Начало div  FAQ  div  Поиск  div  Пользователи  div  Группы  div  Избранное  div  Регистрация  div  Вход 
Список форумов Microscopist.ru arrow Подготовка образцов arrow Напыление углерода

Напыление углерода
На страницу 1, 2  След.
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Автор Сообщение
Vaas
Новенький

Сообщения: 6
Зарегистрирован: 08.02.2011
СообщениеДобавлено: Пт 18 Март 2011 14:21    Заголовок сообщения: Напыление углерода Ответить с цитатой

Добрый день!

Назрел вопрос и буду очень признателен любой помощи.

1. Каким методом (насколько мне известно существует несколько) наилучшим образом можно напылять углерод? С какими аспектами можно неожиданно столкнуться? Область деятельности микроэлектроника, напылять только с целью уменьшения зарядки диэлектрика в незаполненных металлом областях.


2. Существует ли возможность снять углеродную пленку?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
injener
Дед

Сообщения: 3196
Зарегистрирован: 21.12.2004
Откуда: Московская область
СообщениеДобавлено: Пт 18 Март 2011 15:36    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

1. Напылять для просмотра в микроскопе? Или для других целей?
2. Тряпочка (ватный тампон) и спирт...
Вот здесь кое-что уже обсуждалось: http://www.microscopist.ru/forum/viewtopic.php?t=447&postdays=0&postorder=asc&start=0
И в других топиках есть... Про углерод много говорили...
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Vaas
Новенький

Сообщения: 6
Зарегистрирован: 08.02.2011
СообщениеДобавлено: Пн 21 Март 2011 09:11    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

1.>>>"для целей РЭМ, чтобы заряд стекал с непроводящего образца...."
просто сейчас напыляется платина - и с зарядкой как раз проблем нету, проблемы с уменьшением контраста между разными материалами, собственно что используется в микроэлектронике - алюминий, медь, поликремний в контрасте с SiO2.
Платина подчеркивает все неровности рельефа и они мешают картинке, и вот появилось желание попробовать что-то другое.

2. "Тряпочка (ватный тампон) и спирт..." - углеродная пленка настолько плохо держится?
А так можно и сполировать если позволяет образец, а вот если нет то дело намного сложнее.
Есть предположение что углерод должен уходить в кислородной плазме?
Может как-то люди углерод то и убирают. Вот и ищу информацию.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
injener
Дед

Сообщения: 3196
Зарегистрирован: 21.12.2004
Откуда: Московская область
СообщениеДобавлено: Пн 21 Март 2011 12:15    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:
Платина подчеркивает все неровности рельефа
Ну, только в том случае, если напыление проводится под острым углом к поверхности. Если напылять металл перпендикулярно поверхности, то контраст рельефа будет зависеть только от толщины слоя. Рельеф будет скорее сглаживаться, чем контрастироваться.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Sergey
Дед

Сообщения: 1900
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Пн 21 Март 2011 12:28    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

В микроэлектронике практически не требуется дополнительное напыление для наблюдение объектов в РЭМ. Что за задача?
_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Vaas
Новенький

Сообщения: 6
Зарегистрирован: 08.02.2011
СообщениеДобавлено: Пн 21 Март 2011 14:44    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Sergey писал(а):
В микроэлектронике практически не требуется дополнительное напыление для наблюдение объектов в РЭМ. Что за задача?

зарядка очень сильно мешает. Области где SiO2 не заполнен шинами металла сильно заряжаются. Рельеф очень мелкий и платины тонкий слой ложиться тоже ровно - выделяется все существенно, но дело не в этом.
Меня больше интересует при напылении углерода возможность его удаления?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Habakkuk
Бывалый

Сообщения: 117
Зарегистрирован: 28.01.2006
Откуда: Киев
СообщениеДобавлено: Вт 22 Март 2011 11:11    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Удалить в вашем случае (микроструктуры) наверное придется ионной очисткой. При этом очищаемую поверхность придется крутить под пучком Ar+ чтобы удалить вертикальные боковые подпылы
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1900
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Вт 22 Март 2011 13:17    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Habakkuk писал(а):
ионной очисткой.

Смотрю результаты такого травления - не назвал бы это очисткой...

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Serg
Бывалый

Сообщения: 205
Зарегистрирован: 19.01.2003
Откуда: Нижний Новгород
СообщениеДобавлено: Вт 22 Март 2011 15:56    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Sergey писал(а):
Habakkuk писал(а):
ионной очисткой.

Смотрю результаты такого травления - не назвал бы это очисткой...
Зачем ионной, да ещё аргоном. мягкая кислородная плазма нормально работает. Химия этого дела простая. Чё думать-то?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Vaas
Новенький

Сообщения: 6
Зарегистрирован: 08.02.2011
СообщениеДобавлено: Ср 23 Март 2011 17:02    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:
Удалить в вашем случае (микроструктуры) наверное придется ионной очисткой. При этом очищаемую поверхность придется крутить под пучком Ar+ чтобы удалить вертикальные боковые подпылы

сдается мне что не только углерод начнет уходить...
Цитата:
Зачем ионной, да ещё аргоном. мягкая кислородная плазма нормально работает. Химия этого дела простая. Чё думать-то?

Никогда не убирал и не видел, потому и спрашиваю. Насколько мне известно сама углеродная плёнка может быть довольно прочной, и хоть для стока заряда наверно нужен и очень тонкий слой, возможность убрать его селективно была бы как нельзя кстати.
Если точно известно что кислородная плазма его убирает без проблем, уже становиться легче.
Если б еще пруфлинк, было бы еще лучше.

А вот на счет напыления, распылять с волокна или стержней, по качеству особо разницы пишут что нету, а как на практике? Чем удобней пользоваться? Искать установку с возможностью напыления и так и так?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Serg
Бывалый

Сообщения: 205
Зарегистрирован: 19.01.2003
Откуда: Нижний Новгород
СообщениеДобавлено: Чт 24 Март 2011 09:47    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

[quote="Vaas"]
Цитата:

Если б еще пруфлинк, было бы еще лучше.


Есть только личный опыт, но не для углерода, а для фуллеренов и ПММА. Скорости травления могут варьироваться в широких пределах, от единиц нм/мин до сотен: все зависит от характеристик кислородной плазмы, или по-другому от установки, которой располагаете. Как собираетесь напылять углерод тоже скажется на результате. Пробуйте.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Vaas
Новенький

Сообщения: 6
Зарегистрирован: 08.02.2011
СообщениеДобавлено: Пт 25 Март 2011 15:42    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Попробуем. Спасибо за информацию.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
DontLose
Бывалый

Сообщения: 25
Зарегистрирован: 16.02.2012
СообщениеДобавлено: Вт 17 Апрель 2012 23:09    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Присоединяюсь к теме спустя годSmile
Господа, нужна установка для напыления углерода. Цель - исследование объектов микроэлектроники (транзисторы, микросхемы, микросборки и тп ) на РЭМ. У коллег из других организаций видел установки для напыления золота JFC-1100 (JEOL), но золото - это дороговато для нашей фирмы.
В том смысле что мишень дороговато стоит.
Вопрос, собственно, такой: Что нужно для самостоятельного изготовления установки для напыления углерода? Насколько глубокий вакуум, какой тип электродов (я так понял, используется плазмо-химическое напыление), примерно величину тока..

Спасибо!
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
VLADIMIR
Бывалый

Сообщения: 97
Зарегистрирован: 16.10.2006
Откуда: Новосибирск
СообщениеДобавлено: Чт 19 Апрель 2012 05:06    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

Вопрос, собственно, такой: Что нужно для самостоятельного изготовления установки для напыления углерода? Насколько глубокий вакуум, какой тип электродов

1. Самостоятельно собирать установку - это долго и нудно. Постарайтесь достать какой-нибудь ВУП и на его базе сделать сборку.
2. Вакуум в интервале "чистая" четвертая степень - "пять на десять в минус пятой" мм
рт ст. для указанной задачи вполне устроит. Лучший вакуум - приветствуется.
3. "Обычные" спектральные стержни приводятся в контакт, один из них заточен (конечно, наличие угольной ленты избавило бы Вас от многих хлопот). По медяшке контролируйте толщину напыления - цвет между темно коричневым - начало перехода в синий говорит о слое порядка 300 ангстрем.
4. Ампер 100 - 150 трансформатор должен "держать".
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
injener
Дед

Сообщения: 3196
Зарегистрирован: 21.12.2004
Откуда: Московская область
СообщениеДобавлено: Чт 19 Апрель 2012 10:11    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

В Долгопрудном, в физтехе люди сделали подобную установку сами. Можно проконсультироваться у них. Если, конечно, нет возможности купить нормальную установку. JFC-1100 плохо подходит для напыления углерода, хотя в инструкции описано, как это сделать. Это катодный распылитель, и слои, которые он напыляет не превышают 50 нм. Мишень из такого слоя не сделаешь. Нужна вакуумная установка. Типа ВУП или JEE-420 Джеоловская...
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
DontLose
Бывалый

Сообщения: 25
Зарегистрирован: 16.02.2012
СообщениеДобавлено: Чт 19 Апрель 2012 14:18    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

to VLADIMIR
В целом, понял..У нас есть течеискатель ПТИ-10 незадействованный. Минус пятую он даст 100%. Источник на 100А тоже найдем. Получается, трудность только в изготовлении камеры?

to injener
В JFC-1100, насколько я понял, есть только форвакуумный насос и высоковольтный источник. Весь изюм - в мишени. Притом, как рассказал мой коллега, который на ней работает (в другой организации), схитрить не получится. Если взять кусок золота и переплавить - распыляться не будет. То ли кристаллическая решетка у фирменной мишени хитрая, то ли фиг знает..

Где можно поподробнее почитать про напыление углерода? Волокна, стержни, ленты..
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Dan758
Дед

Сообщения: 1276
Зарегистрирован: 28.01.2004
Откуда: Челябинск
СообщениеДобавлено: Пт 20 Апрель 2012 06:55    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

А не проще купить готовую установку напыления?
Quorumtech например... Самое еприятное в ней, что можно апгрейдить под разные задачи напыления (углерод нить-стержень), магнетрон с разными мишенями, испарение...что захочется и что понадобиться...

PS В Екб в ИФМ народ на что уж собак съел на изготовлении установок напыления, однако ж все равно подмикроскопию прикупили такую (обзавидовался Sad )

_________________
Цапу надо было крутить! Цапу! (c)
"Я не профессионал, я широко и раскованно мыслящий дилетант" (c)
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail ICQ Number
DontLose
Бывалый

Сообщения: 25
Зарегистрирован: 16.02.2012
СообщениеДобавлено: Пт 20 Апрель 2012 09:16    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

to Dan758
Да, возможно вы правы и придется купить готовуюSmile Я кстати на Quorumtech уже глядел, модель Q150R. Только мне кажется, это ОЧЕНЬ дорого. У нас бюджет довольно скромный
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
injener
Дед

Сообщения: 3196
Зарегистрирован: 21.12.2004
Откуда: Московская область
СообщениеДобавлено: Пт 20 Апрель 2012 11:26    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:
В JFC-1100, насколько я понял, есть только форвакуумный насос и высоковольтный источник. Весь изюм - в мишени.
Я же говорю, это катодный распылитель. Под колпаком ионизируется газ, который бомбардирует мишень и выбивает из неё частицы, осаждающиеся на образец. Там не может быть высокого вакуума, там нужен газ под небольшим давлением (0,2 торр), чтобы разряд зажёгся... И в мишени никакого изюма нет. Мы купили золотую ленту 0,1 мм толщиной и пользуемся ей уже лет восемь. Получается раз в 5-6 дешевле фирменных катодов.
Почитать можно здесь, например: http://www.ngpedia.ru/id399033p1.html
В нашей библиотеке есть книги по пробоподготовке.
А вот разные напылительные установки: http://www.actan.ru/vac_sys.html
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
DontLose
Бывалый

Сообщения: 25
Зарегистрирован: 16.02.2012
СообщениеДобавлено: Чт 03 Май 2012 15:40    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Спасибо!
Как выяснилось, одним только напылением проблему не решить. Надо снимать защитное покрытие с кристаллов (стекло). В противном случае, заряд-то будет стекать, а рельеф видно не будет
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Показать сообщения:   
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Страница 1 из 2 На страницу 1, 2  След.


о проекте || новости || публикации || оборудование || события
фотогалерея
|| форум || спонсоры || ссылки

©2002 - Microscopist.ru - портал микроскопистов
:главная :контакты :карта сайта :faq :помощь Rambler's Top100 Рейтинг@Mail.ru
Powered by phpBB © 2001-2003 phpBB Group | Часовой пояс: GMT + 3