случился про соотношение количественного анализа на шлифах и всех остальных исследований с использованием EDS


Можно, конечно, и так спросить, но я бы сформулировал по-другому: анализ на больше или меньше 3 кВ. Можно даже не уточнять про нормализацию, количественный, увеличение, шлифы и эталоны: некоторые могут не заморачиваться на таких мелочах. А без этих некоторых репрезентативности не будет.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Dusha
Дед

Сообщения: 2199
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Пн 24 Май 2010 11:04    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:
Да нет, я имел в виду характеристические потери энергии на пиках, например, Оже спектра, т.е. на отражение.

Оже микроскопы выпускала в свое время Тесла, но Оже - это не отражение и не потери, там вроде другой механизм генерации сигнальных электронов. Это, по-моему, электрический аналог рентгеновской спектроскопии (эмиссионной), только разрешение получше. Сейчас придет 40in и все нам объяснит.... Smile
Цитата:
Интересно, а немцы независимо разработали свой корректор?

Немецкая фирма CEOS (основатель, владелец и научный руководитель Max Haider) http://www.ceos-gmbh.de/ первой реализовала прототип (работал на СМ200 в Юлихе) и сделала коммерческий вариант. История там была совершенно захватывающая: Макс ушел из науки и организовал фирму в частности потому, что авторитетные немецкие грантодаватели в один голос заявили, что коррекция аберраций электронных линз - чушь собачья и работать никогда не будет и денег на научную разработку не дали.
NION (основатель, владелец и научный руководитель Ondrej Krivanek, его историю я не знаю) появилась несколько позднее с корректорами для сканирующих просвечивающих машин. Собственные микроскопы они начали предлагать совсем недавно, пару лет назад. Что и неудивительно - несколько лет назад фирма состояла помимо основателя из 5 человек.

Надо сказать, что корректоры CEOS и NION принципиально разные - первые используют спаренные толстые гексаполи, вторые - декапольные элементы. Декапольные корректоры не работают для обычных (не сканирующих) микроскопов из-за сильно ограниченного поля коррекции. Поэтому NION узко специализирован на сканах.

Цитата:
Вы намекаете, что я сам себе противоречу?

Нет, я намекаю, что мы с Вами просто меряемся, у кого длиньше, и со стороны уже смешно наверное Very Happy

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Helper
Бывалый

Сообщения: 99
Зарегистрирован: 28.10.2005
СообщениеДобавлено: Пн 24 Май 2010 15:25    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

А что-то Helper резко замолчал про свои 7 Ангстрем на 1 кВ?

В дороге был.
Речь действительно шла о Magellan. По паспорту <0.8 на 15 кВ (реально я получал и 0.55) и <0.9 на 1 кВ.
В отличие от JEOL JSM-7700F и Hitachi S-5500 он не накладывает таких ограничений на максимальные размеры объектов.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
vklsi2
Бывалый

Сообщения: 298
Зарегистрирован: 18.02.2009
СообщениеДобавлено: Вт 25 Май 2010 08:56    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

Оже микроскопы выпускала в свое время Тесла

Да нет, далеко не только Тесла, причем у Теслы были худшие Оже-микроскопы.

Цитата:

Оже - это не отражение


Ну не просвет же. Если в сторону первичного пучка, то как раз на отражение.

Цитата:

и не потери


У каждого характеристического пика в электронном спектре могут случиться характеристические потери (например, плазмонные). Это выглядит, как появление тонкой структуры у большого пика.
Думаю, когда дождетесь 40in, он расшифрует.

Спасибо за подробный рассказ о корректорах, теперь хоть что-то стало понятно.

Цитата:

меряемся, у кого длиньше


Что, не нравится, что кто-то покусился на авторитет деда? Не волнуйтесь, стоит только сравнить число сообщений, как станет ясно, что у Вас "длиньше".

Цитата:

со стороны уже смешно


Кому-то, может, и смешно, но, думаю, некоторым полезно.
Согласен, если нет конструктива, можно и свернуть дискуссию.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
vklsi2
Бывалый

Сообщения: 298
Зарегистрирован: 18.02.2009
СообщениеДобавлено: Вт 25 Май 2010 09:01    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

о Magellan


Это тот, у которого электронная пушка, как сменный картридж у принтера? И сколько стоит замена такого "картриджа"?

А можно посмотреть картинки с разрешением 0,55 нм на 15 кВ и 0,7 нм на 1 кВ? Желательно без Фотошопа, please Smile
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Dusha
Дед

Сообщения: 2199
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Вт 25 Май 2010 12:21    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:
Ну не просвет же. Если в сторону первичного пучка, то как раз на отражение.


Есть еще эмиссия. И вроде бы Оже как раз вторичные электроны, то есть там пики не потерь, а наоборот эмиссионные. По положению они должны быть рядом с потерями, но правила запрета там могут быть разные и еще что-то отличается, я в этом не большой спец.

Цитата:
Что, не нравится, что кто-то покусился на авторитет деда? Не волнуйтесь, стоит только сравнить число сообщений, как станет ясно, что у Вас "длиньше".

Надеюсь, что "авторитет" определяется не числом сообщений Embarassed
И покушений на него я что-то не заметил. Просто мы начали уже спорить о терминологии, а это верный признак того, что дискуссия себя исчерпала.

Цитата:
Согласен, если нет конструктива, можно и свернуть дискуссию.

Exclamation


У ФЕИ очень своеобразный способ измерять разрешение, Вам может не понравиться Very Happy

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
injener
Дед

Сообщения: 3196
Зарегистрирован: 21.12.2004
Откуда: Московская область
СообщениеДобавлено: Вт 25 Май 2010 14:22    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Dusha писал(а):
И вроде бы Оже как раз вторичные электроны,
Электрон Оже испускается при переходе внутреннего электрона с уровня на уровень. А это, в своё время, происходит при взаимодействии атома с электроном первичного пучка либо при поглощении рентгена. Так что Оже-электрон является вторичным. См. Голдстейн и Яковиц, стр. 106. Laughing Извините, что вмешался... Laughing
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
vklsi2
Бывалый

Сообщения: 298
Зарегистрирован: 18.02.2009
СообщениеДобавлено: Ср 26 Май 2010 05:51    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Методы анализа поверхностей/ Под ред. А.Зандерны. - М.: Мир, 1979


EELS in AES.jpg
 Описание:
 Размер файла:  54.92 KB
 Просмотрено:  451 раз(а)

EELS in AES.jpg


Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Dusha
Дед

Сообщения: 2199
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Ср 26 Май 2010 10:37    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

http://ru.wikipedia.org/wiki/Эффект_Оже Mr. Green
_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Dusha
Дед

Сообщения: 2199
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Ср 26 Май 2010 10:41    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

http://www.chemport.ru/chemical_encyclopedia_article_2521.html

Ну вот, нет худа без добра, теперь хоть почитал, что это такое Mr. Green

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Показать сообщения:   
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Страница 7 из 9 На страницу Пред.  1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9  След.


о проекте || новости || публикации || оборудование || события
фотогалерея
|| форум || спонсоры || ссылки

©2002 - Microscopist.ru - портал микроскопистов
:главная :контакты :карта сайта :faq :помощь Rambler's Top100 Рейтинг@Mail.ru
Powered by phpBB © 2001-2003 phpBB Group | Часовой пояс: GMT + 3