Начало div  FAQ  div  Поиск  div  Пользователи  div  Группы  div  Избранное  div  Регистрация  div  Вход 
Список форумов Microscopist.ru arrow ПЭМ (Методы) arrow Резка электронным пучком?

Резка электронным пучком?
На страницу 1, 2  След.
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Автор Сообщение
pust2
Бывалый

Сообщения: 329
Зарегистрирован: 07.08.2006
Откуда: Владивосток
СообщениеДобавлено: Ср 19 Декабрь 2007 02:46    Заголовок сообщения: Резка электронным пучком? Ответить с цитатой

Всем, привет!
Подскажите, кто-нибудь делал или видел - резку электронным пучком в колонне микроскопа?
Есть мысль попробовать сделать тунельный переход in-situ.
На подложке из кремния напылен проводник толщиной 10-20 нм, который уже обрезан до мостика шириной 10 нм, теперь поперек надо прорезать щель, чем тоньше тем лучше...
Из моего опыта в обычном просвете ничего кроме загрязрения улеродом не получится, а если со СТЭМ режимом?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Посетить сайт автора
injener
Дед

Сообщения: 3196
Зарегистрирован: 21.12.2004
Откуда: Московская область
СообщениеДобавлено: Ср 19 Декабрь 2007 12:08    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:
резку электронным пучком в колонне микроскопа?
Такие установки делали в Сумах в 70-х-80-х годах. Электронная резка и сварка электронными пучками... Но Вам, я думаю, нужны фокусированные ионные пучки.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Dusha
Дед

Сообщения: 2199
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Ср 19 Декабрь 2007 18:14    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

pust2, Вы прямо на гребне нанотехнологий Smile
Fischbein, M. D.; Drndic, M., Sub-10 nm Device Fabrication in a Transmission Electron Microscope. Nano Lett. 2007, 7, (5), 1329-1337.
Статья есть в библиотеке.

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
pust2
Бывалый

Сообщения: 329
Зарегистрирован: 07.08.2006
Откуда: Владивосток
СообщениеДобавлено: Чт 20 Декабрь 2007 01:55    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

2 Dusha статью посмотрю обязательно, так все же, хватит мощности или нет? Кремний достаточно хорошо отводит тепло, да и металлическая перемычка - как радиатор. Confused

2 injener Сумы, Сумы, как раз учился там в 88-м, но давайте не будетм о грустном. Crying or Very sad
Что касается ионного пучка, есть у нас такой, но толстый - собака, лучше 7 нм сфокусировать не удается. Попробую провести им очень быстро, так, чтобы не на всю глубину прорезать, может получиться разрез в виде канавки.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Посетить сайт автора
pust2
Бывалый

Сообщения: 329
Зарегистрирован: 07.08.2006
Откуда: Владивосток
СообщениеДобавлено: Чт 20 Декабрь 2007 02:13    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Dusha, а дай наводку на статью, что-то не могу найти...
Спасибо.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Посетить сайт автора
Dusha
Дед

Сообщения: 2199
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Чт 20 Декабрь 2007 13:23    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Embarassed Embarassed Embarassed
Виноват, это было в локальной копии. Обновил ФТП, это в сортированных по журналам.

Цитата:

хватит мощности или нет

Мощность тут ни при чем, важна энергия пучка, золото не испаряется, а выбивается (kick-off). Но при этом важна геометрия: образец надо повернуть вверх ногами, чтобы металл был на выходной поверхности пленки по отношению к пучку. В противном случае есть вариант имплантировать золото в кремний Smile

Но для этого надо делать все на тонкой пленке, например пылить SiN, как в статье и вытравливать окно в кремнии.
Мы сейчас как раз затеваем такой проект, так что приедешь - как раз поучаствуешь Smile

Цитата:

но толстый - собака, лучше 7 нм сфокусировать не удается

Для ионных пучков - это рекордное значение, гордитесь!

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
pust2
Бывалый

Сообщения: 329
Зарегистрирован: 07.08.2006
Откуда: Владивосток
СообщениеДобавлено: Пт 21 Декабрь 2007 07:26    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Прав, конечно, энергия, поскольку есть мин. пороговое значение, но если ток маленький, то резаться будет до пасхи...

А, про имплантацию не подумал, надо бы загрузить наших теоретиков, а то бегаю и кричат "физический экспримет устарел - ортодоксы", это типа про меня, "мы все можем расчитать" - пусть посчитают, не вычислят, так хоть согреются Smile

7 нм, конечно горжусь -
"любимый" Цейсс анонсировал гелиевый микроскоп с пучком меньше 0.1 нм, резать им не получится, но интересно ...
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Посетить сайт автора
Dusha
Дед

Сообщения: 2199
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Пн 24 Декабрь 2007 20:36    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

но если ток маленький, то резаться будет до пасхи...

Золото чудно летит под пучком, лучше только серебро. Так что должно получиться.

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
injener
Дед

Сообщения: 3196
Зарегистрирован: 21.12.2004
Откуда: Московская область
СообщениеДобавлено: Вт 25 Декабрь 2007 12:30    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:
учился там в 88-м
Во! А я - в 77-м! Very Happy
Цитата:
ортодоксы
Кстати, "ортодоксы" - это православные христиане, вообще-то... Wink
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
kalmyk
Бывалый

Сообщения: 82
Зарегистрирован: 21.01.2004
СообщениеДобавлено: Пт 28 Декабрь 2007 11:46    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Dusha писал:
"Мощность тут ни при чем, важна энергия пучка, золото не испаряется, а выбивается (kick-off)"
Извините, нормально цитировать не удаётся. Объясните, пожалуйста, как электрон с энергией 100кэВ может выбить атом золота. Из законов сохранения энергии и импульса следует, что даже при лобовом столкновении передаётся лишь доля кинетической энергии электрона, равная отношению масс электрона и атома золота. Атомный номер золота 97, нуклонов в два раза больше, так что атому передастся в лучшем случае около 0.3эВ. Разве этого достаточно, чтобы выбить атом?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Dusha
Дед

Сообщения: 2199
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Пт 28 Декабрь 2007 13:46    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Ну, так а я о чем?
Если энергия электронов ниже порога, то выбивания атомов не получится.
Причем имеет место быть два порога: для атомов в объеме (для золота порог порядка 1.3МэВ) и для атомов на поверхности (для золота это порядка 200КэВ).
При 100кВ наблюдается в основном миграция золота по поверхности, вероятно это обусловлено низкими порогами активации такого движения и нагревом образца.
При меньших энергиях золото можно разве что расплавить или испарить, если мощность пучка достаточно велика.
Посмотрите статью из библиотеки Egerton, R. F.; Li, P.; Malac, M., Radiation damage in the TEM and SEM. Micron 2004, 35, (6), 399.
В ней хорошо расписаны все процессы взаимодействия пучка с образцом.

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
kalmyk
Бывалый

Сообщения: 82
Зарегистрирован: 21.01.2004
СообщениеДобавлено: Пт 28 Декабрь 2007 14:06    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

[quote="Dusha"]Ну, так а я о чем?
Мне показалось, что речь идёт о резке в электронном микроскопе, где нет таких энергий.
СПАСИБО ЗА ССЫЛКУ.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Dusha
Дед

Сообщения: 2199
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Пт 28 Декабрь 2007 20:54    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

Мне показалось, что речь идёт о резке в электронном микроскопе, где нет таких энергий.

КАК ЭТО НЕТ???
Просвет только со 100кВ и начинается...
200 - стандартный прибор для высокого, 300-400 - продвинутые.
Максимум, сколько я знаю - 1.5МВ у Джеол и Хитачи.

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
injener
Дед

Сообщения: 3196
Зарегистрирован: 21.12.2004
Откуда: Московская область
СообщениеДобавлено: Сб 29 Декабрь 2007 12:07    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:
Максимум, сколько я знаю - 1.5МВ у Джеол и Хитачи.
У меня такое ощущение, что я видел сообщения о 3 МВ просвете... Кажется в конце 80-х в Jeol NEWS. Или что-то путаю?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
SeregaK
Бывалый

Сообщения: 100
Зарегистрирован: 25.07.2005
Откуда: Новосибирск, Россия
СообщениеДобавлено: Пт 05 Декабрь 2008 08:45    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

7 нм, конечно горжусь -

Если не секрет, а в каком материале получилось 7 нм?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail ICQ Number
pust2
Бывалый

Сообщения: 329
Зарегистрирован: 07.08.2006
Откуда: Владивосток
СообщениеДобавлено: Пт 05 Декабрь 2008 11:42    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Тонкая пленка Со (20 нм) на кремнмм, пленка золота на кремнии... найду фотки выложу...
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Посетить сайт автора
SeregaK
Бывалый

Сообщения: 100
Зарегистрирован: 25.07.2005
Откуда: Новосибирск, Россия
СообщениеДобавлено: Пт 05 Декабрь 2008 11:50    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

ух ты, здорово.
А не поделитесь секретом, каким образом удалось так сфокусировать пучок ионов? Это ведь нетривиально.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail ICQ Number
pust2
Бывалый

Сообщения: 329
Зарегистрирован: 07.08.2006
Откуда: Владивосток
СообщениеДобавлено: Пт 05 Декабрь 2008 12:29    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Имея по рукой CrossBeam 1540 имени Цайсса...и пучок Ga+ Smile
Единственно, что это при минимальном токе и конечно юстировка занимает время. Частенько пленка испаряется с поверхности пока настроишься...но потом всполне прилично, только дважды провести по одному месту линию не получается - дрейф и дискретность развертки...
У них же есть NVision по паспорту 4 нм...
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Посетить сайт автора
SeregaK
Бывалый

Сообщения: 100
Зарегистрирован: 25.07.2005
Откуда: Новосибирск, Россия
СообщениеДобавлено: Пт 05 Декабрь 2008 12:46    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

а какая энергия пучка? в смысле пленка интенсивно летит под пучком?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail ICQ Number
pust2
Бывалый

Сообщения: 329
Зарегистрирован: 07.08.2006
Откуда: Владивосток
СообщениеДобавлено: Пт 05 Декабрь 2008 16:16    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Энергия от 5кВ (минимум по паспорту 3) до 30 кВ, да пленка летит особенно золотая...
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Посетить сайт автора
Показать сообщения:   
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Страница 1 из 2 На страницу 1, 2  След.


о проекте || новости || публикации || оборудование || события
фотогалерея
|| форум || спонсоры || ссылки

©2002 - Microscopist.ru - портал микроскопистов
:главная :контакты :карта сайта :faq :помощь Rambler's Top100 Рейтинг@Mail.ru
Powered by phpBB © 2001-2003 phpBB Group | Часовой пояс: GMT + 3