Начало div  FAQ  div  Поиск  div  Пользователи  div  Группы  div  Избранное  div  Регистрация  div  Вход 
Список форумов Microscopist.ru arrow РЭМ (Методы) arrow Вскрытие чипа, вопрос по интерпретации

Вскрытие чипа, вопрос по интерпретации
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Автор Сообщение
FPPDiel
Новенький

Сообщения: 14
Зарегистрирован: 23.03.2011
Откуда: Одесса
СообщениеДобавлено: Вт 13 Сентябрь 2011 08:07    Заголовок сообщения: Вскрытие чипа, вопрос по интерпретации Ответить с цитатой

Вот товарисч распилил видеокарту (процесс 90 нм) и смотрит на вторичных электронах. http://www.nanometer.ru/2011/09/07/nanotechnology_261474.html
Видимый слабый контраст отождествляет с участками различного легирования, то есть истоками-стоками.
Вопрос: в самом ли деле легирование визуализуется, все-таки степень легирования невелика? Если нет, что он видит?
Наверняка были попытки шлифовать микросхемы и смотреть в РЭМ, а лично я помню хулиганскую выходку, когда в начале 90-х шлифовали 286-й проц и сканировали ВИМСом, это по смыслу естественнее, хотя разрешение невелико.



NVIDIA_chip_100k_17.jpg
 Описание:
 Размер файла:  70.36 KB
 Просмотрено:  472 раз(а)

NVIDIA_chip_100k_17.jpg


Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
venelt
Бывалый

Сообщения: 174
Зарегистрирован: 03.01.2006
Откуда: Москва
СообщениеДобавлено: Вт 13 Сентябрь 2011 12:36    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Тут явно надо советоваться с электронщиками, им знакомы все эти конструктивные элементы микросхем. У меня как то был опыт просмотра подобных образцов, всю технику подготовки не знаю, но образец не шлифуют, а скалывают! В идеале должны видеть похожую картину:


Безимени-2.jpg
 Описание:
 Размер файла:  88.35 KB
 Просмотрено:  571 раз(а)

Безимени-2.jpg


Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail ICQ Number
FPPDiel
Новенький

Сообщения: 14
Зарегистрирован: 23.03.2011
Откуда: Одесса
СообщениеДобавлено: Вт 13 Сентябрь 2011 19:00    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

А есть в Этой Стране спецы по процессу хотя бы 90 нм?
Однако, возвращаясь , могут ли вторичные электроны (SE) визуализовать области легирования? Какие еще методы применимы в данном случае?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
vklsi2
Бывалый

Сообщения: 299
Зарегистрирован: 18.02.2009
СообщениеДобавлено: Вт 13 Сентябрь 2011 21:19    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

А в какой ЭТОЙ стране? В Одессе?
В России есть, но они заняты делом, а не околачиваются на разных форумах, как мы.
Да это, скорее всего, потенциальный контраст. Первичный пучок заряжает образец и закрывает (смещает в обратном направлении) pn переход, По одну сторону перехода один потенциал, по другую - другой. А вторичные электроны чувствуют эту разницу. Где-то когда-то я это наблюдал, если не ошибаюсь.
Насколько я знаю, прямой метод наблюдения легирования - голография в просветах. И Резерфордовское обратное рассеяние, правда, локальности может не хватить.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1917
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Вт 13 Сентябрь 2011 21:24    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Обычно, чтобы видеть потенциальный контраст на р-п переходе надо иметь идеальный скол, а не пиленую и грязную поверхность
_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
VLADIMIR
Бывалый

Сообщения: 99
Зарегистрирован: 16.10.2006
Откуда: Новосибирск
СообщениеДобавлено: Ср 14 Сентябрь 2011 14:31    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Хорошо сказано, уважаемый vkIsi2
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
vklsi2
Бывалый

Сообщения: 299
Зарегистрирован: 18.02.2009
СообщениеДобавлено: Чт 15 Сентябрь 2011 11:47    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:

Обычно, чтобы видеть потенциальный контраст на р-п переходе надо иметь идеальный скол, а не пиленую и грязную поверхность


Я так понимаю, критерием неидеальности поверхности и является величина такого контраста.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
FPPDiel
Новенький

Сообщения: 14
Зарегистрирован: 23.03.2011
Откуда: Одесса
СообщениеДобавлено: Пт 16 Сентябрь 2011 07:54    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Просветите относительно голографии с таким разрешением (!)
Разрешение метода обратного рассеяния ионов- тоже хотелось бы знать современный уровень техники
Потенциальный контраст- да, убедительно. А все же где р-п переходы , области легирования, а где металлические контакты к ним?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
remAVK
Бывалый

Сообщения: 109
Зарегистрирован: 12.12.2006
Откуда: Москва
СообщениеДобавлено: Пт 16 Сентябрь 2011 12:52    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

FPPDiel писал(а):
А все же где р-п переходы , области легирования, а где металлические контакты к ним?

Для получения ответов на эти вопросы используют разные методы и способы подготовки образцов. В общих словах это будет так.
Чтоб увидеть р-п переходы и области легирования можно используя метод потенциального контраста. На образце делают косой шлиф через интересующую вас р-п область, контактируетесь к ней, создаете ток смещения и наблюдаете картинку областей.
А чтоб увидеть слои металлизаций и контакты между ними достаточно сделать обычный скол , обработать в хим. травителе для получения границ слоёв и получаете картинку вроде той кот. выложена выше или вот такой, как на этом фото. Контакты видны в виде светлых столбиков. На вашем образце они тоже видны.
На форуме интерпретировать и учить этому вас никто вас не будет, заочно этому нельзя научить. Даете обьявление , находите исполнителя, приносите образец, ставите задачу, оплачиваете работу и получите ответы на все ваши вопросы. Удачи вам .



скол АЦП 1.jpg
 Описание:
Скол АЦП
 Размер файла:  57.6 KB
 Просмотрено:  438 раз(а)

скол  АЦП   1.jpg


Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Helper
Бывалый

Сообщения: 99
Зарегистрирован: 28.10.2005
СообщениеДобавлено: Ср 21 Сентябрь 2011 21:37    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Достаточно сходить по ссылке, чтобы на данный вопрос не отвечать.
"Я тут чтой-то распилил, а чтой-то это?"
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
SergSerg
Новенький

Сообщения: 11
Зарегистрирован: 12.12.2011
Откуда: МИРЭА
СообщениеДобавлено: Пн 12 Декабрь 2011 18:22    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

FPPDiel писал(а):
А есть в Этой Стране спецы по процессу хотя бы 90 нм?
Однако, возвращаясь , могут ли вторичные электроны (SE) визуализовать области легирования? Какие еще методы применимы в данном случае?


Специалисты есть, уверен, даже в "этой стране". (ужас какой, неужели лень название написать?)

Области легирования не визуализируются ни в SE ни в BSE. Вам поможет атомно-силовой микроскоп с магнитными кантилеверами или EBIC. Все дело в том, что примеси имеют слишком низкий процент легирования относительно кремния, буквально тысячные доли.

Ах да, забыл добавить: или оптический микроскоп в помощь, "раздетая" до активного слоя микруха и раствор медного купороса. Не по теме немного, извините.

П.С.
Я разглядывал очень много микросхем. Но я пока новенький на ресурсе, поэтому посмотрю по сторонам, обживусь.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
SergSerg
Новенький

Сообщения: 11
Зарегистрирован: 12.12.2011
Откуда: МИРЭА
СообщениеДобавлено: Пн 12 Декабрь 2011 18:52    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

venelt писал(а):
Тут явно надо советоваться с электронщиками, им знакомы все эти конструктивные элементы микросхем. У меня как то был опыт просмотра подобных образцов, всю технику подготовки не знаю, но образец не шлифуют, а скалывают! В идеале должны видеть похожую картину:


Лучше получать микрорезы и шлифовать их ионным пучком в локальных областях кристалла, если есть FIB. Скалывать - это в прошлом. Ну и расколоть кристалл с размерами 1 х 1 мм трудновато. А вот кристалл в метрошных картонных карточках вообще 0,5 х 0,5 мм. Его как? Эдакий маленький кирпичик.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
venelt
Бывалый

Сообщения: 174
Зарегистрирован: 03.01.2006
Откуда: Москва
СообщениеДобавлено: Пн 12 Декабрь 2011 20:02    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

SergSerg писал(а):
venelt писал(а):
Тут явно надо советоваться с электронщиками, им знакомы все эти конструктивные элементы микросхем. У меня как то был опыт просмотра подобных образцов, всю технику подготовки не знаю, но образец не шлифуют, а скалывают! В идеале должны видеть похожую картину:


Лучше получать микрорезы и шлифовать их ионным пучком в локальных областях кристалла, если есть FIB. Скалывать - это в прошлом. Ну и расколоть кристалл с размерами 1 х 1 мм трудновато. А вот кристалл в метрошных картонных карточках вообще 0,5 х 0,5 мм. Его как? Эдакий маленький кирпичик.


У вас есть FIB? Тогда мы идем к вам!
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail ICQ Number
SergSerg
Новенький

Сообщения: 11
Зарегистрирован: 12.12.2011
Откуда: МИРЭА
СообщениеДобавлено: Вт 13 Декабрь 2011 10:20    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Ну кто же Вам запретит? Идите конечно Smile

А если серьезно, то в личку.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
Показать сообщения:   
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Страница 1 из 1


о проекте || новости || публикации || оборудование || события
фотогалерея
|| форум || спонсоры || ссылки

©2002 - Microscopist.ru - портал микроскопистов
:главная :контакты :карта сайта :faq :помощь Rambler's Top100 Рейтинг@Mail.ru
Powered by phpBB © 2001-2003 phpBB Group | Часовой пояс: GMT + 3