Начало div  FAQ  div  Поиск  div  Пользователи  div  Группы  div  Избранное  div  Регистрация  div  Вход 
Список форумов Microscopist.ru arrow РЭМ (Методы) arrow Ионное травление + РЕМ

Ионное травление + РЕМ
На страницу Пред.  1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9  След.
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Автор Сообщение
40in
Бывалый

Сообщения: 190
Зарегистрирован: 31.01.2006
Откуда: Академгородок, Новосибирск
СообщениеДобавлено: Ср 30 Июнь 2010 09:55    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Сейчас придет 40in и все нам объяснит.... Smile
Во-первых, всем - привет!
Эх - давненько я "шашкой не махал"...
Во-вторых. На самом деле, для анализа характеристических потерь абсолютно "по барабану" природа электронов: будь то фото-электроны, Оже-электроны или же авто- термо- или еще какие ни Бог весть электроны. Если вы можете зарегистрировать собственно потерю его энергии и затем как-то это интерпретировать, то какая разница, каким образом этот (или другой) электрон был рожден? Вот и все. А остальное - это уже в области терминологии: EELS, LEELS, HREELS итд, итп. Что действительно важно - это энергия электронов и апертура пучка.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
vklsi2
Бывалый

Сообщения: 299
Зарегистрирован: 18.02.2009
СообщениеДобавлено: Ср 30 Июнь 2010 10:52    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

40in, привет!

Цитата:

энергия электронов и апертура пучка


Ну, и какая же такая апертура у Оже электронов, выходящих из толстого образца? Или в данном случае можно говорить о телесном угле сбора входной линзы электронного спектрометра?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
40in
Бывалый

Сообщения: 190
Зарегистрирован: 31.01.2006
Откуда: Академгородок, Новосибирск
СообщениеДобавлено: Ср 30 Июнь 2010 13:33    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Не только "светосилой" анализатора, но и апертурой первичного пучка. Очевидно, что есть крайние случаи, но обычно в приборах эти факторы как-то связаны между собой. Насчет Ожеметра могу сказать только следующее. Преимущество - высокая поверхностная чувствительность (малая глубина анализа). Недостатки: метод - полуколичественный (каждый отдельно взятый прибор имеет свой уникальный набор факторов атомной чувствительности по элементам, а прокалибровать, по большому счету - нечем!); метод не является "неразрушающим" вследствие высокой плотности тока первичных электронов.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Dusha
Дед

Сообщения: 2199
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Ср 30 Июнь 2010 15:53    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Так принципиальный вопрос остался: Оже спектры - это спектры потерь, или спектры эмиссии?
Если потерь - то откуда берутся монохроматические электроны, которые теряют энергию?
Только не говори, что из исходного пучка, это другая история.

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
40in
Бывалый

Сообщения: 190
Зарегистрирован: 31.01.2006
Откуда: Академгородок, Новосибирск
СообщениеДобавлено: Ср 30 Июнь 2010 16:29    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

По-моему, я вполне ясно выразился... Оже-спектры - это спектры эмиссии (а как иначе?). Но как и любые другие электроны, Оже-электроны могут терять энергию при неупругом взаимодействии. Это и есть характеристические потери.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
40in
Бывалый

Сообщения: 190
Зарегистрирован: 31.01.2006
Откуда: Академгородок, Новосибирск
СообщениеДобавлено: Ср 30 Июнь 2010 16:39    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Да, кстати, забыл еще сказать - Оже-электроны могут "выбиваться" не только электронами, но и фотонами высоких энергий.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Dusha
Дед

Сообщения: 2199
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Ср 30 Июнь 2010 19:13    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Ты ничего не напутал насчет выбивания? Учебники пишут, что Оже электроны уносят избыток энергии, при переходе других электронов с верхней орбиты на нижнюю. То есть это процесс по учебникам вообще третичный: выбивание одного электрона с нижней орбиты, переход второго электрона с верхней на нижнюю, эмиссия третьего электрона с верхней орбиты с кинетической энергией равной избытку энергии при втором переходе минус энергия третьей орбиты.
Так или наврал?
Опять же не понял - что мы наблюдаем в Оже спектрах - максимумы эмиссии или поглощения?

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
40in
Бывалый

Сообщения: 190
Зарегистрирован: 31.01.2006
Откуда: Академгородок, Новосибирск
СообщениеДобавлено: Чт 01 Июль 2010 06:57    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Учебники правильно пишут, поэтому "выбивание" и было написано в кавычках. Оже-линии - это эмиссионные линии. А вот линии характеристических потерь сдвинуты относительно эмиссионных на величину энергии, которую электрон отдал при взаимодействии с чем-либо (атом, плазмон итд).
На самом деле энергетический спектр имеет очень большой фон неупруго и многократно рассеяных электронов (собственно, поэтому в Оже-спектрометрах и используют модуляцию для записи дифференциальных спектров). В целях минимизации этого фона энергию первичных электронов стараются не задирать слишком высоко - только чтобы было достаточно возбудить соответствующую линию. Ну и апертуру пучка тоже стараются поджать в этих же целях.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
vklsi2
Бывалый

Сообщения: 299
Зарегистрирован: 18.02.2009
СообщениеДобавлено: Чт 01 Июль 2010 11:27    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

40in, похоже, Вы не работали на современных Оже приборах, - давно уже никто не занимается аналоговой модуляцией и online дифференцированием Оже спектров, все перешли на цифру, записывают все в интеграле, а потом обрабатывают спектр, как хочется. По времени это получается дольше, но и нагрузка на образец (плотность первичного пучка) меньше.
Апертура первичного пучка в современных растровых Оже микроскопах никак (если не брать аномальные наклоны) не отражается на результатах и качестве анализа. Угловое распределение вторичных, то бишь Оже, - да, а первичных - нет. На величину фона влияет не только энергия первичных электронов, но и состав образца (в том числе слоев, лежащих ниже глубины выхода Оже-электронов). Апертуру первичного пучка "поджимают" только для того, чтобы уменьшить величину тока, т.е. нагрузку на образец.
По большому счету, ни один из методов нельзя считать неразрушающим (прошу пардону за прописные истины), все зависит, с какой стороны смотреть. Если сравнивать с традиционной просвечивающей микроскопией, то Оже анализ - метод в высокой степени неразрушающий.
С другой стороны, в старых приборах, где использовалось синхронное детектирование (т.е. модуляция и аналоговое дифференцирование), для получения вменяемого сигнала первичный пучок должен был быть достаточно интенсивным, нагрузка на образец была большой, а метод, конечно же, очень условно неразрушающим. Сейчас, уже два приборных поколения, все не так.
И по поводу "полуколичественности" метода: насколько я слышал, здесь тоже есть большие подвижки. Конечно, такой точности, как при обычном микрорентгеноспектальном анализе, не получается, но ситуация существенно лучше, чем двадцать лет назад. Проблема в том, как оценить точность анализа, - ведь никаких других универсальных точных методов, работающих с поверхностью на глубину не более 10 нм, насколько мне известно, не существует.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
vklsi2
Бывалый

Сообщения: 299
Зарегистрирован: 18.02.2009
СообщениеДобавлено: Чт 01 Июль 2010 11:29    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

40in, похоже, Вы не работали на современных Оже приборах, - давно уже никто не занимается аналоговой модуляцией и online дифференцированием Оже спектров, все перешли на цифру, записывают все в интеграле, а потом обрабатывают спектр, как хочется. По времени это получается дольше, но и нагрузка на образец (плотность первичного пучка) меньше.
Апертура первичного пучка в современных растровых Оже микроскопах никак (если не брать аномальные наклоны) не отражается на результатах и качестве анализа. Угловое распределение вторичных, то бишь Оже, - да, а первичных - нет. На величину фона влияет не только энергия первичных электронов, но и состав образца (в том числе слоев, лежащих ниже глубины выхода Оже-электронов). Апертуру первичного пучка "поджимают" только для того, чтобы уменьшить величину тока, т.е. нагрузку на образец.
По большому счету, ни один из методов нельзя считать неразрушающим (прошу пардону за прописные истины), все зависит, с какой стороны смотреть. Если сравнивать с традиционной просвечивающей микроскопией, то Оже анализ - метод в высокой степени неразрушающий.
С другой стороны, в старых приборах, где использовалось синхронное детектирование (т.е. модуляция и аналоговое дифференцирование), для получения вменяемого сигнала первичный пучок должен был быть достаточно интенсивным, нагрузка на образец была большой, а метод, конечно же, очень условно неразрушающим. Сейчас, уже два приборных поколения, все не так.
И по поводу "полуколичественности" метода: насколько я слышал, здесь тоже есть большие подвижки. Конечно, такой точности, как при обычном микрорентгеноспектальном анализе, не получается, но ситуация существенно лучше, чем двадцать лет назад. Проблема в том, как оценить точность анализа, - ведь никаких других универсальных точных методов, работающих с поверхностью на глубину не более 10 нм, насколько мне известно, не существует.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
40in
Бывалый

Сообщения: 190
Зарегистрирован: 31.01.2006
Откуда: Академгородок, Новосибирск
СообщениеДобавлено: Чт 01 Июль 2010 12:30    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Вы будете смеяться, но на Оже-спектрометрах я вообще, практически, не работал (хоть у меня на установке таковой имеется). Честно говоря, не вижу преимуществ интегрального режима хотя бы по той причине, что синхронное детектирование сужает полосу сигнала, а потому увеличивает отношение сигнал/шум.
У нас основным методом элементного анализа поверхности является рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия с глубиной анализа десятки Ангстрем (зависит от состава), что значително выше чем в Оже. Поэтому один метод нельзя прокалибровать по второму. РФЭС - метод очень мощный и, кстати, позволяет писать также и Оже-линии, поэтому классическая Оже-спектроскопия не востребована.
А в остальном я с Вами абсолютно согласен. Если у Вас есть какие-нибудь ссылки по поводу извлечения количественной информации из Оже-спектров, буду Вам признателен...
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
vklsi2
Бывалый

Сообщения: 299
Зарегистрирован: 18.02.2009
СообщениеДобавлено: Чт 01 Июль 2010 13:42    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

синхронное детектирование сужает полосу сигнала, а потому увеличивает отношение сигнал/шум


Ну. конечно же, сужает, потому что фильтрует шум. То же можно сделать и с интегральным спектром off-line, но при этом вы всегда можете откатиться до, так сказать, Raw спектра.
Синхронное (аналоговое) усиление имеет тот недостаток, что требует относительно большого превышения сигнала над шумом, иначе синхронный детектор не сработает. Отсюда большой ток в первичном пучке, большой его размер, плохая локальность анализа, большая тепловая и радиационная нагрузка на образец. В интеграле отношение сигнал-шум на спектре увеличивается от прохода к проходу, и можно работать со слабым и тонким пучком.
Кроме прочего, модуляция ухудшает спектральное разрешение. Ну, для Оже раньше это не было актуально, а в РФЭС модуляция не используется.
По поводу ссылок: если найду, - вышлю. Но я давно уже этими методами не занимаюсь, поэтому отстал. Информацию черпаю из проспектов на новые приборы, когда попадаются.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Helper
Бывалый

Сообщения: 99
Зарегистрирован: 28.10.2005
СообщениеДобавлено: Пн 05 Июль 2010 23:15    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Опять я не в кассу Very Happy
Цитата:

А что-то Helper резко замолчал про свои 7 Ангстрем на 1 кВ? Какой-то стеснительный вдруг стал...

Да ему некогда...
Но, в любой момент и даже без Фото*опа могу предъявить.
Даже несмотря на Dushi-ны сомнения в методике оценки ...
По мне, лучше методика, чем произвол ...
Жаль, что не пересеклись в Черноголовке...
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Helper
Бывалый

Сообщения: 99
Зарегистрирован: 28.10.2005
СообщениеДобавлено: Пн 05 Июль 2010 23:17    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

Но, в любой момент и даже без Фото*опа могу предъявить.

Перечитал, уже смешно Very Happy
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
vklsi2
Бывалый

Сообщения: 299
Зарегистрирован: 18.02.2009
СообщениеДобавлено: Вт 06 Июль 2010 11:24    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

уже смешно


Сам пишу, сам смеюсь. Helper, мы тут явно лишние...Smile

Цитата:

могу предъявить


Валяйте, предъявляйте.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Dusha
Дед

Сообщения: 2199
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Вт 06 Июль 2010 11:52    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:
Даже несмотря на Dushi-ны сомнения в методике оценки ...

Дорогой Helper, мне тоже жаль, что мы не пересеклись в Черноголовке. Я к Вам отношусь с большим уважением, и если и ехидничаю, то по делу, а не персонально. Не принимайте это на свой счет.
В данном случае я сомневался не в разрешении, которое Вы получили на приборе, а в том, понравится ли vklsi2 термин "image quality" - безразмерная величина, которую выдает закрытый софт после анализа картинки. Как написано в инструкции по приемке микроскопа, эта величина характеризует качество микроскопа и введена, чтобы не вводить пользователя в заблуждение всякими ангстремами. Нажав специальную комбинацию клавиш, можно, конечно, получить величину в нанометрах, но это сильно не рекомендуется.
Мне "нравится" такой подход и такая логика. Я предположил, что vklsi2 тоже понравится.

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Helper
Бывалый

Сообщения: 99
Зарегистрирован: 28.10.2005
СообщениеДобавлено: Вт 06 Июль 2010 22:49    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Безразмерные величины без какой-либо привязки к реальным естественно раздражают.
Правда, встречал я и более странные безразмерные величины, и не только у FEI.
В принципе, разрешение и крутизна видеосигнала на краях вещи взаимосвязанные.
В качестве опорной точки похоже выбрано значение разрешения в 1нм приравненое к 10-ке image quality. Разрешение лучше нанометра - IQ больше 10, хуже - IQ меньше.

Не хотел сильно жать картинки, пришлось...



Magellan.jpg
 Описание:
Ширина поля зрения 427нм, 1кВ, WD 1мм, 0.72 нм
 Размер файла:  32.18 KB
 Просмотрено:  385 раз(а)

Magellan.jpg



Helios.jpg
 Описание:
0.55 нм
 Размер файла:  38.41 KB
 Просмотрено:  405 раз(а)

Helios.jpg


Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
vklsi2
Бывалый

Сообщения: 299
Зарегистрирован: 18.02.2009
СообщениеДобавлено: Ср 07 Июль 2010 00:27    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

Безразмерные величины без какой-либо привязки к реальным естественно раздражают.

Это правильно. Привяжите, пожалуйста, первую фотографию. Я имею в виду полоску с цифирками внизу.

Цитата:

В принципе, разрешение и крутизна видеосигнала на краях вещи взаимосвязанные.

И в этом Вы не ошиблись. И какой вывод? Я думаю, единственный: переснять, чтобы черное стало более серым, с таким зажатым по черному контрастом можно получить любое разрешение.

Цитата:

В качестве опорной точки похоже выбрано значение разрешения в 1нм приравненое к 10-ке image quality. Разрешение лучше нанометра - IQ больше 10, хуже - IQ меньше.

Вы все о своем,... Переведите, пожалуйста, на нормальный язык, если можно, а то из слов Dushi я не все понял.

Цитата:

похоже выбрано

А что, разве не Вы это все выбираете? И разрешение не Вы определяете? А как? И где та точка с разрешением 0,55 нм? И как оценить ее размер, имея здоровенный маркер на 100 нм? (Я полагаю, что Вы не будете против, если я не буду учитывать цифру увеличения; она, скорее всего, в расчете на размер монитора?).

А образец - золото на графите?

Цитата:

Не хотел сильно жать картинки, пришлось


Вы пережали, можно же разместить и большего размера.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
JazvaForuma
Бывалый

Сообщения: 96
Зарегистрирован: 30.10.2007
СообщениеДобавлено: Ср 07 Июль 2010 12:59    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Эх, давно не брАла я в руки шашек Mr. Green (С)

Похоже, мальчики, опять назревает дуель и опять бедный скромный Helper в центре скандала.
А ведь хотел как лучше, а опять получилось как всегда. Laughing

Поскольку виной всему несправедливый злобный vklsi2, считаю своим долгом вставить пару шпилек в одно место прежде, чем начнется стрельба.

Цитата:
Я думаю, единственный: переснять, чтобы черное стало более серым, с таким зажатым по черному контрастом можно получить любое разрешение.

Можно предположить, что у Вас большой опыт в использовании этого приема?
И, кстати, насчет "думаю" - Вам бы этот процесс применить к остальным пунктам списка.

Цитата:
Переведите, пожалуйста, на нормальный язык, если можно, а то из слов Dushi я не все понял.
Есть такая субстанция как серое вещество и такой процесс как его использование. Попробуйте, может получится...

Цитата:
И разрешение не Вы определяете?
У многих прозводителей, смею предположить, что к ним относится и FEI, разрешение определяется прибором. У других не знаю. Может у Хитачи, например, разрешение определяет настройщик при сдаче прибора вышеописанным Вами методом....

Цитата:
И где та точка с разрешением 0,55 нм?
И как оценить ее размер, имея здоровенный маркер на 100 нм?

Осмелюсь предположить, что чем больше маркер, тем меньше ошибра калибровки по нему. Попробуйте.... ну даже не знаю... поделить длину маркера на количество точек в нем что ли. Но это опять же надо серое вещество использовать Confused
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
vklsi2
Бывалый

Сообщения: 299
Зарегистрирован: 18.02.2009
СообщениеДобавлено: Ср 07 Июль 2010 16:40    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Helper, вопросы остаются...
Если действительно прибор определяет разрешение, то какими соображениями он при этом руководствуется? Это известно?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Показать сообщения:   
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Страница 8 из 9 На страницу Пред.  1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9  След.


о проекте || новости || публикации || оборудование || события
фотогалерея
|| форум || спонсоры || ссылки

©2002 - Microscopist.ru - портал микроскопистов
:главная :контакты :карта сайта :faq :помощь Rambler's Top100 Рейтинг@Mail.ru
Powered by phpBB © 2001-2003 phpBB Group | Часовой пояс: GMT + 3