div  FAQ  div    div    div    div    div    div   
Microscopist.ru arrow ПЭМ (Методы) arrow Резка электронным пучком?

Резка электронным пучком?
1, 2  .
     
pust2
Бывалый

: 329
: 07.08.2006
: Владивосток
: 19 2007 02:46     : Резка электронным пучком?

Всем, привет!
Подскажите, кто-нибудь делал или видел - резку электронным пучком в колонне микроскопа?
Есть мысль попробовать сделать тунельный переход in-situ.
На подложке из кремния напылен проводник толщиной 10-20 нм, который уже обрезан до мостика шириной 10 нм, теперь поперек надо прорезать щель, чем тоньше тем лучше...
Из моего опыта в обычном просвете ничего кроме загрязрения улеродом не получится, а если со СТЭМ режимом?
injener
Дед

: 3196
: 21.12.2004
: Московская область
: 19 2007 12:08     :

:
резку электронным пучком в колонне микроскопа?
Такие установки делали в Сумах в 70-х-80-х годах. Электронная резка и сварка электронными пучками... Но Вам, я думаю, нужны фокусированные ионные пучки.
    e-mail
Dusha
Дед

: 2200
: 23.01.2003
: 19 2007 18:14     :

pust2, Вы прямо на гребне нанотехнологий Smile
Fischbein, M. D.; Drndic, M., Sub-10 nm Device Fabrication in a Transmission Electron Microscope. Nano Lett. 2007, 7, (5), 1329-1337.
Статья есть в библиотеке.

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
pust2
Бывалый

: 329
: 07.08.2006
: Владивосток
: 20 2007 01:55     :

2 Dusha статью посмотрю обязательно, так все же, хватит мощности или нет? Кремний достаточно хорошо отводит тепло, да и металлическая перемычка - как радиатор. Confused

2 injener Сумы, Сумы, как раз учился там в 88-м, но давайте не будетм о грустном. Crying or Very sad
Что касается ионного пучка, есть у нас такой, но толстый - собака, лучше 7 нм сфокусировать не удается. Попробую провести им очень быстро, так, чтобы не на всю глубину прорезать, может получиться разрез в виде канавки.
pust2
Бывалый

: 329
: 07.08.2006
: Владивосток
: 20 2007 02:13     :

Dusha, а дай наводку на статью, что-то не могу найти...
Спасибо.
Dusha
Дед

: 2200
: 23.01.2003
: 20 2007 13:23     :

Embarassed Embarassed Embarassed
Виноват, это было в локальной копии. Обновил ФТП, это в сортированных по журналам.

:

хватит мощности или нет

Мощность тут ни при чем, важна энергия пучка, золото не испаряется, а выбивается (kick-off). Но при этом важна геометрия: образец надо повернуть вверх ногами, чтобы металл был на выходной поверхности пленки по отношению к пучку. В противном случае есть вариант имплантировать золото в кремний Smile

Но для этого надо делать все на тонкой пленке, например пылить SiN, как в статье и вытравливать окно в кремнии.
Мы сейчас как раз затеваем такой проект, так что приедешь - как раз поучаствуешь Smile

:

но толстый - собака, лучше 7 нм сфокусировать не удается

Для ионных пучков - это рекордное значение, гордитесь!

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
pust2
Бывалый

: 329
: 07.08.2006
: Владивосток
: 21 2007 07:26     :

Прав, конечно, энергия, поскольку есть мин. пороговое значение, но если ток маленький, то резаться будет до пасхи...

А, про имплантацию не подумал, надо бы загрузить наших теоретиков, а то бегаю и кричат "физический экспримет устарел - ортодоксы", это типа про меня, "мы все можем расчитать" - пусть посчитают, не вычислят, так хоть согреются Smile

7 нм, конечно горжусь -
"любимый" Цейсс анонсировал гелиевый микроскоп с пучком меньше 0.1 нм, резать им не получится, но интересно ...
Dusha
Дед

: 2200
: 23.01.2003
: 24 2007 20:36     :

:

но если ток маленький, то резаться будет до пасхи...

Золото чудно летит под пучком, лучше только серебро. Так что должно получиться.

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
injener
Дед

: 3196
: 21.12.2004
: Московская область
: 25 2007 12:30     :

:
учился там в 88-м
Во! А я - в 77-м! Very Happy
:
ортодоксы
Кстати, "ортодоксы" - это православные христиане, вообще-то... Wink
    e-mail
kalmyk
Бывалый

: 82
: 21.01.2004
: 28 2007 11:46     :

Dusha писал:
"Мощность тут ни при чем, важна энергия пучка, золото не испаряется, а выбивается (kick-off)"
Извините, нормально цитировать не удаётся. Объясните, пожалуйста, как электрон с энергией 100кэВ может выбить атом золота. Из законов сохранения энергии и импульса следует, что даже при лобовом столкновении передаётся лишь доля кинетической энергии электрона, равная отношению масс электрона и атома золота. Атомный номер золота 97, нуклонов в два раза больше, так что атому передастся в лучшем случае около 0.3эВ. Разве этого достаточно, чтобы выбить атом?
Dusha
Дед

: 2200
: 23.01.2003
: 28 2007 13:46     :

Ну, так а я о чем?
Если энергия электронов ниже порога, то выбивания атомов не получится.
Причем имеет место быть два порога: для атомов в объеме (для золота порог порядка 1.3МэВ) и для атомов на поверхности (для золота это порядка 200КэВ).
При 100кВ наблюдается в основном миграция золота по поверхности, вероятно это обусловлено низкими порогами активации такого движения и нагревом образца.
При меньших энергиях золото можно разве что расплавить или испарить, если мощность пучка достаточно велика.
Посмотрите статью из библиотеки Egerton, R. F.; Li, P.; Malac, M., Radiation damage in the TEM and SEM. Micron 2004, 35, (6), 399.
В ней хорошо расписаны все процессы взаимодействия пучка с образцом.

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
kalmyk
Бывалый

: 82
: 21.01.2004
: 28 2007 14:06     :

[quote="Dusha"]Ну, так а я о чем?
Мне показалось, что речь идёт о резке в электронном микроскопе, где нет таких энергий.
СПАСИБО ЗА ССЫЛКУ.
Dusha
Дед

: 2200
: 23.01.2003
: 28 2007 20:54     :

:

Мне показалось, что речь идёт о резке в электронном микроскопе, где нет таких энергий.

КАК ЭТО НЕТ???
Просвет только со 100кВ и начинается...
200 - стандартный прибор для высокого, 300-400 - продвинутые.
Максимум, сколько я знаю - 1.5МВ у Джеол и Хитачи.

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
injener
Дед

: 3196
: 21.12.2004
: Московская область
: 29 2007 12:07     :

:
Максимум, сколько я знаю - 1.5МВ у Джеол и Хитачи.
У меня такое ощущение, что я видел сообщения о 3 МВ просвете... Кажется в конце 80-х в Jeol NEWS. Или что-то путаю?
    e-mail
SeregaK
Бывалый

: 100
: 25.07.2005
: Новосибирск, Россия
: 05 2008 08:45     :

:

7 нм, конечно горжусь -

Если не секрет, а в каком материале получилось 7 нм?
    e-mail ICQ Number
pust2
Бывалый

: 329
: 07.08.2006
: Владивосток
: 05 2008 11:42     :

Тонкая пленка Со (20 нм) на кремнмм, пленка золота на кремнии... найду фотки выложу...
SeregaK
Бывалый

: 100
: 25.07.2005
: Новосибирск, Россия
: 05 2008 11:50     :

ух ты, здорово.
А не поделитесь секретом, каким образом удалось так сфокусировать пучок ионов? Это ведь нетривиально.
    e-mail ICQ Number
pust2
Бывалый

: 329
: 07.08.2006
: Владивосток
: 05 2008 12:29     :

Имея по рукой CrossBeam 1540 имени Цайсса...и пучок Ga+ Smile
Единственно, что это при минимальном токе и конечно юстировка занимает время. Частенько пленка испаряется с поверхности пока настроишься...но потом всполне прилично, только дважды провести по одному месту линию не получается - дрейф и дискретность развертки...
У них же есть NVision по паспорту 4 нм...
SeregaK
Бывалый

: 100
: 25.07.2005
: Новосибирск, Россия
: 05 2008 12:46     :

а какая энергия пучка? в смысле пленка интенсивно летит под пучком?
    e-mail ICQ Number
pust2
Бывалый

: 329
: 07.08.2006
: Владивосток
: 05 2008 16:16     :

Энергия от 5кВ (минимум по паспорту 3) до 30 кВ, да пленка летит особенно золотая...
:   
     
1 2 1, 2  .


|| || || ||
|| || ||

©2002 - Microscopist.ru -
: : : :faq : Rambler's Top100 @Mail.ru
Powered by phpBB © 2001-2003 phpBB Group | : GMT + 3