Начало div  FAQ  div  Поиск  div  Пользователи  div  Группы  div  Избранное  div  Регистрация  div  Вход 
Список форумов Microscopist.ru arrow РЭМ (Методы) arrow SE контраст

SE контраст
На страницу 1, 2  След.
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Автор Сообщение
Serg
Бывалый

Сообщения: 205
Зарегистрирован: 19.01.2003
Откуда: Нижний Новгород
СообщениеДобавлено: Вт 01 Декабрь 2009 17:49    Заголовок сообщения: SE контраст Ответить с цитатой

Уважаемые, кто-нибудь может пояснить, чем вызвано такое обращение контраста? Объект - микросхема с контактными площадками (Au), сверху прикрытая тонким слоем SiO2.
Оба фото получены во вторичных е: верхняя - с помощью in-Lens детектора, нижняя - обычным (ET).



contrast2.jpg
 Описание:
no comments
 Размер файла:  80.3 KB
 Просмотрено:  667 раз(а)

contrast2.jpg


Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1907
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Вт 01 Декабрь 2009 18:30    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

С встроенным в линзу никогда не работал. Но впечатление такое, что на верхней фотке вырезаны из спектра низкоэнергетичные электроны (то есть вторичные). Может это связано с зарядом диэлектрика.
_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
VMPS
Бывалый

Сообщения: 330
Зарегистрирован: 21.05.2004
Откуда: Украина
СообщениеДобавлено: Вт 01 Декабрь 2009 22:31    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Проще не бывает. Если нет преобразовательных примочек то: черное - это отсутствие излучения (сигнала) , а светлое и в тоне его наличие в интенсивности. А наличие заряда - это всегда дополнительные условия усиления эмиссии из зоны. Чем светлее, тем интесивнее регистрируемый детектором сигнал. И через это , читаем ...........

Последний раз редактировалось: VMPS (Вт 01 Декабрь 2009 22:38), всего редактировалось 1 раз
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Sergey
Дед

Сообщения: 1907
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Вт 01 Декабрь 2009 22:36    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

А если заряд положительный? Не понял Confused
_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
VMPS
Бывалый

Сообщения: 330
Зарегистрирован: 21.05.2004
Откуда: Украина
СообщениеДобавлено: Вт 01 Декабрь 2009 22:39    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

заряд положительный?

Как электронами, без примочек, создать положительный заряд?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Sergey
Дед

Сообщения: 1907
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Вт 01 Декабрь 2009 22:49    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

[quote="VMPS"]
Цитата:

Как электронами, без примочек, создать положительный заряд?

Коэффициент вторичной эмиссии >1.0

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
VMPS
Бывалый

Сообщения: 330
Зарегистрирован: 21.05.2004
Откуда: Украина
СообщениеДобавлено: Вт 01 Декабрь 2009 22:55    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

вторичной

Но она же электронная, отрицательно заряженная .................
А вот если инвертировать................,
Но это же не прямое измерение
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
VMPS
Бывалый

Сообщения: 330
Зарегистрирован: 21.05.2004
Откуда: Украина
СообщениеДобавлено: Вт 01 Декабрь 2009 23:02    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

вторичной эмиссии >1.0

Где нашел?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Sergey
Дед

Сообщения: 1907
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Вт 01 Декабрь 2009 23:29    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

VMPS писал(а):
Где нашел?

Это я утрирую... Там важен балланс - заряжаться может как + так и -.

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
injener
Дед

Сообщения: 3196
Зарегистрирован: 21.12.2004
Откуда: Московская область
СообщениеДобавлено: Ср 02 Декабрь 2009 03:47    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Пардон, господа! Что значит
Цитата:
черное - это отсутствие излучения (сигнала)
На нижнем снимке видно, что никакого отсутствия нет! Вторичная эмиссия есть везде. Может быть какой-нибудь Z-контраст проявляется, если там - пленка кремния?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Sergey
Дед

Сообщения: 1907
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Ср 02 Декабрь 2009 09:43    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Так эмиссия одинаковая - меняются условия сбора вторичных электронов. Ведь в случае классического детектора используется тянущее поле для сбора электронов, а для встроенного детектора его вроде нет (а может есть - не сталкивался с ним). А если на образце диэлектрическая пленка, то могут происходить сложные эффекты. Если, например, пленка толстая (~10 мкм фоторезиста) то за счет ее зарядки под пучком может происходить и искажение геометрии изображения - в этом случае приходится подпылять золото/углерод.
_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Liza
Бывалый

Сообщения: 185
Зарегистрирован: 15.03.2007
СообщениеДобавлено: Ср 02 Декабрь 2009 12:08    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Кстати, на SE картинке тоже видно, что эти площадки, что становятся темными в in-lens, более светлые по сравнению с остальными. То есть они больше рассеивают на большие углы. Вы не можете сделать EDX? Такое ощущение, что может быть разный состав у обращенных площадок и нормальных.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Serg
Бывалый

Сообщения: 205
Зарегистрирован: 19.01.2003
Откуда: Нижний Новгород
СообщениеДобавлено: Ср 02 Декабрь 2009 16:22    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

для встроенного детектора его вроде нет

Похоже, что нет. Надо будет внимательно посмотреть схему. Однозначно там только есть 8 кВ, ускоряющее вторичные электроны, попавшие назад в апертуру линзы.
Цитата:

они больше рассеивают

Это похоже на правильный ответ. Действительно, наверное, вклад вторичных электронов, рожденных отраженными, намного больше, чем доля вторичных от прямого электронного пучка.
Цитата:

Такое ощущение

у меня тоже, но проверить не могу: образец приносили на 10 минут и уже отобрали, но через неделю обещали принести другой похожий. Посмотрим на него внимательнее.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
vklsi2
Бывалый

Сообщения: 299
Зарегистрирован: 18.02.2009
СообщениеДобавлено: Чт 03 Декабрь 2009 07:47    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Не претендую на полноту, но объяснение может быть таким.
Раз есть детектор Inlens и с него есть картинка, то на образец из объективной линзы попадает электрическое (как у Цейсса) или магнитное поле (у прочих). На рабочем отрезке 9 мм идет острая борьба за вторичные электроны между нижним и верхним детектором. Судя по наличию на картинке с верхнего детектора деталей топографии поверхности, он настроен на работу с самыми медленными вторичными электронами, поскольку сила поля такова, что быстрые электроны оно не может отклонить, чтобы собрать, их собирает нижний детектор (Эверхарта-Торнли). Скорее всего, места с переменным контрастом электрически изолированы (в том числе и от земли), может быть, просто по схеме, или из-за запертого перехода. Это значит, что они заряжаются положительно (коэф. вторичной эмиссии больше 1; на 10 кВ и с пленкой на поверхности вероятность увеличения вклада вторичной эмиссии велика). И тогда заряженные места становятся фильтром, который пропускает только быстрые вторичные электроны. Медленные просто не могут преодолеть барьер. Поэтому такая разница в контрасте. Дополнительным аргументом в пользу такого объяснения (наличия зарядки) служит размытость границ темных участков на картинке с верхнего детектора.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
injener
Дед

Сообщения: 3196
Зарегистрирован: 21.12.2004
Откуда: Московская область
СообщениеДобавлено: Чт 03 Декабрь 2009 09:07    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:
объяснение может быть таким.
Ну, вообще-то, больше похоже на правду... Rolling Eyes
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
snigela
Бывалый

Сообщения: 54
Зарегистрирован: 03.07.2008
Откуда: ЮФУ, Ростов-на-Дону
СообщениеДобавлено: Чт 03 Декабрь 2009 20:09    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

У меня нет детектора InLens. Интересны его возможности.
Вопросы.
1. Кроме необычного контраста на картинках есть разница в общем фоне (полосы и др.). Детектор InLens "видит" поглубже или помельче? Полосы непосредственно на поверхности или под слоем?

2. Настраиваются ли параметры такого детектора? Если да, то возможно ли получение информации по глубине?

3.
Цитата:

...острая борьба за вторичные электроны между нижним и верхним детектором

А если один из детекторов отключен, картинка изменится?

4.
Цитата:

быстрые электроны оно не может отклонить

Question Радиус "отклонений" в магнитном поле пропорционален скорости.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
vklsi2
Бывалый

Сообщения: 299
Зарегистрирован: 18.02.2009
СообщениеДобавлено: Чт 03 Декабрь 2009 21:14    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

Детектор InLens "видит" поглубже или помельче?

А это как настроите. Практически у микроскопов всех фирм с таким детектором перед ним стоит перестраиваемый энергетический фильтр (они отличаются, в зависимости от реализации, "разрешением"). В данном случае помельче.
Цитата:

Полосы непосредственно на поверхности или под слоем?

На поверхности. Если бы это было не так, на золоте их не было бы видно.
Цитата:

А если один из детекторов отключен, картинка изменится?

Все зависит от величины поля коллектора детектора Эверхарта-Торнли в области сканирования. У некоторых микроскопов ее можно регулировать. Если и изменится, то, думаю, не сильно.
Но обычно детекторы не отключаются, даже если вы не выводите сигнал на экран. В этом случае вообще ничего не изменится.
Цитата:

Радиус "отклонений" в магнитном поле пропорционален скорости.

А в чем, собственно, вопрос? Известно ведь, что электроны уходят в магнитную линзу по спирали.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Serg
Бывалый

Сообщения: 205
Зарегистрирован: 19.01.2003
Откуда: Нижний Новгород
СообщениеДобавлено: Пт 04 Декабрь 2009 10:09    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

перестраиваемый энергетический фильтр

Вы путаете детектор отраженных и вторичных. У меня обе картинки во вторичныхэлектронах, и никакой настройки для селекции по энергиям нет.
Цитата:

места с переменным контрастом электрически изолированы

В таком случае это должно давать более-менее одинаковый контраст для обоих детекторов.
Цитата:

коэф. вторичной эмиссии больше 1; на 10 кВ

Question Это что за механизм дает такой коэффициент Question
Зарядовые эффекты конечно могут работать, но все-таки в одну сторону для обоих детекторов.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Serg
Бывалый

Сообщения: 205
Зарегистрирован: 19.01.2003
Откуда: Нижний Новгород
СообщениеДобавлено: Пт 04 Декабрь 2009 10:13    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

перестраиваемый энергетический фильтр

Вы путаете детектор отраженных и вторичных. У меня обе картинки во вторичныхэлектронах, и никакой настройки для селекции по энергиям нет.
Цитата:

места с переменным контрастом электрически изолированы

В таком случае это должно давать более-менее одинаковый контраст для обоих детекторов.
Цитата:

коэф. вторичной эмиссии больше 1; на 10 кВ

Question Это что за механизм дает такой коэффициент Question
Зарядовые эффекты конечно могут работать, но все-таки в одну сторону для обоих детекторов.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Liza
Бывалый

Сообщения: 185
Зарегистрирован: 15.03.2007
СообщениеДобавлено: Пт 04 Декабрь 2009 18:15    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

snigela писал(а):
У меня нет детектора InLens. Интересны его возможности.


Inlens показывает гораздо лучше топографию поверхности, что бывает полезно Полосы на картинке это царапины от пробободготовки. А еще сигналы двух детекторов можно мешать, ну то есть менять их вклады в картинку, выводимую на экран, к примеру 20% SE и 80% Inlens. Этот трюк помогает получать более "объемные" картинки.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Показать сообщения:   
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Страница 1 из 2 На страницу 1, 2  След.


о проекте || новости || публикации || оборудование || события
фотогалерея
|| форум || спонсоры || ссылки

©2002 - Microscopist.ru - портал микроскопистов
:главная :контакты :карта сайта :faq :помощь Rambler's Top100 Рейтинг@Mail.ru
Powered by phpBB © 2001-2003 phpBB Group | Часовой пояс: GMT + 3