Начало div  FAQ  div  Поиск  div  Пользователи  div  Группы  div  Избранное  div  Регистрация  div  Вход 
Список форумов Microscopist.ru arrow Микроанализ arrow определение толщины покрытия, пленки с помощью РМА

определение толщины покрытия, пленки с помощью РМА
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Автор Сообщение
jrrw
Бывалый

Сообщения: 98
Зарегистрирован: 11.04.2004
Откуда: Минск. Физтех.
СообщениеДобавлено: Ср 06 Февраль 2008 15:36    Заголовок сообщения: определение толщины покрытия, пленки с помощью РМА Ответить с цитатой

можно ли, хотя бы оценочно, с помощью рентгеноструктурного анализа сделать вывод о толщине анализируемого покрытия? в частности, упрочняющего покрытия на поверхности стали. т.е. на основании состава, который выявил детектор, и других величин, таких, как величина напряжения, угол налона, оценить толщину покрытия, точный состав которого заранее неизвестен.

я знаю есть программа Casino, например, которая умеет это считать, но там надо задавать конкретнные вещества.

скорее всего, есть какие-то неизвестные мне еще программы или методики, позволяющие это рассчитать. в книге батырева по микроанализу я прочитал, что "относительное изменение интенсивности излучения пропорционально толщине поглощающей пленки". там же приводится и формула I=I(0)*exp(-μd), где d - как раз толщина пленки. т.е., по крайней мере, зацепиться точно есть за что. а вот дальше пока что туговато идет...
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail ICQ Number
injener
Дед

Сообщения: 3196
Зарегистрирован: 21.12.2004
Откуда: Московская область
СообщениеДобавлено: Чт 07 Февраль 2008 12:35    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:
оценить толщину покрытия
Мы в свое время делали аналогичную работу.Нужно сначала определить качественный и колличественный состав самого покрытия. Просто провести несколько измерений в одной и той же точке через небольшие промежутки времени. Для установления стабильности работы системы. Далее сделать серию аналогичных измерений с необходимым шагом по поверхности образца. В покрытии будет какой-то элемент, который является ее основой. Делаем предположение, что он распеределен там равномерно. Тогда по изменению его процентного содержания по отношению к материалу подложки можно судить о том, толще или тоньше слой покрытия. Кроме того, определив состав пленки, Вы можете воспользоваться потом указанными Вами же программами и формулами... Еще мы создавали эталонный образец, напылив "клинообразный" слой на подложку. С одной стороны толще, к другому краю слой плавно "утонялся". Пытались навести точный рассчет. Но все равно точность невелика была. Но качественный эффект подтвердился....
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Serg
Бывалый

Сообщения: 204
Зарегистрирован: 19.01.2003
Откуда: Нижний Новгород
СообщениеДобавлено: Чт 07 Февраль 2008 12:40    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

рентгеноструктурного анализа

Наверное, подразумевалось рентгеноспектрального или нет??
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
injener
Дед

Сообщения: 3196
Зарегистрирован: 21.12.2004
Откуда: Московская область
СообщениеДобавлено: Чт 07 Февраль 2008 12:42    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:
подразумевалось рентгеноспектрального или нет??
Я тоже думаю, что так... Rolling Eyes
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
jrrw
Бывалый

Сообщения: 98
Зарегистрирован: 11.04.2004
Откуда: Минск. Физтех.
СообщениеДобавлено: Чт 07 Февраль 2008 12:43    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

да, рентгеноспектрального с дисперсией по энергии.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail ICQ Number
injener
Дед

Сообщения: 3196
Зарегистрирован: 21.12.2004
Откуда: Московская область
СообщениеДобавлено: Чт 07 Февраль 2008 13:51    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Вот именно ЭДС мы и использовали для описанной процедуры. Link Systems SERIE 860/2.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Serg
Бывалый

Сообщения: 204
Зарегистрирован: 19.01.2003
Откуда: Нижний Новгород
СообщениеДобавлено: Пт 08 Февраль 2008 10:42    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

да, рентгеноспектрального

В принципе, есть комерческие программы, и стоят они относительно недорого.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Dusha
Дед

Сообщения: 2195
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Пт 08 Февраль 2008 12:24    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Я слышал, что для этих целей используют и сравнивают данные, полученные при разных ускоряющих.
_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1887
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Пт 08 Февраль 2008 12:43    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:
сравнивают данные, полученные при разных ускоряющих.

Когда-то давно так и делал. Но у нас монокристаллы (с ограниченным числом элементов, с хорошей стехеометрией и однородностью), поэтому математика была достаточно простая. Для случая стали это несколько сложнее.
Надо поискать в инете и в библиотеке - этим достаточно много занимались (и ссылки на программы где-то встречались).

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
jrrw
Бывалый

Сообщения: 98
Зарегистрирован: 11.04.2004
Откуда: Минск. Физтех.
СообщениеДобавлено: Пт 08 Февраль 2008 15:41    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Serg, а какие именно не вспомните? чтобы проще отталкиваться было.

Dusha, мы тоже идем в этом направлении. тока куда дальше копать сейчас пока не ясно.
где это могут знать, я бы даже в командировку съездил бы.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail ICQ Number
Serg
Бывалый

Сообщения: 204
Зарегистрирован: 19.01.2003
Откуда: Нижний Новгород
СообщениеДобавлено: Пт 08 Февраль 2008 17:21    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

чтобы проще отталкиваться было

Мне не очень удобно, но это не реклама: попробуйте начать отсюда http://www.samx.com/index.html.en.
Сам не пробовал, но рекомендовали.
Если честно, на самом деле это не очень просто, особенно когда подложка и пленка содержат даже хотя бы один и тот же элемент. Особенно, когда толщина пленки небольшие десятки нм.
А уж если речь идет о стали, там никогда однородного распределения элементов не было, если читать учебники.
Хотите быть честным - объясните начальству, что каждый образец это отдельное исследование, и не только EDS и т.д. .... Cool
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
injener
Дед

Сообщения: 3196
Зарегистрирован: 21.12.2004
Откуда: Московская область
СообщениеДобавлено: Пт 08 Февраль 2008 17:58    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:
когда подложка и пленка содержат даже хотя бы один и тот же элемент
Проще, когда они содержат разные элементы. Тогда подложку легче отличить от пленки. Особенно, если менять величину ускоряющего. Тогда, чувствуя элемент подложки можно примерно определять величину пробега в пленке. Она будет примерно равна толщине в данном месте.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Serg
Бывалый

Сообщения: 204
Зарегистрирован: 19.01.2003
Откуда: Нижний Новгород
СообщениеДобавлено: Пт 08 Февраль 2008 20:03    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

можно примерно определять величину пробега в пленке

Достаточно грубо. Сам этим пользуюсь, но все время плююсь и т.д....
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
jrrw
Бывалый

Сообщения: 98
Зарегистрирован: 11.04.2004
Откуда: Минск. Физтех.
СообщениеДобавлено: Пт 08 Февраль 2008 21:02    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Serg, оно это понимает Smile и тем не менее, хотелось бы обойтись без дополнительных услуг, да и мне самому это интересно.

нене, сталь не надо исследовать, на нем покрытие из хрома или титана и азота. упрочняющее. вот именно его толщину и оценить. точность особо роли не играет. хотя бы качественно сделать для начала.

injener! а можно поподробнее, каким образом, сравнивая показания на разом напряжении, сделать такую оценку?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail ICQ Number
Dusha
Дед

Сообщения: 2195
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Пт 08 Февраль 2008 23:03    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

поподробнее, каким образом, сравнивая показания на разом напряжении, сделать такую оценку?

Для начала: какая толщина покрытия, примерно?

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1887
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Пт 08 Февраль 2008 23:59    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

jrrw
А вот эту книгу Вы смотрели?
http://www.urss.ru/cgi-bin/db.pl?cp=&page=Book&id=31964&lang=Ru&blang=ru&list=23

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
injener
Дед

Сообщения: 3196
Зарегистрирован: 21.12.2004
Откуда: Московская область
СообщениеДобавлено: Пн 11 Февраль 2008 12:14    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:
каким образом, сравнивая показания на разом напряжении, сделать такую оценку?
Напряжения нужно менять, чтобы менялась длина пробега. Когда начинаете видеть подложку, значит пробег на всю толщину покрытия (есть таблицы по пробегам для электронов разных энергий в разных метериалах). Но, как было замечено, довольно грубо. Т.к., по-хорошему, нужно еще учитывать размеры области генерации рентгена внутри пленки...
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
jrrw
Бывалый

Сообщения: 98
Зарегистрирован: 11.04.2004
Откуда: Минск. Физтех.
СообщениеДобавлено: Пн 11 Февраль 2008 12:45    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

приехал к нам монтажник на РЭМ и на edax, пообещал дать кучу литературы. как раз по тому, как вычислять толщину основываясь на концентрациях при разных ускор. напряжениях.

Sergey, гимельфарба уже смотрю.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail ICQ Number
Dusha
Дед

Сообщения: 2195
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Пн 11 Февраль 2008 12:47    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

нужно еще учитывать размеры области генерации рентгена внутри пленки...

И поглощение рентгена в пленке...
А вот такая идея насчет прокалиброваться: построить зависимость сигнала от подложки от угла наклона образца, толщина будет меняться обратно косинусу угла наклона... Может это что-то даст?

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1887
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Пн 11 Февраль 2008 13:02    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:
от угла наклона образца

По-моему для WDS этот метод может подойти, а у EDS угол сбора рантгена большой.

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Показать сообщения:   
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Страница 1 из 1


о проекте || новости || публикации || оборудование || события
фотогалерея
|| форум || спонсоры || ссылки

©2002 - Microscopist.ru - портал микроскопистов
:главная :контакты :карта сайта :faq :помощь Rambler's Top100 Рейтинг@Mail.ru
Powered by phpBB © 2001-2003 phpBB Group | Часовой пояс: GMT + 3