Начало div  FAQ  div  Поиск  div  Пользователи  div  Группы  div  Избранное  div  Регистрация  div  Вход 
Список форумов Microscopist.ru arrow РЭМ (Железо) arrow JEOL JSM35CF SEM проблема с картинкой

JEOL JSM35CF SEM проблема с картинкой
На страницу 1, 2, 3  След.
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Автор Сообщение
DontLose
Бывалый

Сообщения: 25
Зарегистрирован: 16.02.2012
СообщениеДобавлено: Чт 16 Февраль 2012 15:18    Заголовок сообщения: JEOL JSM35CF SEM проблема с картинкой Ответить с цитатой

Всем доброго времени суток!
Прошу совета, в каком направлении копать.
В мое распоряжение поступил растровый электронный микроскоп JEOL JSM35CF. Изначально были проблемы с блоком контроля вакуума (автоматика), из-за чего диффузионный насос "хлебнул" форвакуумного масла. Автоматику отремонтировал, диффузионник вычистил, промыл, залил свежее масло (фирменное). Колонна перебрана и промыта (почти полностью, за исключением пары нижних линз). Сейчас предельный вакуум составляет 3*10^-5 Па (измеряю при помощи ВИТ-2). Знаю что это маловато (должно быть 10^-7..10^-6). Явных течей нет (если откачку отключить, вакуум ухудшается по закону, близкому к экспоненциальному).
Собственно проблема: изображение не фокусируется, периодически "съезжает" и возвращается обратно(особенно чувствуется на увеличениях выше 500). Притом, сначала это проявлялось только при напряжениях выше 25 кВ, теперь и при 15. В общем, работать невозможно. Сама ситуация навевает мысль о возможных пробоях мз-за низкого вакуума. Но может быть есть и другие причины?Кто-нибудь сталкивался?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1891
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Чт 16 Февраль 2012 16:13    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Съезжает - это как? В сторону или расфокусируется? Если второе - то мерить высокое. Первое - может грязь, может электроника...
Вакуума, кстати, на аналогичном JSM50A лучше 10^-5 mbar не видел.

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
DontLose
Бывалый

Сообщения: 25
Зарегистрирован: 16.02.2012
СообщениеДобавлено: Чт 16 Февраль 2012 20:51    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

to Sergey:

Съезжает..Как бы это объяснить..Эффект аналогичен переключению рабочего напряжения "на ходу", например с 25кВ на 15кВ. Съезжает в сторону с вращением. Поэтому и возникла мысль о возможном пробое. Но если крутить фокусировку, изображение тоже вращается. Как мне объяснили, это происходит из-за того, что электроны по спирали летят... Поэтому и возникла мысль о возможном пробое. Катод тоже сгорает очень часто. По паспорту 40 часов у него ресурс, а на деле-минут 40.

З.Ы.
До происшествия с заменой масла картинка была нормальная, правда вакуум я не мерил.
З.З.Ы.
10^-5 mbar=10^-8 бар и соответствует примерно 10^-3 Па. КАЮСЬ! Попутал Паскали с миллиметрами рт.стSmile. Должно быть 10^-8 торр(по паспорту), т.е. 10^-8 бар . А у меня 10^-4 мм., то есть на порядок хуже. На след неделе собираемся перетащить с верхнего этажа течеискатель ПТИ-10 для обнаружения течей в колонне.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1891
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Чт 16 Февраль 2012 21:43    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

10^-4 это плохо.
А с вращением - похоже проблемы с высоким. Можно в принципе на воздухе промерить высокое. Я так проверял на джеоле до 50 кВ. Делать это, конечно, осторожно надо, Кстати, там с высоковольтног бака вроде есть выход цепи обратной связи для стабилизации высокого, можно там посмотреть.
Вообще то высоковольтная часть у джеолов была безобразной, на jsm50 за 3 года сгорел ВВ трансформатор (был перемотан), потекли все емкости (были заменены отечественными) - только после этого прибор стал нормально работать.
Подумалось, а может проблема с форнасосами, проверьте форвакуум и течи в фор-магистралях

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
DontLose
Бывалый

Сообщения: 25
Зарегистрирован: 16.02.2012
СообщениеДобавлено: Чт 16 Февраль 2012 22:29    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Sergey писал(а):
10^-4 это плохо.
Подумалось, а может проблема с форнасосами, проверьте форвакуум и течи в фор-магистралях


мне тоже это думалосьSmileУже проверял,масло в норме, шланги местами менял (там 2 насоса и 2 магистрали откачки). Мерил вакуум на выходе магистрали термопарной лампой. Да и встроенный вакуумметр кажет что все ОК (выход на амперметр: форвакууму соответствует ток 60-100 мкА - это норма - сверялся с сервис-мануалом).
Высоковольтный блок проверю обязательно. Может и масло сменю заодно. Оно могло и воды наесться за 25 лет. А конденсаторы имеете в виду высоковольтные? Чем мерили высокое?Делитель + ламповый вольтметр?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1891
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Чт 16 Февраль 2012 22:52    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Жидкий азот заливаете? Мы без него не работаем.
Конденсаторы, конечно, высоковольтные - если родные стоят, то пора бы уже поменять. Да и вообще все элементы в баке проверить не мешает. И посмотреть налет на деталях - может где микропробои были.
Высокое измерял через делитель вольтметром. У нас был специальный высоковольтный щуп для этого (такое приложение к мультиметрам для измерения высоких напряжений). То есть открывали пушку, закрывали оргстеклом колонну, вынимали катод, щуп вставляли в отверстие венельта, чтобы не было острых концов. Закрепляли провода, чтобы случайно не отвалились, подавали напряжение и издалека смотрели. А вам при этом хорошо бы посмотреть что в цепи обратной связи творится

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
DontLose
Бывалый

Сообщения: 25
Зарегистрирован: 16.02.2012
СообщениеДобавлено: Пт 17 Февраль 2012 08:48    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Sergey писал(а):
Жидкий азот заливаете? Мы без него не работаем.


Дык некуда его заливать-то.. У нас азотной ловушки нет, только вода. Азот исключительно для микроанализатора (Link Systems).

Sergey писал(а):
Конденсаторы, конечно, высоковольтные - если родные стоят, то пора бы уже поменять. Да и вообще все элементы в баке проверить не мешает.


Насколько я знаю, наш РЭМ по части электроники не ремонтировали. Даже лампочки не меняли.

За совет про высокое - спасибо. Буду проверять.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1891
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Пт 17 Февраль 2012 10:58    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

DontLose писал(а):
наш РЭМ по части электроники не ремонтировали.

Вам повезло. Хотя и у нашего только с ВВ баком проблемы были. Да и чему там в электронике ломаться - там схемы как из учебников по электроники...

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
injener
Дед

Сообщения: 3196
Зарегистрирован: 21.12.2004
Откуда: Московская область
СообщениеДобавлено: Пт 17 Февраль 2012 11:22    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Коллеги, извините, что вмешиваюсь... Но хочется свои 20 копеек внести: на 35-м тоже ведь каскадная откачка вакуума? Главный диффузионник качается бустером, а он, в свою очередь, фором. Так ведь? Проблема может быть и там. Кроме того, можно проверить режим самого диффузионника. Если он не догревается или перегревается по какой-то причине, то и вакуума не будет. Пятую степень дифнасос должен давать без всякого азота! И ещё, если не делали этого, рекомендую течи проверить течеискателем.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
DontLose
Бывалый

Сообщения: 25
Зарегистрирован: 16.02.2012
СообщениеДобавлено: Пт 17 Февраль 2012 20:51    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

to injener,
Хорошо что вмешиваетесь!
А какие проблемы могут быть в бустерном насосе? Он ведь в одном корпусе с диффузионником, а он был разобран, вычищен и вымыт. Читал, что этот вспомогательный насос нужен для согласования роторного насоса и диффузионника (по давлению), Насчет теплового режима - думал.. и немало. По паспорту расход воды должен быть порядка 2 литров/мин. На деле - около полутора. Но температура ловушки в верхней части не превышает 25 градусов, что вроде как нормально. В нижней части - градусов 35-38 (это нормально?). РЭМ должен питаться от 110 В, а на самом деле, по-моему, несколько меньше - вольт 100. Давно не мерилSmile То есть, мощность снижена процентов на 10. Это критично? Питаем через понижающий транс, напряжение можно менять в небольшом диапазоне (от 90 до 120 В).

По поводу течеискателя -в конце третьего поста написал. Главная проблема - изготовить трубу для прокачки колонны (с фланцами). Но это решаемо.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
vklsi2
Бывалый

Сообщения: 288
Зарегистрирован: 18.02.2009
СообщениеДобавлено: Сб 18 Февраль 2012 23:57    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Вакуум, на мой взгляд, нормальный. 10-5 - не самый лучший, но начинать работать можно. Тем более, если Вы измеряете внешним вакууметром. Думаю, течь Вы не найдете. Пробоев высокого из-за такого вакуума не бывает. Если вакуум недостаточен, это видно по катоду: слой испарившегося вольфрама на керамике изменит цвет.
У Вас, скорее всего, проблемы с ускоряющим напряжением. Это может быть и в баке, и в кабеле, и в пушке. Пробои лучше всего контролировать осциллографом через разъем делителя на крышке бака (только, если сильные пробои, могут повредиться входные цепи осциллографа). Начать можно с проверки только бака, вынув из него кабель.
Имейте в виду, что в пушке у 35-х тоже залито масло, такое же, как в баке. Я встречал прибор, у которого масло из пушки уходило в вакуум через течь в уплотнении керамического изолятора.
Напряжение питания у японской техники не 110, а 100 Вольт.
Расход воды, конечно же, лучше иметь побольше. Думаю, забиты трубки, подводящие воду. Лечится промывкой раствором какой-нибудь слабой кислоты или слабым раствором сильной.
Никакого бустерного насоса в 35-х нет. По крайней мере, отдельного, как у Инженера. Есть бустерный каскад в обычном диффузионнике, но они все так устроены.
Катод может сгорать, если его перекаливать, или в результате пробоев высокого. Посмотрите на цвет пленки вольфрама на керамике держателя катода.
Sergey, а зачем менять конденсаторы в баке, там же нет электролитических, которые стареют.
Вообще, старые Джеолы исключительно надежные и долгоживущие (с JSM-50 дела не имел), чего не скажешь об их современной технике. А JSM-35 в свое время поставил рекорд по количеству проданных в мире - больше тысячи штук.
Высокое сейчас измеряется просто: берете обычный мультиметр, измеряющий постоянное напряжение и имеющий (стандартное) входное сопротивление 10 МОм и к нему ВВ делитель на 1000, все продается в магазинах. Но можно использовать и встроенный в бак делитель, я не помню, на сколько он делит, но можно посмотреть на схеме бака.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
DontLose
Бывалый

Сообщения: 25
Зарегистрирован: 16.02.2012
СообщениеДобавлено: Вс 19 Февраль 2012 00:25    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

to vklsi2.
Спасибо за подробную инструкцию!
Слой на подложке катода даже при небольшом времени работы синеватого цвета.
Изолятор пушки уже проверял (посоветовали). Следов масла не обнаружил, но случайно открутил не те винты, пару капель вытекло. Прижал обратно, закрутил винты на место, вытер ацетоном. После сборки следов масла по-прежнему не наблюдается. Трубки промывал пару раз. Сразу после транспортировки (отложения осыпались и трубки полностью забились) и примерно через полгода эксплуатации.
В баке и в изоляторе залито трансформаторное масло? или снова какое-то хитрое (фирменное)? И для чего в ВВ блок заводится вода? Что она охлаждает там?
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
vklsi2
Бывалый

Сообщения: 288
Зарегистрирован: 18.02.2009
СообщениеДобавлено: Вс 19 Февраль 2012 12:37    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Пожалуйста!
Синеватый цвет легко перепутать с нормальным серым, поэтому лучше сравнить со старыми сгоревшими катодами, когда все было нормально. Если все-таки цвет изменился, то надо искать течь в пушке.
Я не знаю точно для JSM-35, но думаю, обычное трансформаторное. По крайней мере, когда менял масло в просвете JEM-100B (а там требования пожестче), то покупал осушенное трансформаторное на электростанции. Пригодность его определял по запаху, - трансформаторное сильно воняет. Скорее всего, и в баке, и в пушке залито японское масло JIS No.2. А можно и самому посушить масло, для каких-то микроскопов японцы давали инструкцию, как это делать. Или сейчас в Интернете можно найти стандартную методику.
Вообще вода в электронику заводится для охлаждения радиаторов мощных транзисторов выходных усилителей.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1891
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Вс 19 Февраль 2012 17:29    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

vklsi2 писал(а):
зачем менять конденсаторы в баке, там же нет электролитических, которые стареют.

Не стареют, но пробиваются, через 2 года появись утечки, пришлось заменить

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
DontLose
Бывалый

Сообщения: 25
Зарегистрирован: 16.02.2012
СообщениеДобавлено: Вс 19 Февраль 2012 20:15    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

to vklsi2

Слышал, что если место предполагаемой течи залить спиртом, непрерывно контроллируя вакуум по ионизационному манометру (ПМИ-2) в моем случае, то в случае наличия течи ионный ток резко возрастет. Не приходилось ли Вам находить течь таким образом?
Завтра погляжу схему бака и попробую замерить высокое через делитель в ВВ блоке. А чтобы осциллограф не сгорел, можно стабилитроном зашунтировать вход
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
vklsi2
Бывалый

Сообщения: 288
Зарегистрирован: 18.02.2009
СообщениеДобавлено: Вс 19 Февраль 2012 21:18    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

На малых течах этот метод может не работать. Общая проблема при всех методах поиска течей: отклик очень запаздывает, поэтому процедура очень тягомотная даже при обдувке гелием.
Этот делитель (по постоянному току) используется в цепи обратной связи, поэтому можно измерять прямо на входе операционного усилителя. А осциллограф нужно подключать на другой разъем, куда подается переменная составляющая. Обычно на входе осциллографа стоят параллельно и обратно включенные диоды, они и горят в первую очередь, а уже за ними все остальное. Поэтому стабилитроны не спасут, если дойдет до сильных пробоев.
Поэтому начните с малых ускоряющих. Как только увидите пробои на осциллографе, выключите все, подождите минут 15, потом выньте кабель из бака и повторите с осциллографом.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Sergey
Дед

Сообщения: 1891
Зарегистрирован: 05.11.2004
Откуда: Санкт-Петербург
СообщениеДобавлено: Вс 19 Февраль 2012 23:00    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

DontLose писал(а):
t
Слышал, что если место предполагаемой течи залить спиртом...

Пробовал такое - вакуум улучшается на какое-то время.
(Недавно коллега на своей установке напыления такое попробовал, так теперь течь найти не может Wink , залечилась)

_________________
Он же: SergeyIT, Cthutq.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
injener
Дед

Сообщения: 3196
Зарегистрирован: 21.12.2004
Откуда: Московская область
СообщениеДобавлено: Ср 22 Февраль 2012 14:32    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

Цитата:
место предполагаемой течи залить спиртом,
Мои 20 копеек: на сумских микроскопах был реализован такой способ проверки. Там на входе форвакуумного насоса стоял газоразрядный датчик со стеклянным корпусом, часть которого была покрашена чёрной краской. Нажимаете на кнопку - газ светится. Воздух светится фиолетовым. Спирт - голубым. Льёте спирт и время от времени нажимаете на кнопку. Как только разряд поменял цвет, значит была течь... А про ионный датчик не слышал... Но действительно, таким способом можно только крупные течи искать.
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение Отправить e-mail
DontLose
Бывалый

Сообщения: 25
Зарегистрирован: 16.02.2012
СообщениеДобавлено: Ср 22 Февраль 2012 17:18    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

до ВВ блока пока не добрался Sad А с вакууммом попробовал следующее: спирт лил в районе изолятора в том числе - ничего. Пробовал обмотать колонну, а потом и трубу для откачки трубки ленточным нагревателем. Градусов до 100 грел. Вакуум не меняется вообще. Поидее, если бы была грязь, она бы его ухудшала. Значит диффузионник работает хорошо. За это говорит еще один факт: когда возникает течь (чуть-чуть приоткрываю шлюз камеры и двигаю шток вправо-влево) вакуум портится. Но как только течь ликвидирую - практически сразу давление возвращается на прежнее значение. Все-таки не в плохом вакууме дело наверное..

to injener: где бы мне взять такую "лампочку"? может быть МТХ-90 раскурочить? Smile
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
DontLose
Бывалый

Сообщения: 25
Зарегистрирован: 16.02.2012
СообщениеДобавлено: Ср 22 Февраль 2012 17:19    Заголовок сообщения: Ответить с цитатой

до ВВ блока пока не добрался Sad А с вакууммом попробовал следующее: спирт лил в районе изолятора в том числе - ничего. Пробовал обмотать колонну, а потом и трубу для откачки трубки ленточным нагревателем. Градусов до 100 грел. Вакуум не меняется вообще. Поидее, если бы была грязь, она бы его ухудшала. Значит диффузионник работает хорошо. За это говорит еще один факт: когда возникает течь (чуть-чуть приоткрываю шлюз камеры и двигаю шток вправо-влево) вакуум портится. Но как только течь ликвидирую - практически сразу давление возвращается на прежнее значение. Все-таки не в плохом вакууме дело наверное..

to injener: где бы мне взять такую "лампочку"? может быть МТХ-90 раскурочить? Smile
Посмотреть профиль Отправить личное сообщение
Показать сообщения:   
Начать новую тему   Ответить на темуОтветить
Страница 1 из 3 На страницу 1, 2, 3  След.


о проекте || новости || публикации || оборудование || события
фотогалерея
|| форум || спонсоры || ссылки

©2002 - Microscopist.ru - портал микроскопистов
:главная :контакты :карта сайта :faq :помощь Rambler's Top100 Рейтинг@Mail.ru
Powered by phpBB © 2001-2003 phpBB Group | Часовой пояс: GMT + 3