Начало div  FAQ  div  Поиск  div  Пользователи  div  Группы  div  Избранное  div  Регистрация  div  Вход 
Список форумов Microscopist.ru arrow Помощь arrow Травление Si

Травление Si
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Автор Сообщение
Habakkuk
Бывалый

Сообщения: 117
Зарегистрирован: 28.01.2006
Откуда: Киев
СообщениеДобавлено: Сб 12 Апрель 2008 21:31    Заголовок сообщения: Травление Si Ответить с цитатой

У кого есть опыт в химическом травлении кремния? Кремниевая пластина (300 мкм) с одной стороны покрыта слоем Ni (20 nm). Пытаюсь протравить в кремнии (все важное закрыл лаком, в центре оставил окошко) окно до слоя металла, чтобы увидеть Ni на просвет, но травитель (HF-HNO3-CH3COOH) жрет все подряд с такими подтравами по краям, что залазит под лак и съедает Ni. Слышал, что можно сделать аккуратные окна именно путем химического травления.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
JazvaForuma
Бывалый

Сообщения: 96
Зарегистрирован: 30.10.2007
СообщениеДобавлено: Вс 13 Апрель 2008 09:58    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

По-моему KOH работает Embarassed
В библиотеке есть очень полезный обзор по травителям, посмотрите его. Я для своего AlGaN'а нашла именно там.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Habakkuk
Бывалый

Сообщения: 117
Зарегистрирован: 28.01.2006
Откуда: Киев
СообщениеДобавлено: Вс 13 Апрель 2008 20:55    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Спасибо, попробую. Народ посоветовал травить с помощью KOH при 95 С так как с ним не реагирует Ni. А тот обзор под паролем был. Я не смог его открыть.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Dusha
Дед

Сообщения: 2197
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Пн 14 Апрель 2008 13:41    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Обзор не запаролен, это должно быть какие-то проблемы с фтп клиентом.
Но обзор только по III-V, кремния там нет Confused

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
SeregaK
Бывалый

Сообщения: 100
Зарегистрирован: 25.07.2005
Откуда: Новосибирск, Россия
СообщениеДобавлено: Пн 14 Апрель 2008 14:27    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Щелочь хорошо удаляет некоторые металлы, а вот кремний травит не очень - для 100 поверхности скорость порядка 20 нм/мин. Может плавиковокй? есть еще рецепт 2 HF (49%)+ 15 HNO3 (65%) + 5 CH3COOH (100%) -сам не пробовал. Скорость травления зависит от легирования. А вот как все это жрет никель - нет информации, к сожалению. Еще в плазме NF3 с кислородом пожечь можно.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail ICQ Number
Bananan
Бывалый

Сообщения: 246
Зарегистрирован: 13.09.2007
Откуда: Самара
СообщениеДобавлено: Пн 14 Апрель 2008 16:49    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

У меня нет фтп, поэтому не могу посмотреть библиотеку.
Справочник Беккерта и Клемма по травлению должен вроде быть в библиотеке.
Там на 160стр. есть список травителей для кремния в частности. Там же можно посмотреть для никеля, и подобрать среднее.
Если надо кому, скиньте в ПМ адрес, скину книгу.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение ICQ Number
Habakkuk
Бывалый

Сообщения: 117
Зарегистрирован: 28.01.2006
Откуда: Киев
СообщениеДобавлено: Пн 14 Апрель 2008 16:53    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Кушает никель с добавками платины этот состав очень хорошо. Проверено лично мною неделю назад. Никому не советую. От кремния тоже аж пузыри идут. Травит очень быстро. За 20 минут от пластины толщиной 300 мкм остаются тоненькие ошметки, которые прекрасно смотрятся на просвет по краям. Остается пробовать КОН, т.к. вроде бы он никель не трогает. Плазмой, оно конечно, сподручнее, но нет возможности, так что уповаю на wet etching.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Habakkuk
Бывалый

Сообщения: 117
Зарегистрирован: 28.01.2006
Откуда: Киев
СообщениеДобавлено: Пн 14 Апрель 2008 17:03    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Тот справочник по III-V в pdf формате действительно открывается. Это я другой не смог открыть. Спасибо, все указанные справочники теперь есть под рукой. Тут проблема, пожалуй, в самом методе защиты от подтравов по бокам. Советы того, кто сам это делал в отношении держателя, изолирующего лака и т.п. весьма приветствуются.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1900
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Пн 14 Апрель 2008 19:12    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Вот в старой книжке нашел состав для получения тонких образцов кремния:
2ч 4%-ого раствора NaOH, 1ч. 40%-ого раствора NaOCl - при 80C образец должен плавать на поверхности травителя. (может это выход для предотвращения травления никеля) Embarassed
(Мокеев, Романов - Химическая обработка и фотолитография... - 1985г)

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Habakkuk
Бывалый

Сообщения: 117
Зарегистрирован: 28.01.2006
Откуда: Киев
СообщениеДобавлено: Вт 15 Апрель 2008 21:36    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Благодарю всех кто откликнулся. Сегодня все сделал. Рекомендую всем для травления кремния и сохранения никеля 40% р-р КОН. Травление нужно вести при 90-95С. Толстые (200 nm) слои Ni отделяются от подложки Si за 1 мин, а вот с тонкими (20 nm) пришлось повозиться. Но и они отделились через 80 мин. Наверное тут играют роль мех. напряжения, которые накоплены в слое пленки при ее конденсации. Чем толще слой, тем выше напряжения, тем легче пленка слазит с подложки. Травил в стеклянной бюксочке, которую поставил в песок, а жестянку с песком на плитку. Образец удобно делать в виде полоски шириной 2-3 мм и длиной 5-10 мм. Я его вставил в трубку из термоусадочного кембрика, можно и в простой. Так удобнее манипулировать им вместо пинцета. Следующий номер моей программы будет в попытке сохранить при травлении силициды, которые возможно образуются на границе раздела Ni-Si.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Dusha
Дед

Сообщения: 2197
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Вт 22 Апрель 2008 13:58    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

А как с идеей вытравить окошко со стороны кремния? С этого вроде все начиналось...
_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Habakkuk
Бывалый

Сообщения: 117
Зарегистрирован: 28.01.2006
Откуда: Киев
СообщениеДобавлено: Сб 26 Апрель 2008 00:33    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Окно не получается. Какими только лаками я ни прикрываю края пластинки Si чтобы получилось окошко, а КОН при 90 град. все съедает вмиг, аж дым идет. Наверное без плазмохимического травления не получится. Или из фторопласта обойму сделать и в ней зажимать пластину? Все равно травитель и туда залезет. Попробую эпоксидку с углеродом.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
opton
Новенький

Сообщения: 17
Зарегистрирован: 29.11.2009
Откуда: Москва
СообщениеДобавлено: Пт 04 Декабрь 2009 20:23    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

тема старвя но думаю может пригодиться типа травления делал так окунал в парафин разогретый стекло далее после вытаскивал остужал и деревянной зубочисткой процарапывал парафин типа рисунка далее травил в фтористоводородной кислоте вод тока думаю после подложки пленка может тожестравиться
ну и напылять можно было и на предметное стекло которое сверху не знаю как называеться
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Посетить сайт автора MSN Messenger
Показать сообщения:   
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Страница 1 из 1


о проекте || новости || публикации || оборудование || события
фотогалерея
|| форум || спонсоры || ссылки

©2002 - Microscopist.ru - портал микроскопистов
:главная :контакты :карта сайта :faq :помощь Rambler's Top100 Рейтинг@Mail.ru
Powered by phpBB © 2001-2003 phpBB Group | Часовой пояс: GMT + 3