Начало div  FAQ  div  Поиск  div  Пользователи  div  Группы  div  Избранное  div  Регистрация  div  Вход 
Список форумов Microscopist.ru arrow РЭМ (Методы) arrow Позиционирование на больших размерах?

Позиционирование на больших размерах?
На страницу 1, 2  След.
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Автор Сообщение
pust2
Бывалый

Сообщения: 329
Зарегистрирован: 07.08.2006
Откуда: Владивосток
СообщениеДобавлено: Пт 04 Март 2011 05:46    Заголовок сообщения: Позиционирование на больших размерах? Ответить с цитатой

Всем привет!
Поделитесь, кто как позиционируется на "больших" объектах?
У меня оптоволокно, его торец, диаметром 120 мкм надо найти точно центр...
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Посетить сайт автора
NonExper
Бывалый

Сообщения: 34
Зарегистрирован: 18.12.2010
СообщениеДобавлено: Пт 04 Март 2011 13:22    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

надо найти точно центр...

С какой погрешностью?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
snigela
Бывалый

Сообщения: 54
Зарегистрирован: 03.07.2008
Откуда: ЮФУ, Ростов-на-Дону
СообщениеДобавлено: Пт 04 Март 2011 14:09    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Лет 10 назад смотрела ~ 120 мкм оптоволокно, в центре d ~ 10 мкм состав стекла отличался.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
injener
Дед

Сообщения: 3196
Зарегистрирован: 21.12.2004
Откуда: Московская область
СообщениеДобавлено: Пт 04 Март 2011 14:22    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:
надо найти точно центр
А гониометр не позволяет разве координаты выставить? Методом последовательных приближений, использую реперные точки... Вроде, так и делали, если необходимость была...
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
pust2
Бывалый

Сообщения: 329
Зарегистрирован: 07.08.2006
Откуда: Владивосток
СообщениеДобавлено: Вс 06 Март 2011 04:53    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Погрешность, как обычно, чем точнее тем лучше. Хотя бы 100 нм.
Оптоволокно запылено платиной, поэтому сердцевины не видно...

А, с гониометром, надо будет поиграть, проверить.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Посетить сайт автора
NonExper
Бывалый

Сообщения: 34
Зарегистрирован: 18.12.2010
СообщениеДобавлено: Вс 06 Март 2011 09:40    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

Погрешность, как обычно, чем точнее тем лучше. Хотя бы 100 нм.

Ну, это уж слишком круто. Если, для анализа нужна такая точность позиционирования, то область генерации все равно поболее 1 мкм будет.Точность установки может зависеть от микроскопа (типа столика) и его программного обеспечения. LEO-1430, например, имеет хороший столик и, в дополнение, на экран монитора можно вывести 8-ми лучевое перекрестье, поэтому нет проблемы встать в центр с точностью до 1-2 мкм. А вот у JSM-6510 моторизованный столик имеет шаг по X,Y целых 5 мкм, и перекрестье на экране не отображается. Так что о точности установки на этом приборе 1 мкм мечтать не приходится, не говоря о 0,1 мкм. Соответственно, на других приборах могут быть и промежуточные варианты.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
pust2
Бывалый

Сообщения: 329
Зарегистрирован: 07.08.2006
Откуда: Владивосток
СообщениеДобавлено: Вс 06 Март 2011 10:10    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

В том-то и проблема, у меня вся область интереса 5 мкм в диаметре. Если я буду в 2-х мкм от центра, это слишком далеко. Нужно сделать не анализ, а "вырезать" дырку ионным пучком...
Микроскоп Zeiss CrossBeam, там и перекрестье есть, и кружок могу нарисовать в центре. Но получается, что 120 мкм целиком на экране при увеличении 1.2к-1.5к, при этом одна точка изображения порядка 190 нм, следовательно точнее я не могу поставить центр. Можно, конечно попробовать изменить размер изображения, но изменит ли это количество сканируемых точек?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Посетить сайт автора
NonExper
Бывалый

Сообщения: 34
Зарегистрирован: 18.12.2010
СообщениеДобавлено: Вс 06 Март 2011 12:02    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Понятно. Действительно не простая задача. Вся надежда на дефекты полировки, может быть их использовать в качестве реперных точек. Для повышения точности их (реперных точек) должно быть много, и действовать придется, как советует Ingener, методом последовательных приближений.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
vklsi2
Бывалый

Сообщения: 299
Зарегистрирован: 18.02.2009
СообщениеДобавлено: Вс 06 Март 2011 16:34    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

А что за проблемы, если все можно сделать без механического перемещения? Если Вы будете знать, где находится реальный центр сканирования (т.е. точка, относительно которой происходит увеличение, - центр отклоняющей системы), то можно выбрать нужное увеличение, имея при этом представление о том, где находится реальный центр кадра. У Вас же есть ионный пучок, который может создавать реперы, поэкспериментируйте на тестовых образцах. Два совета: при работе не трогайте ручки Image Shift (или функционально аналогичные, не знаю, как они называются у вас), и используйте самую медленную развертку для точного определения реального положения выбранной Вами точки на картинке (Вы, наверное, замечали, что картинка смещается по горизонтали при увеличении скорости развертки?).
А у Кроссбима есть возможность строить изображения во вторичных электронах, "выбитых" ионным пучком? Я спрашиваю потому, что обычно ионные пучки отклоняются электростатическими пластинами, и паразитного эффекта сдвига либо нет совсем, либо он мал, т.е. можно было бы попробовать и смотреть ионным пучком, не только резать.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
pust2
Бывалый

Сообщения: 329
Зарегистрирован: 07.08.2006
Откуда: Владивосток
СообщениеДобавлено: Пн 07 Март 2011 01:58    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Проблема, как раз в том, чтобы изначально определить, что объект стоит в центре. А, потом надеяться, что увеличение проходит из центра изображения.
Использовать самую медленную развертку не совсем практично, там изображение десяток минут сканируется, за это время объект уезжает, за счет дрейфа столика.
Это, кстати, еще одна проблема. На маленьком увеличении, все нормально, а при большом явно заметно, что поверхность смещается за пару минут на 100 нм, или около того.

По реперным точкам, тоже все не просто. На торце есть достаточно дефектов, песка, пыли, но координаты их не известны.

Попробую засканировать с большим количеством точек, взять большее увеличение, так чтобы диаметр был примерно в 2 раза больше картинки. Используя ImageShift измерить диаметр по вертикали и горизонтали, найти центр. Будет выигрыш в точности за счет увеличения и за счет количества точек. Надо только считать на сколько точек сместил ImageShift.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Посетить сайт автора
vklsi2
Бывалый

Сообщения: 299
Зарегистрирован: 18.02.2009
СообщениеДобавлено: Пн 07 Март 2011 16:44    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Если Вы хотите получить погрешность определения 100 нм при дрейфе столика 100 нм за две минуты, то решения одно - для этих целей ваш Кроссбим не годится.
Я вообще-то имел в виду самую медленную из разверток для визуального наблюдения, не для фотографирования, т.е. годятся все, кроме ТВ развертки (50 или 60 полукадров в секунду) и быстрой (Fast) развертки (где-то 10 кадров в секунду). Например, 1 или 0,5 кадра в секунду.
Алгоритм, который Вы предложили, имеет право на жизнь, если хватит диапазона смещения. Где-то в менюшках должно быть спрятано значение Image shift в цифрах, поищите, на всех приличных микроскопах это должно быть. Или в логах, где прописаны все действия с микроскопом.
Непонятно, кстати, откуда берется такой большой дрейф столика... У вас моторы перемещения по X и Y находятся в вакууме или стоят снаружи?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
pust2
Бывалый

Сообщения: 329
Зарегистрирован: 07.08.2006
Откуда: Владивосток
СообщениеДобавлено: Вт 08 Март 2011 03:06    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Моторы стоят в вакууме, но получается, что непосредственно перед этим я центрую объект. Остаточные напряжения в винтовых соединениях, можно подождать и дрейф уменьшится, но мы "отползем" от нужного положения и так до бесконечности. Поэтому и хочу попробовать комбинацию механического и электронного сдвига. Единственно, в некоторых случаях микроскоп сбрасывает ImageShift в 0.
А, может даже еще, как советовали, определить координаты реперных точек, поближе к центру, и даже если будет дрейф это не страшно.
Но, к сожалению, как всегда есть "нюанс" Smile
Определение центра мне необходимо, так же при наклоне стола и объекта на 54 градуса...
В общем, надо посмотреть на соотношение усилий и результата.

Еще бы, какую нибудь удобную систему навигации единую по столу и картинке. Мы правда прикупили API, может сами, что-то слабаем Smile А, то задачи все не очень стандартные...

Спасибо за комментарии!
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Посетить сайт автора
pust2
Бывалый

Сообщения: 329
Зарегистрирован: 07.08.2006
Откуда: Владивосток
СообщениеДобавлено: Ср 09 Март 2011 09:02    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Попробовал комбинацию механического и электронного смещения (центрирования).
Получается получше, удается спозиционироваться +/- 200 нм, для проверки измеряю несколько раз.
Предварительно юстирую, центрую механически, даю отстояться минут 10-15. Корректирую электронным смещением. Оказалось, что электронно можно сместить изображение только на +/-13 микрометров, для оптоволокна диаметром 120 мкм, это слишком мало. Значения смещения указываются в %, что тоже не очень хорошо для расчетов.

С маркерами, слишком много действий. Если бы "умный" софт выделял маркеры, и при разных увеличениях давал координаты Smile

В перспективе, надо будет купить тест-объект для скана, от NIST, только стоит он Rolling Eyes, хотя и на порядок дешевле, чем наш тест-объект трапецевидный по ГОСТ Р ... Shocked
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Посетить сайт автора
SeregaK
Бывалый

Сообщения: 100
Зарегистрирован: 25.07.2005
Откуда: Новосибирск, Россия
СообщениеДобавлено: Ср 09 Март 2011 10:56    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

А чем тест-объект поможет в вашей задаче? Проблема-то не в калибровке, а в точности позиционирования столика, как я понимаю. Вот если бы к столику лазерный интерферометр был, то тогда бы все решилось. Raith для crossbeam-а делает такие литографические столики.
В система электронной литографии подобные задачи именно так и решаются.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail ICQ Number
Dusha
Дед

Сообщения: 2199
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Пн 14 Март 2011 18:31    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

А не пробовал электронным пучком напылить маркеры, из платины например?
Скажем при увеличении 1.5К напылить квадрат 120х120мкм с шагом 0.5мкм? Потом точно просчитать положение центра в центральной ячейке....
При нескольких нА заметные точки вырастут за полминуты, потом по ним можно и ориентироваться и с наклоном и без.

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
pust2
Бывалый

Сообщения: 329
Зарегистрирован: 07.08.2006
Откуда: Владивосток
СообщениеДобавлено: Вт 15 Март 2011 02:38    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

С напылением, есть несколько нюансов. Облучать область в районе сердцевины вообще нельзя, позиции напыленных участков опять же будут +/- 230 нм, это одна точка на изображении при М=1.5к, как исходно определить координаты с высокой точностью, шаг 0.5 мкм это две точки при М=1,5к пучок ионов не идеальный, а треугольный с большими крыльями, с высокой вероятностью запылит и соседнии точки...
Даже если напылить несколько объектов с шагом 10*10 мкм остается проблема первоначального опеределения их координат.
Если иметь скан-генератор 16-ти разрядный Smile, 64к точек...

Цитата:

тест-объект поможет

На тест-объекте, серии MRS, можно увидеть центр объекта и посмотреть насколько точно при малом увеличении можно его определить.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Посетить сайт автора
Dusha
Дед

Сообщения: 2199
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Вт 15 Март 2011 16:47    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Ты не понял/не прав...
Пылить надо электронным пучком, а не ионным, с этим проблем не должно быть, так же?
Размер точки при 1нА будет порядка 50нм. Точность совсем не +/-230нм, поскольку размер пикселя и точность установки пучка - это две больших разницы. Если ставить питч 500нм, он и будет 500нм (+- шумы ЦАП +- нелинейности скан генераторов и катушек), даже при размере всей структуры 120мкм. То есть будет сетка 50нм точек с шагом 500нм. Ее края можно привязать к краям волокна - это даст координаты всей сетки с высокой точностью.
Попробуй.

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
pust2
Бывалый

Сообщения: 329
Зарегистрирован: 07.08.2006
Откуда: Владивосток
СообщениеДобавлено: Ср 16 Март 2011 02:45    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

А, что-то, я действительно не понял, как можно получить точность выше, чем размер пикселя (что равно позиции пучка)? Ну, если быть совсем строгим, то половина пикселя ? Согласно общепринятой теории, измерение чего-то не может быть точнее половины наименьшего деления измерительного инструмента, а то и того хуже. Для цифровых микрометров, так и пишут точность +/-3 мкм, при всем при том, что есть деления с единицами микрометров.

Что такое питч не знаю Sad

Проверим? У меня, к сожалению, затык с ГИСом, после установки SIMSa, так, что на твоей машине Smile
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Посетить сайт автора
Dusha
Дед

Сообщения: 2199
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Ср 16 Март 2011 18:27    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:
А, что-то, я действительно не понял, как можно получить точность выше, чем размер пикселя (что равно позиции пучка)?

Ну, например, справедливо предположив, что система помещает пучок не статистически куда-то внутри квадрата со стороной 500х500нм, а ставит его в верхний левый угол, или в правый нижний.... Но всегда одинаково.
А питч, растояние между точками (то же по сути что и размер пикселя) - это физически приращение тока отклоняющих катушек. На вполне определенную величину от пикселя к пикселю. Соответственно расстояние между пикселями будет вполне определенным.

Подгоняй ко мне в середине июня, тут тусовка будет веселая, вроде как открытие лаборатории.
Приглашение прислать?

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
pust2
Бывалый

Сообщения: 329
Зарегистрирован: 07.08.2006
Откуда: Владивосток
СообщениеДобавлено: Чт 17 Март 2011 02:29    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

Но всегда одинаково

Это только теоретически, практически все ЦАП шумят в пределах последнего разряда, если только это не супер-супер-супер дорогой малошумящий ЦАП.
Проверить это можно по тест-объекту.
Или на идеальной поверхности, например, кремнии, в один проход вытравить прямоугольник с небольшой глубиной и питчем большим, чем размер пучка. Тогда взаимного влияния не будет, а начало строк (борозд) покажет насколько точно позиционируется начальная точка. Поскольку точные позиции, в перделах одной точки, статистически независимы, то на электронном изображении с большим увеличением мы увидим зигзаг Smile

Про тусовку в личке Rolling Eyes
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Посетить сайт автора
Показать сообщения:   
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Страница 1 из 2 На страницу 1, 2  След.


о проекте || новости || публикации || оборудование || события
фотогалерея
|| форум || спонсоры || ссылки

©2002 - Microscopist.ru - портал микроскопистов
:главная :контакты :карта сайта :faq :помощь Rambler's Top100 Рейтинг@Mail.ru
Powered by phpBB © 2001-2003 phpBB Group | Часовой пояс: GMT + 3