|
|
pust2Бывалый
: 329 : 07.08.2006 : Владивосток
|
|
: 19 2007 02:46 : Резка электронным пучком? |
|
|
Всем, привет!
Подскажите, кто-нибудь делал или видел - резку электронным пучком в колонне микроскопа?
Есть мысль попробовать сделать тунельный переход in-situ.
На подложке из кремния напылен проводник толщиной 10-20 нм, который уже обрезан до мостика шириной 10 нм, теперь поперек надо прорезать щель, чем тоньше тем лучше...
Из моего опыта в обычном просвете ничего кроме загрязрения улеродом не получится, а если со СТЭМ режимом?
|
|
|
|
|
 |
injenerДед
: 3196 : 21.12.2004 : Московская область
|
|
: 19 2007 12:08 : |
|
|
: |
резку электронным пучком в колонне микроскопа? |
Такие установки делали в Сумах в 70-х-80-х годах. Электронная резка и сварка электронными пучками... Но Вам, я думаю, нужны фокусированные ионные пучки.
|
|
|
|
|
 |
|
: 19 2007 18:14 : |
|
|
pust2, Вы прямо на гребне нанотехнологий
Fischbein, M. D.; Drndic, M., Sub-10 nm Device Fabrication in a Transmission Electron Microscope. Nano Lett. 2007, 7, (5), 1329-1337.
Статья есть в библиотеке.
_________________ - Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
|
|
|
|
|
 |
pust2Бывалый
: 329 : 07.08.2006 : Владивосток
|
|
: 20 2007 01:55 : |
|
|
2 Dusha статью посмотрю обязательно, так все же, хватит мощности или нет? Кремний достаточно хорошо отводит тепло, да и металлическая перемычка - как радиатор.
2 injener Сумы, Сумы, как раз учился там в 88-м, но давайте не будетм о грустном.
Что касается ионного пучка, есть у нас такой, но толстый - собака, лучше 7 нм сфокусировать не удается. Попробую провести им очень быстро, так, чтобы не на всю глубину прорезать, может получиться разрез в виде канавки.
|
|
|
|
|
 |
pust2Бывалый
: 329 : 07.08.2006 : Владивосток
|
|
: 20 2007 02:13 : |
|
|
Dusha, а дай наводку на статью, что-то не могу найти...
Спасибо.
|
|
|
|
|
 |
|
: 20 2007 13:23 : |
|
|
Виноват, это было в локальной копии. Обновил ФТП, это в сортированных по журналам.
: |
хватит мощности или нет
|
Мощность тут ни при чем, важна энергия пучка, золото не испаряется, а выбивается (kick-off). Но при этом важна геометрия: образец надо повернуть вверх ногами, чтобы металл был на выходной поверхности пленки по отношению к пучку. В противном случае есть вариант имплантировать золото в кремний
Но для этого надо делать все на тонкой пленке, например пылить SiN, как в статье и вытравливать окно в кремнии.
Мы сейчас как раз затеваем такой проект, так что приедешь - как раз поучаствуешь
: |
но толстый - собака, лучше 7 нм сфокусировать не удается
|
Для ионных пучков - это рекордное значение, гордитесь!
_________________ - Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
|
|
|
|
|
 |
pust2Бывалый
: 329 : 07.08.2006 : Владивосток
|
|
: 21 2007 07:26 : |
|
|
Прав, конечно, энергия, поскольку есть мин. пороговое значение, но если ток маленький, то резаться будет до пасхи...
А, про имплантацию не подумал, надо бы загрузить наших теоретиков, а то бегаю и кричат "физический экспримет устарел - ортодоксы", это типа про меня, "мы все можем расчитать" - пусть посчитают, не вычислят, так хоть согреются
7 нм, конечно горжусь -
"любимый" Цейсс анонсировал гелиевый микроскоп с пучком меньше 0.1 нм, резать им не получится, но интересно ...
|
|
|
|
|
 |
|
: 24 2007 20:36 : |
|
|
: |
но если ток маленький, то резаться будет до пасхи...
|
Золото чудно летит под пучком, лучше только серебро. Так что должно получиться.
_________________ - Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
|
|
|
|
|
 |
injenerДед
: 3196 : 21.12.2004 : Московская область
|
|
: 25 2007 12:30 : |
|
|
Во! А я - в 77-м!
Кстати, "ортодоксы" - это православные христиане, вообще-то...
|
|
|
|
|
 |
|
: 28 2007 11:46 : |
|
|
Dusha писал:
"Мощность тут ни при чем, важна энергия пучка, золото не испаряется, а выбивается (kick-off)"
Извините, нормально цитировать не удаётся. Объясните, пожалуйста, как электрон с энергией 100кэВ может выбить атом золота. Из законов сохранения энергии и импульса следует, что даже при лобовом столкновении передаётся лишь доля кинетической энергии электрона, равная отношению масс электрона и атома золота. Атомный номер золота 97, нуклонов в два раза больше, так что атому передастся в лучшем случае около 0.3эВ. Разве этого достаточно, чтобы выбить атом?
|
|
|
|
|
 |
|
: 28 2007 13:46 : |
|
|
Ну, так а я о чем?
Если энергия электронов ниже порога, то выбивания атомов не получится.
Причем имеет место быть два порога: для атомов в объеме (для золота порог порядка 1.3МэВ) и для атомов на поверхности (для золота это порядка 200КэВ).
При 100кВ наблюдается в основном миграция золота по поверхности, вероятно это обусловлено низкими порогами активации такого движения и нагревом образца.
При меньших энергиях золото можно разве что расплавить или испарить, если мощность пучка достаточно велика.
Посмотрите статью из библиотеки Egerton, R. F.; Li, P.; Malac, M., Radiation damage in the TEM and SEM. Micron 2004, 35, (6), 399.
В ней хорошо расписаны все процессы взаимодействия пучка с образцом.
_________________ - Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
|
|
|
|
|
 |
|
: 28 2007 14:06 : |
|
|
[quote="Dusha"]Ну, так а я о чем?
Мне показалось, что речь идёт о резке в электронном микроскопе, где нет таких энергий.
СПАСИБО ЗА ССЫЛКУ.
|
|
|
|
|
 |
|
: 28 2007 20:54 : |
|
|
: |
Мне показалось, что речь идёт о резке в электронном микроскопе, где нет таких энергий.
|
КАК ЭТО НЕТ???
Просвет только со 100кВ и начинается...
200 - стандартный прибор для высокого, 300-400 - продвинутые.
Максимум, сколько я знаю - 1.5МВ у Джеол и Хитачи.
_________________ - Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
|
|
|
|
|
 |
injenerДед
: 3196 : 21.12.2004 : Московская область
|
|
: 29 2007 12:07 : |
|
|
: |
Максимум, сколько я знаю - 1.5МВ у Джеол и Хитачи. |
У меня такое ощущение, что я видел сообщения о 3 МВ просвете... Кажется в конце 80-х в Jeol NEWS. Или что-то путаю?
|
|
|
|
|
 |
SeregaKБывалый
: 100 : 25.07.2005 : Новосибирск, Россия
|
|
: 05 2008 08:45 : |
|
|
: |
7 нм, конечно горжусь -
|
Если не секрет, а в каком материале получилось 7 нм?
|
|
|
|
|
 |
pust2Бывалый
: 329 : 07.08.2006 : Владивосток
|
|
: 05 2008 11:42 : |
|
|
Тонкая пленка Со (20 нм) на кремнмм, пленка золота на кремнии... найду фотки выложу...
|
|
|
|
|
 |
SeregaKБывалый
: 100 : 25.07.2005 : Новосибирск, Россия
|
|
: 05 2008 11:50 : |
|
|
ух ты, здорово.
А не поделитесь секретом, каким образом удалось так сфокусировать пучок ионов? Это ведь нетривиально.
|
|
|
|
|
 |
pust2Бывалый
: 329 : 07.08.2006 : Владивосток
|
|
: 05 2008 12:29 : |
|
|
Имея по рукой CrossBeam 1540 имени Цайсса...и пучок Ga+
Единственно, что это при минимальном токе и конечно юстировка занимает время. Частенько пленка испаряется с поверхности пока настроишься...но потом всполне прилично, только дважды провести по одному месту линию не получается - дрейф и дискретность развертки...
У них же есть NVision по паспорту 4 нм...
|
|
|
|
|
 |
SeregaKБывалый
: 100 : 25.07.2005 : Новосибирск, Россия
|
|
: 05 2008 12:46 : |
|
|
а какая энергия пучка? в смысле пленка интенсивно летит под пучком?
|
|
|
|
|
 |
pust2Бывалый
: 329 : 07.08.2006 : Владивосток
|
|
: 05 2008 16:16 : |
|
|
Энергия от 5кВ (минимум по паспорту 3) до 30 кВ, да пленка летит особенно золотая...
|
|
|
|
|
 |
|
|