Резка электронным пучком?

[pust2]

Всем, привет!
Подскажите, кто-нибудь делал или видел - резку электронным пучком в колонне микроскопа?
Есть мысль попробовать сделать тунельный переход in-situ.
На подложке из кремния напылен проводник толщиной 10-20 нм, который уже обрезан до мостика шириной 10 нм, теперь поперек надо прорезать щель, чем тоньше тем лучше...
Из моего опыта в обычном просвете ничего кроме загрязрения улеродом не получится, а если со СТЭМ режимом?

[injener]

[Dusha]

pust2, Вы прямо на гребне нанотехнологий
Fischbein, M. D.; Drndic, M., Sub-10 nm Device Fabrication in a Transmission Electron Microscope. Nano Lett. 2007, 7, (5), 1329-1337.
Статья есть в библиотеке.

[pust2]

2 Dusha статью посмотрю обязательно, так все же, хватит мощности или нет? Кремний достаточно хорошо отводит тепло, да и металлическая перемычка - как радиатор.

2 injener Сумы, Сумы, как раз учился там в 88-м, но давайте не будетм о грустном.
Что касается ионного пучка, есть у нас такой, но толстый - собака, лучше 7 нм сфокусировать не удается. Попробую провести им очень быстро, так, чтобы не на всю глубину прорезать, может получиться разрез в виде канавки.

[pust2]

Dusha, а дай наводку на статью, что-то не могу найти...
Спасибо.

[Dusha]

Виноват, это было в локальной копии. Обновил ФТП, это в сортированных по журналам.

[pust2]

Прав, конечно, энергия, поскольку есть мин. пороговое значение, но если ток маленький, то резаться будет до пасхи...

А, про имплантацию не подумал, надо бы загрузить наших теоретиков, а то бегаю и кричат "физический экспримет устарел - ортодоксы", это типа про меня, "мы все можем расчитать" - пусть посчитают, не вычислят, так хоть согреются

7 нм, конечно горжусь -
"любимый" Цейсс анонсировал гелиевый микроскоп с пучком меньше 0.1 нм, резать им не получится, но интересно ...

[Dusha]

[injener]

[kalmyk]

Dusha писал:
"Мощность тут ни при чем, важна энергия пучка, золото не испаряется, а выбивается (kick-off)"
Извините, нормально цитировать не удаётся. Объясните, пожалуйста, как электрон с энергией 100кэВ может выбить атом золота. Из законов сохранения энергии и импульса следует, что даже при лобовом столкновении передаётся лишь доля кинетической энергии электрона, равная отношению масс электрона и атома золота. Атомный номер золота 97, нуклонов в два раза больше, так что атому передастся в лучшем случае около 0.3эВ. Разве этого достаточно, чтобы выбить атом?

[Dusha]

Ну, так а я о чем?
Если энергия электронов ниже порога, то выбивания атомов не получится.
Причем имеет место быть два порога: для атомов в объеме (для золота порог порядка 1.3МэВ) и для атомов на поверхности (для золота это порядка 200КэВ).
При 100кВ наблюдается в основном миграция золота по поверхности, вероятно это обусловлено низкими порогами активации такого движения и нагревом образца.
При меньших энергиях золото можно разве что расплавить или испарить, если мощность пучка достаточно велика.
Посмотрите статью из библиотеки Egerton, R. F.; Li, P.; Malac, M., Radiation damage in the TEM and SEM. Micron 2004, 35, (6), 399.
В ней хорошо расписаны все процессы взаимодействия пучка с образцом.

[kalmyk]

[quote="Dusha"]Ну, так а я о чем?
Мне показалось, что речь идёт о резке в электронном микроскопе, где нет таких энергий.
СПАСИБО ЗА ССЫЛКУ.

[Dusha]

[injener]

[SeregaK]

[pust2]

Тонкая пленка Со (20 нм) на кремнмм, пленка золота на кремнии... найду фотки выложу...

[SeregaK]

ух ты, здорово.
А не поделитесь секретом, каким образом удалось так сфокусировать пучок ионов? Это ведь нетривиально.

[pust2]

Имея по рукой CrossBeam 1540 имени Цайсса...и пучок Ga+
Единственно, что это при минимальном токе и конечно юстировка занимает время. Частенько пленка испаряется с поверхности пока настроишься...но потом всполне прилично, только дважды провести по одному месту линию не получается - дрейф и дискретность развертки...
У них же есть NVision по паспорту 4 нм...

[SeregaK]

а какая энергия пучка? в смысле пленка интенсивно летит под пучком?

[pust2]

Энергия от 5кВ (минимум по паспорту 3) до 30 кВ, да пленка летит особенно золотая...