Начало div  FAQ  div  Поиск  div  Пользователи  div  Группы  div  Избранное  div  Регистрация  div  Вход 
Список форумов Microscopist.ru arrow РЭМ (Железо) arrow Твердотельный детектор обратно рассеянных электронов

Твердотельный детектор обратно рассеянных электронов
На страницу 1, 2  След.
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Автор Сообщение
Dusha
Дед

Сообщения: 2193
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Ср 16 Март 2011 18:50    Заголовок сообщения: Твердотельный детектор обратно рассеянных электронов Ответить с цитатой

Подскажите, пожалуйста, какую-нибудь ссылочку, где по-простому описан принцип работы сабж.
Что-то не могу выловить в инете....
Голдштейна не предлагать!!!! Evil or Very Mad

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1886
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Ср 16 Март 2011 19:14    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Если полупроводниковый - то это Si фотодиод с мелким p-n-переходом и толстым слоем объемного заряда, для уменьшения емкости (улучшения частотной характеристики). Принцип работоты - смотри индуцированный ток.
_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Dusha
Дед

Сообщения: 2193
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Ср 16 Март 2011 23:02    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Не нашел Sad
Только про фотоны.
Я похоже наблюдаю забавный эффект - зависимость сигнала от угла падения пучка на детектор.
Картинка - точный негатив обычной EBSD, со всеми кикучами, только светлыми.
Поэтому хотелось бы наглядную схемку, как там внутри ток генерится, чтобы понять, как такое может быть.

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1886
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Ср 16 Март 2011 23:46    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Так и должно наблюдаться. Ведь детектор это монокристаллический кремний и соответсвенно глубина проникновения электтронов из-за каналировния при определенных углах падения будет увеличиваться. А сигналом детектора является ток, генерируемых при торможении электнонно-дрочных пар, разделенных p-n переходом. Причем вероятность разделения определяется расстоянием от рожденной пары до перехода.
В данном случае просто получается что объект исследования сам является детектором сигнала (и неплохим).
Насколько помню резкое снижение, эффективности разделения (тока) начинается при энергии электронов меньше 5-10 кэВ (зависит от глубины залегания p-n перехода) когда основная часть носителей генерируется вблизи (<1мкм) поверхности полупроводника и рекомбинирует на ней. Эффект получается в негативе к классическому - светлые линии, и чем меньше энергия, тем больше контраст.
А какая энергия была?

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
injener
Дед

Сообщения: 3196
Зарегистрирован: 21.12.2004
Откуда: Московская область
СообщениеДобавлено: Чт 17 Март 2011 12:45    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Dusha писал(а):
Голдштейна не предлагать!!!!
Laughing Laughing Laughing
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
vklsi2
Бывалый

Сообщения: 288
Зарегистрирован: 18.02.2009
СообщениеДобавлено: Чт 17 Март 2011 20:39    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Похоже, здесь что-то подобное было... Так?

Contrast Reversals of Pseudo-Kikuchi Band and Lines Due to Detector Position in Scanning Electron Microscopy
Ichinokawa, Takeo; Nishimura, Matsuomi; Wada, Hirotsugu
Journal of the Physical Society of Japan, Volume 36, Issue 1, pp. 221 (1974).
The contrast reversals of pseudo-Kikuchi band and lines due to the detector position are observed for Si by using the surface scanning electron microscope. The detector is placed at two positions, i.e. high and low angle positions for the crystal surface. In the high angle detection, the pseudo-Kikuchi band changes its contrast from excess to defect with decreasing the glancing angle and moreover the contrast of Kikuchi lines is also reversed between a pair of lines and along a line in the region of the low glancing angle. These situations are not observed in the low angle detection. These facts are explained qualitatively by applying the reciprocity theorem in electron diffraction and the dynamical theory of two-beam approximation with considering the anomalous absorption and the angular distribution of inelastic scattering electrons in crystal.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Dusha
Дед

Сообщения: 2193
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Пт 18 Март 2011 11:49    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:
Так и должно наблюдаться.

Я так и думал подкоркой, хотелось знать наверняка, потому про принцип работы и спрашивал.
Спасибо за объяснения!
С энергией там вообще забавно: работал в "замедляющем режиме", то есть на столике -4кВ. Первичная энергия 6кэВ. Судя по всему на детектор попадали тоже 6кэВ.
Цитата:
Contrast Reversals of Pseudo-Kikuchi Band and Lines Due to Detector Position in Scanning Electron Microscopy
Ichinokawa, Takeo; Nishimura, Matsuomi; Wada, Hirotsugu

Огромное спасибо!
А самой статьи нет?
Картинку прилагаю, комментарии по поводу чистоты детектора отвергаю на корню Twisted Evil



EBSD from BSD in reflection_005.jpg
 Описание:
 Размер файла:  86.69 KB
 Просмотрено:  669 раз(а)

EBSD from BSD in reflection_005.jpg



_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Dusha
Дед

Сообщения: 2193
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Пт 18 Март 2011 11:52    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Никто не хочет в статейке поучаствовать куда-нибудь в Electron Microscopy Technique? Wink
_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1886
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Пт 18 Март 2011 12:34    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Dusha писал(а):
Цитата:
Так и должно наблюдаться.

Картинку прилагаю, комментарии по поводу чистоты детектора отвергаю на корню Twisted Evil

Ты моего не видел Laughing

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
vklsi2
Бывалый

Сообщения: 288
Зарегистрирован: 18.02.2009
СообщениеДобавлено: Пт 18 Март 2011 13:09    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Я так понимаю, называется это не EBSD, а псевдо Кикучи дифракция на кремнии детектора отраженных электронов в режиме, близком к зеркальному.
А статьи, к сожалению, нет, она только за деньги. Самому интересно.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Bananan
Бывалый

Сообщения: 244
Зарегистрирован: 13.09.2007
Откуда: Самара
СообщениеДобавлено: Пт 18 Март 2011 13:47    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Статью посмотрю ночью на material sciense
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение ICQ Number
Dusha
Дед

Сообщения: 2193
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Пт 18 Март 2011 17:48    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:
Я так понимаю, называется это не EBSD, а псевдо Кикучи дифракция на кремнии детектора отраженных электронов в режиме, близком к зеркальному.


В том-то все и дело, что нет...
Я вначале тоже думал, что происходит обратно-рассеянная дифракция, электроны опять отражаются от эпоксидки и регистрируются детектором. ТЕМ ЖЕ САМЫМ детектором, на котором дифрагировали, в этом основной прикол.
Но, во-первых, слишком навороченно, во-вторых, непонятно куда девался сигнал от первичных электронов (которые дифрагируют) и, в-третьих, контраст негативный.

Поэтому то, что видно - это именно зависимость сигнала BSD от угла падения, вызванная разной глубиной каналирования в кремний детектора, как Sergey объяснил.

Зеркальность здесь тоже только для экзотики. Думаю, если перевернуть детектор и сканировать по нему при малом увеличении, сигнал будет такой же, только сильнее.
Надо попробовать кстати....

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Dusha
Дед

Сообщения: 2193
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Сб 19 Март 2011 15:54    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Попробовал напрямую получить этот сигнал (снял детектор и положил на столик кристаллом вверх) - получилось!
Правда диапазон углов падения при прямом сканировании намного меньше, поэтому видно только центральную часть киккучи картинки. Контраст почему-то намного слабее, непонятно.



EBSD from BSD directly_004.jpg
 Описание:
Изображение детектора во вторичных электронах.
 Размер файла:  86.79 KB
 Просмотрено:  672 раз(а)

EBSD from BSD directly_004.jpg



ebsd from bsd directly_007.jpg
 Описание:
Сигнал с самого BS детектора.
 Размер файла:  115.88 KB
 Просмотрено:  634 раз(а)

ebsd from bsd directly_007.jpg



_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
greeg
Гуру

Сообщения: 446
Зарегистрирован: 04.05.2006
Откуда: Ukraine
СообщениеДобавлено: Сб 19 Март 2011 19:15    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

..

Последний раз редактировалось: greeg (Пн 21 Март 2011 17:27), всего редактировалось 3 раз(а)
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail ICQ Number
vklsi2
Бывалый

Сообщения: 288
Зарегистрирован: 18.02.2009
СообщениеДобавлено: Вс 20 Март 2011 00:37    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Насколько я помню, применительно к растровым микроскопам EBSD дифракция (часто ее называют Кикучи дифракцией) возникает, когда первичный пучок падает на образец под фиксированным углом, а отраженные электроны дифрагируют под разными углами, и для их сбора и построения дифр. картинки используется экран довольно большой площади, позади которого стоит видеокамера. До появления современных систем EBSD в узких кругах была довольно популярна методика построения картин каналирования (или псевдо Кикучи дифр. картин), когда пучок подходил к большому монокристаллическому образцу при обычном сканировании на малых увеличениях под разными углами, при этом сигнал регистрировался детектором отраженных электронов. Некоторые шли дальше и заставляли пучок качаться около одной точки на образце, хотя локальность в этом случае была не лучше 1 мкм. Кроме того, нужно было обеспечить малую сходимость пучка при малом его диаметре, на стандартных колоннах это было нетривиально. Некоторые фирмы даже предлагали опционально приставки для модификации колонны для такой дифракции.
У Вас, Dusha, типичный пример такой псевдо Кикучи дифракции, с оговоркой, что происходит она на материале детектора, которым Вы ее и регистрируете. Поэтому и контраст обратный. Проверить это можно, если Вы поставите детектор на свое место, а будете снимать монокристалл кремния в качестве образца. Только нужно работать на малых увеличениях, и с минимальной апертурой пучка, или с минимальной диафрагмой объективной линзы; прошу простить за столь некорректное, по Вашему мнению, название обыкновенного конденсора; но как-то надо их различать? Хотя что я советую, - судя по тому, что Вы уже получили дифракцию, пучок у Вас подходящий.
На образце кремния Вы получите нормальный контраст на отражение. Если бы у Вас был усилитель поглощенного тока, то с ним бы Вы увидели ту же картинку в обратном контрасте, но худшего качества, поскольку разностный сигнал вторичных электронов создает большой фон. Точно такой же эффект может возникать и у Вас: если детектор вверху, на родном месте, и Вы работаете почти в зеркальном режиме, то фон мал, контраст велик; если детектор внизу, вместо образца, - все наоборот.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Dusha
Дед

Сообщения: 2193
Зарегистрирован: 23.01.2003
СообщениеДобавлено: Вс 20 Март 2011 22:36    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:
У Вас, Dusha, типичный пример такой псевдо Кикучи дифракции,


Не совсем. Дифракции по сути-то нет, электроны, вылетевшие из кристалла, не регистрируются.
Во всех методиках EBSD регистрируются именно отраженные-дифрагировавшие электроны.

Методику с качанием пучка конечно же знаем и такие кикучи на монокристаллах получаем, проблем нет.
Для меня в данном случае прикол был в том, что по сути дифрагированные электроны не регистрируем, а эффекты каналирования наблюдаем.

А насчет терминологии с названием линз - знаете, проблема возникает только тогда, когда люди не понимают о чем речь и обращают больше внимания на название, чем на суть. Как и было в топике, где этот вопрос подняли.
Если же понимание есть - да как ее не назови...

_________________
- Мудрый Каа, что же нам делать?!!
- Ждитессссссс.......
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
vklsi2
Бывалый

Сообщения: 288
Зарегистрирован: 18.02.2009
СообщениеДобавлено: Чт 24 Март 2011 22:36    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

Дифракции по сути-то нет, электроны, вылетевшие из кристалла, не регистрируются


Ну, я и говорю, что у Вас нет EBSD, а есть псевдо Кикучи дифракция, т.е. каналирование. Термин дифракция, конечно, здесь неуместен, но есть слово псевдо, относящееся, скорее всего, именно к дифракции.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
injener
Дед

Сообщения: 3196
Зарегистрирован: 21.12.2004
Откуда: Московская область
СообщениеДобавлено: Чт 28 Июнь 2012 12:11    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Господа! Прошу прощения за то, что вновь поднимаю старую тему... Не очень понимаю, почему перед словом "дифракция" стоит слово "псевдо"? Дифракция - это ведь и есть рассеивание электронов первичного пучка, что в данном случае и есть. Почему же "псевдо"? Или я не до конца понял?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Sergey
Дед

Сообщения: 1886
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Чт 28 Июнь 2012 12:31    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Как я понимаю, псевдо стоит перед Кикучи.... а дифракция, она и в Африке дифракция
_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
injener
Дед

Сообщения: 3196
Зарегистрирован: 21.12.2004
Откуда: Московская область
СообщениеДобавлено: Чт 28 Июнь 2012 15:28    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

А вот что... Точно! Видимо, ты прав. Embarassed
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Показать сообщения:   
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Страница 1 из 2 На страницу 1, 2  След.


о проекте || новости || публикации || оборудование || события
фотогалерея
|| форум || спонсоры || ссылки

©2002 - Microscopist.ru - портал микроскопистов
:главная :контакты :карта сайта :faq :помощь Rambler's Top100 Рейтинг@Mail.ru
Powered by phpBB © 2001-2003 phpBB Group | Часовой пояс: GMT + 3